ปัจจัยสําคัญใดที่มีอิทธิพลต่อความไวและความแม่นยําของเกจวัดสุญญากาศ 5 มกราคม 2021
2 MIN READ
เราเข้าใจว่าความถูกต้องแม่นยําในการตรวจวัดเป็นพื้นฐานในการได้ผลลัพธ์ที่ดี
น่าเสียดายที่การรับประกันความถูกต้องแม่นยําไม่ใช่เรื่องง่ายเสมอไป
ปัจจัยหลายอย่างอาจส่งผลต่อความไวของเกจวัดสุญญากาศ และส่งผลกระทบต่อความแม่นยําและความน่าเชื่อถือของเกจวัดสุญญากาศ
ข้อกังวลที่สําคัญที่สุดคือ:
- การตรวจวัด
- สุญญากาศและสภาพแวดล้อมทั่วไป
- ประเภทก๊าซ
- ช่วงแรงดันในการทํางาน
- อุณหภูมิ
- ความแม่นยํา
- พัลส์
- การสั่นสะเทือน
หากต้องการปรับความไวของเกจวัดสุญญากาศให้มากที่สุดเท่าที่เป็นไปได้ จําเป็นต้องทําความเข้าใจปัจจัยบรรเทาผลกระทบที่อาจเกิดขึ้นเหล่านี้แต่ละประการ และปัจจัยเหล่านี้อาจส่งผลกระทบต่ออุปกรณ์ของคุณอย่างไร
การตรวจวัด
เกจวัดบางรุ่นไม่เหมาะกับการใช้งานทุกประเภท
มีเกจวัดสองประเภทหลักที่ใช้ในการวัดสุญญากาศ ได้แก่ เกจวัดไอออนไนซ์และเกจวัดความร้อน ทั้งสองแบบถือว่าเป็นวิธีการวัดค่าทางอ้อม แต่โดยทั่วไปแล้ว มาตรวัดไอออนไนซ์ถือว่ามีความแม่นยําน้อยกว่า เหมาะสําหรับการวัดค่าแรงดันต่ํามากกว่า
สุญญากาศและสภาพแวดล้อม
สภาวะสุญญากาศและสภาพแวดล้อมโดยรอบอาจทําให้เกจมีอุณหภูมิสูง สนามแม่เหล็กรบกวน และทําให้เกิดแรงกระแทกและการสั่นสะเทือนที่ไม่ต้องการ สื่อสุญญากาศที่ปั๊มอาจทําปฏิกิริยากับเกจ
อุณหภูมิพื้นหลังที่สูงและความเสี่ยงของการซึมเข้าของน้ําหรือฝุ่นละอองจะส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของเกจเช่นกัน
ประเภทก๊าซ
โดยปกติแล้ว มาตรวัดจะได้รับการสอบเทียบจากโรงงานด้วยก๊าซไนโตรเจน ดังนั้นเมื่อใช้ก๊าซไนโตรเจน ปัจจัยการแก้ไขของคุณคือหนึ่ง อย่างไรก็ตาม เมื่อใช้ก๊าซอื่น ต้องสอบเทียบเกจสําหรับสารนั้น การไม่ดําเนินการดังกล่าวอาจส่งผลต่อความแม่นยําของเกจ
เกจวัดความร้อนและเกจวัดไอออนมีสมการแยกต่างหากที่ใช้ในการกําหนดปัจจัยการแก้ไขก๊าซ
ช่วงแรงดันในการทํางาน
เกจวัดบางรุ่นไม่สามารถวัดช่วงแรงดันสุญญากาศทั้งหมดได้อย่างแม่นยํา
- ระดับสุญญากาศ (ระหว่าง 10 มิลลิบาร์และแรงดันบรรยากาศ) สามารถใช้ท่อ Bourdon ท่อพับยืด สเตรนเกจแบบแอ็คทีฟ และเซ็นเซอร์ความจุ
- เครื่องดูดฝุ่นระดับกลาง (10 -1 ถึง 10 -3 ) ควรใช้มาโนมิเตอร์วัดความจุ เทอร์โมคัปเปิล หรือเกจวัดประเภท Pirani
- สุญญากาศระดับสูง (10 -3 ถึง 10 -9 ) ควรใช้เกจคาโธดเย็นหรือเกจคาโธดร้อน Bayard-Alpert
อุณหภูมิ
อุณหภูมิที่รุนแรงอาจส่งผลให้ค่าที่อ่านได้จากเกจวัดสุญญากาศผิดพลาด ซึ่งมักเกิดจากอุณหภูมิเหล่านั้นที่ทําให้ส่วนประกอบสําคัญของเกจสลายตัว นอกจากนี้ อุณหภูมิที่รุนแรงอาจมีปฏิกิริยากับน้ํา ทําให้เกิดน้ําแข็งหรือการควบแน่นที่อาจบดบังค่าที่อ่านได้
ความแม่นยํา
โดยทั่วไปแล้ว มาตรวัดจะมาจากผู้ผลิตพร้อมกับการสอบเทียบแบบ "หยาบ" ซึ่งไม่มีการใช้ปัจจัยแก้ไข แม้ว่าการใช้ปัจจัยแก้ไขก๊าซจะช่วยปรับปรุงการสอบเทียบได้อย่างมาก แต่ควรดําเนินการขั้นตอนอื่นๆ เมื่อความแม่นยําสูงเป็นสิ่งจําเป็น ในสถานการณ์ดังกล่าว ควรทําการสอบเทียบตลอดช่วงแรงดันทั้งหมดและสําหรับก๊าซแต่ละประเภทหากเป็นไปได้
พัลส์
หากงานที่กําลังดําเนินการทําให้เกิดแรงดันสูงเกินเป็นประจําและซ้ําๆ อาจทําให้เกจเสียหายได้ ความเสียหายนี้ส่งผลให้เกิดปัญหาด้านความแม่นยําอย่างมาก
การสั่นสะเทือน
การสั่นสะเทือนจากเครื่องจักรหนัก มอเตอร์ และอุปกรณ์อื่นๆ อาจทําให้เกจชํารุดเสียหายเมื่อเวลาผ่านไป ความเสียหายนี้พบได้บ่อยเป็นพิเศษในกลไกตัวชี้เนื่องจากมีการเขย่าตัวชี้ออกจากศูนย์บ่อยครั้ง
นอกจากนี้ ค่าที่อ่านได้ในขณะที่การสั่นสะเทือนส่งผลกระทบต่อเกจโดยทั่วไปมักจะไม่แม่นยํา