Richtlinien für Wartung und Betrieb von Turbomolekularpumpen
Allgemeine Betriebsinformationen für Turbomolekularpumpen
Turbomolekularpumpen arbeiten immer in Kombination mit einer Vorvakuumpumpe. Je nach Größe des zu evakuierten Behälters können Turbomolekularpumpen und Vorvakuumpumpen gleichzeitig eingeschaltet werden. Ist jedoch die Auspumpzeit des zu evakuierenden Behälters auf ca. 1 mbar mit der vorgesehenen Vorpumpe länger als die Hochfahrzeit der Turbomolekularpumpe, ist es ratsam, deren Einschalten zu verzögern. Bypassleitungen sind ratsam, wenn Turbomolekularpumpen in Systemen verwendet werden, die für (zyklische) Batch-Vorgänge eingerichtet sind, um Zeit beim Hochfahren der Pumpe zu sparen. Das Öffnen des Hochvakuumventils ist bei Drücken von ca. 10-1 mbar ohne Gefahr möglich.
Turbomolekularpumpen sollten gegen das Eindringen von Fremdkörpern durch den Saugstutzen geschützt werden und nur mit einem Drahtgeflechtsplitterschutz betrieben werden. Es gibt verschiedene Versionen in diversen Maschengrößen. Außerdem sind starke Stöße auf die laufende Pumpe und plötzliche Positionsänderungen zu vermeiden.
Die Entlüftung der Pumpe auf atmosphärischen Druck bei Drehung der Rotoren darf nur unter strikter Beachtung der Bedienungsanleitung erfolgen. Unter bestimmten Umständen ist es möglich, Turbomolekularpumpen unter außergewöhnlichen Bedingungen zu betreiben. So kann beispielsweise eine Turbomolekularpumpe je nach Pumpenmodell und Montagesituation in Magnetfeldern eingesetzt werden.
In radioaktiven Umgebungen können standardmäßige Turbomolekularpumpen bei bestimmten Dosisraten gefahrlos eingesetzt werden. Bei hohen Dosisraten können bestimmte Materialien in der Pumpe so modifiziert werden, dass sie der höheren Belastung standhalten. Die elektronischen Frequenzwandler sind in diesen Fällen außerhalb der radioaktiven Bereiche aufzustellen, da die darin eingesetzte Elektronik nur geringere Strahlendosen tolerieren kann. Der Einsatz motorbetriebener Frequenzwandler stellt eine weitere Option dar, die noch mehr standhalten kann. Leybold hat eine Reihe von Lösungen für diese Herausforderung im Angebot.
Wartung von Turbomolekularpumpen
Turbomolekularpumpen und Frequenzwandler sind nahezu wartungsfrei. Ein Austausch der Keramiklager wird alle 2 Jahre empfohlen und kann von unserem Außendienst oder von geschulten und qualifizierten Kunden durchgeführt werden.
Zu den wartungsfreien Turbomolekularpumpen gehören jene mit kontaktfreier Magnetlagertechnologie, mit 5-Achsen-Aktivmagnetlager und einem Antriebssystem, das Zuverlässigkeit und effizienten Betrieb vereint.
Sollte die Turbineneinheit der Pumpe gereinigt werden müssen, kann dies durch den Außendiensttechniker oder intern (je nach Pumpenanwendung und Menge der Ablagerungen) und unter Beachtung der in den Betriebs- oder Servicehandbüchern beschriebenen Verfahren erfolgen.
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Fundamentals of Vacuum Technology
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
