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Hochvakuumpumpen mit hohem Gasdurchsatz und Saugvermögen

Die Öldiffusionspumpen der Serie DIJ von Leybold sind fortschrittliche Hochvakuumpumpen (< 10-2 mbar) mit innovativem Heizsystem, speziellem Systemdesign und einem fünfstufigen Düsensystem für schnelleres Abpumpen der Prozesskammer, geringeren Energieverbrauch und geringere CO2-Emissionen.

Die Serie DIJ bietet einen verbesserten Gasdurchsatz und einen stabilen Hochvakuumdruck im Bereich von < 10-2 mbar. Das Saugvermögen reicht von 3.000 bis 33.000 l/s in einem Betriebsbereich von < 5 x 10-1 bis 10-7 mbar.

Die Serie DIJ verfügt über ein innovatives Heizkonzept, ein leistungsstarkes fünfstufiges Düsensystem, verschiedene Anschlussflansche und eine Vielzahl elektrischer Anschlussmöglichkeiten einschließlich der Energieeffizienzsteuerung (EEC). Die Pumpen sind komplett mit Vorvakuumleitblech und Düsenhutdampfsperre ausgestattet. Das fünfstufige DIJ-Systemdesign liefert hervorragende Leistung. Es gibt vier Diffusionspumpstufen für großes Saugvermögen und eine Ejektorstufe für hohen Gasdurchsatz im Druckbereich von unter 10-2 mbar und hohe Vorvakuumstabilität. Die Varianten mit EEC haben eine höhere Energieeffizienz, was zu weiteren Energieeinsparungen und einer besseren CO2-Bilanz führt.

DIJ-Öldiffusionspumpen von Leybold erfordern wenig Wartung. Sie arbeiten verschleißfrei ohne drehende Teile und sind einfach zu bedienen. Die Serie DIJ überzeugt durch ihr innovatives und hocheffizientes Design. 

Vorteile für den Anwender

Fünfstufiges Düsensystem

Düsenhutdampfsperre und Vorvakuumleitblech

Innovatives Heizkonzept

Verschiedene Flansche (ANSI/ISO)

Auswahl elektrischer Anschlussmöglichkeiten, um verschiedene Kundenanforderungen zu erfüllen

Energieeffizienzsteuerung

DIJ Family

Wichtigste Daten

Saugvermögen 3.000 bis 33.000 l/s

Betriebsbereich < 10-1 bis 10-7 mbar

Optimales Saugvermögen in einem Druckbereich < 10-3 mbar

Die DIJ-Serie bietet

  • Stabiles Hochvakuum
  • Hohes Saugvermögen
  • Hoher Gasdurchsatz
  • Sicheres und wirtschaftliches Design
  • CE-konforme Elektronik
  • Mühelos in der Handhabung
  • Wartungsfreundliches Design für schnellen und einfachen Austausch von Heizelementen
  • Große Zubehörauswahl erhältlich
  • Flexible elektrische Verdrahtung für den weltweiten Einsatz
  • Innovative Energieeffizienzsteuerung (EEC) 

Die Vorteile von DIJ auf einen Blick

Die DIJ-Serie verfügt über eine Vielzahl von nützlichen Funktionen für eine optimale Integration in Ihre Anwendungen.

 

Innovatives Heizkonzept

Einzigartiges, innovatives Heizkonzept, bei dem fortschrittliche Heizpatronen mit großer Wärmeaustauschfläche für eine optimierte Energieübertragung an das Öl verwendet werden. Eine effektive Temperaturüberwachung schützt das System vor Überhitzung. Die isolierte Heizfläche sorgt für minimale Energieverluste.

  • Minimale Belastung und lange Lebensdauer für Heizgeräte und Öl
  • Kurze Aufheizzeit
  • Heizung mit Flansch, leicht austauschbar

Fünfstufiges Düsensystem

Die DIJ-Pumpen sind mit einem neuen fünfstufigen Düsensystem ausgestattet. Vier Pumpstufen gewährleisten ein großes Saugvermögen bei niedrigen Drücken und führen zu einem niedrigen Hochvakuum. Die Ejektorstufe sorgt für eine hohe Vorvakuumstabilität und optimierten Gasdurchsatz.

  • Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
  • Integrierte Düsenhutdampfsperre zur Vermeidung von Ölrückströmung

Verschiedene Flansche (ANSI/ISO)

Auswahl aus verschiedenen Flanschen für mehr Anschlussmöglichkeiten

  • ANSI/Zoll-Flansche (O-Ring abgedichtet)
  • ISO-F- oder ISO-K-Flansche (Zentrierring mit O-Ring-Dichtung)

Düsenhutdampfsperre und Vorvakuumleitblech

Um eine Rückströmung der Flüssigkeit in die Vakuumkammer zu verhindern, sind die Pumpen der Serie DIJ mit unserer prozessbewährten Düsenhutdampfsperre und einem optimierten Vorvakuumleitblech ausgestattet.

  • Innovatives, neues Vorvakuumleitblech für geringere Ölverluste
  • Bessere Prozessparameter
  • Weniger Ölrückstrom

Energieeffizienzsteuerung

Energieeinsparungen von bis zu 30 % ohne Leistungsverlust der Pumpe

Öldiffusionspumpen benötigen eine bestimmte Mindestöltemperatur für den Betrieb. Ohne eine Steuerung werden 100 % der Heizleistung ständig zum Heizen des Öls genutzt. Die innovative Energieeffizienzsteuerung von Leybold für Diffusionspumpen senkt den Stromverbrauch um bis zu 30 %, da die gelieferte Leistung nach Erreichen der Betriebstemperatur der Pumpe deutlich reduziert wird. Weitere Einsparungen ergeben sich aus der Nutzung des Standby-Modus bei niedrigerer Temperatur. 

  • Verbesserte Energieeffizienz
  • Längere Betriebszeiten des Öls und der Heizpatronen
  • Ausgezeichnete Bedienung und einfache Handhabung
  • Einfache, visuelle Überwachung der Parameter
  • USB-Schnittstelle und Ethernet-Anschluss
    DIJ 10 DIJ 320 DIJ 16 DIJ 500 DIJ 20 DIJ 630 DIJ 32 DIJ 800 DIJ 35 DIJ 1000
High vacuum   10'' ANSI 320 ISO-K 16'' ANSI 500 ISO-K 20'' ANSI 630 ISO-K 32'' ANSI 800 ISO-F 35'' ANSI 1000 ISO-F
fore vacuum connection   2'' ANSI 63 ISO-K 3'' ANSI 100 ISO-K 4'' ANSI 160 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K
Pumping speed for    

Air < 8 x 10-4mbar

l/s 3000 6800 10800 21000 33000

Argon < 1 x 10-4 mbar

l/s 2750 6350 9500 18000 26000
Operating range  mbar < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-6 < 10-1 - 10-6
Ultimate total pressure  mbar < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6
Mains voltage    3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE
depending on variant, 50/60Hz   3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE
Heating power kW 3,6 7,2 10,8 21,5 21,5
Weight, approx. kg 95 152 230 570 610
Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

PDF    982.2 kB

Öldiffusionspumpen der Serie DIJ sind gut für den Einsatz in industriellen Anwendungen geeignet:

  • Vakuumbeschichtung
  • Metallurgie
  • Vakuumöfen
  • Vakuumtrocknung
  • Weltraumsimulation
  • Forschung und Entwicklung
  • Maschinenbau
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