TWISTER-Substratstufe

Forschung und Entwicklung leicht gemacht

Die vollständig im Unternehmen hergestellte TWISTER™-Substratstufe ist der nächste Schritt bei der Integration von innovativer, robuster und zuverlässiger Technologie in Ihrem UNIVEX-System oder in jeder anderen Beschichtungskammer, die Sie möglicherweise betreiben.

Maßgeschneiderte Lösungen für spezielle Anwendungen

Um einen erfolgreichen und reproduzierbaren Beschichtungsprozess zu gewährleisten, haben wir eine drehbare, heizbare Substratstufe entwickelt, die eine sehr gute Homogenität und Beschichtungsqualität ermöglicht.

Um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden, bieten wir unser modulares System in drei Hauptvarianten an:

Einfach
Advanced (Erweitert)
Full Featured (Volle Ausstattung)

576 mögliche Varianten können abgeleitet werden!

Modulares System

Die TWISTER™-Substratstufe ist modular aufgebaut und lässt sich deshalb einfach aufrüsten. Dazu sind lediglich zusätzliche pneumatische Klemmen erforderlich, falls eine Schleusenkammer hinzugefügt wird. Wenn eine Kühlung erforderlich ist, kann einfach die Heizplatte gegen eine kombinierte Heiz- und Kühlplatte ausgetauscht werden.

Genaue Handhabung für präzise Ergebnisse

Gleichmäßige und homogene Dünnschichten durch präzises Drehen des Substrats
Optionales Verschieben auf der Z-Achse zum Verändern des Abstands des Substrats zu den Beschichtungsquellen und für Übergaben durch Schleusenkammern
Flexible Wahl von Substratplatten mit Durchmessern von bis zu 6 Zoll
Bessere Schichtqualität durch Erhitzen auf 400 °C
Optionale Wasserkühlung:
- Schützt empfindliche Substrate wie Folien und OLED-Materialien
- Schnellere Abkühlzeit und Weiterverarbeitung
Leicht austauschbares Beschichtungsschild zur Reinigung
Integrierte Positionskontrolle
Mögliche Aufrüstung der meisten bestehenden Laborbeschichtungsgeräte