Bagaimana cara kerja filter pompa?

Bagikan lewat

Menciptakan vakum bebas oli dengan aksesori pompa rotary

Selama proses vakum, zat yang berbahaya bagi pompa putar dapat ada di dalam ruang vakum. Berbagai aksesori untuk mencegah kontaminasi tersedia, seperti yang dijelaskan di bawah ini. Secara khusus, pengurangan uap air, uap oli, dan partikel debu melalui penggunaan filter khusus atau perangkap adsorpsi akan dibahas.

Penghilangan uap air

Uap air muncul dalam proses vakum basah. Hal ini dapat menyebabkan air mengendap di saluran masuk. Jika kondensat ini mencapai port inlet pompa, kontaminasi oli pompa dapat terjadi. Kinerja pemompaan pompa bersegel oli dapat terganggu secara signifikan dengan cara ini. Selain itu, uap air yang dikeluarkan melalui katup saluran keluar pompa dapat terkondensasi dalam saluran saluran saluran keluar saluran keluar. Kondensat dapat, jika saluran saluran keluar tidak diatur dengan benar, mengalir ke bawah dan mencapai bagian dalam pompa melalui katup saluran keluar pembuangan. Oleh karena itu, jika ada uap air dan uap lainnya, sangat disarankan untuk menggunakan perangkap kondensat. Jika tidak ada saluran saluran keluar pembuangan yang tersambung ke pompa balast gas (misalnya, dengan pompa rotary vane yang lebih kecil), sebaiknya gunakan filter pembuangan. Ini menangkap kabut oli yang dikeluarkan dari pompa.

Beberapa pompa memiliki kartrid filter yang mudah diganti yang tidak hanya menahan kabut oli, tetapi juga membersihkan oli pompa sirkulasi. Kapan pun jumlah uap air yang ada lebih besar dari toleransi uap air pompa, kondensor harus selalu dipasang antara bejana dan pompa. (Untuk detail selengkapnya, lihat Kondensor)

Penghilangan debu

Kotoran padat, seperti debu dan pasir, secara signifikan meningkatkan keausan pada piston dan permukaan di dalam rumah pompa. Jika ada bahaya kotoran tersebut dapat masuk ke pompa, pemisah debu atau filter debu harus dipasang di saluran masuk pompa. Saat ini, tidak hanya filter konvensional dengan casing yang cukup besar dan insert filter yang sesuai tersedia, tetapi juga filter mesh halus yang dipasang di cincin pemusatan flensa kecil. Jika diperlukan, disarankan untuk memperluas penampang dengan adaptor KF.

Penghilangan uap oli

Tekanan tertinggi yang dapat dicapai dengan pompa rotary berpelumas oli sangat dipengaruhi oleh uap air dan hidrokarbon dari oli pompa. Meskipun dengan pompa rotary vane dua tahap, aliran balik sejumlah kecil molekul ini dari bagian dalam pompa ke ruang vakum tidak dapat dihindari. Untuk produksi vakum tinggi dan ultratinggi bebas hidrokarbon, misalnya, dengan pompa sputter-ion atau turbomolekuler, vakum sebebas mungkin dari oli juga diperlukan di sisi vakum awal pompa ini. Untuk mencapai hal ini, perangkap adsorpsi vakum sedang (lihat Gbr. 2,40) yang diisi dengan bahan adsorpsi yang sesuai (misalnya, saringan molekuler LINDE 13X) dipasang di saluran masuk pompa primer bersegel oli tersebut. Mode kerja perangkap sorpsi mirip dengan pompa adsorpsi. Untuk detail selengkapnya, lihat Pompa desikan.

Gambar 2,40 Bagian penampang perangkap adsorpsi vakum sedang.

Housing
Keranjang penahan saringan
Saringan molekuler (pengisian)
flensa penyegel
Saluran masuk dengan flensa kecil
Bagian atas
Wadah untuk pemanas atau refrigeran
Sambungan di sisi pompa dengan flensa kecil

Jika perangkap adsorpsi saluran foreline dipasang di saluran masuk pompa rotary vane bersegel oli dalam pengoperasian berkelanjutan, disarankan ada dua perangkap adsorpsi paralel, masing-masing dipisahkan oleh katup. Pengalaman menunjukkan bahwa zeolit yang digunakan sebagai bahan adsorpsi kehilangan banyak kapasitas adsorpsinya setelah sekitar 10 - 14 hari waktu pengoperasian, setelah itu perangkap adsorpsi lainnya, yang sekarang diregenerasi, dapat digunakan; oleh karena itu proses dapat dilanjutkan tanpa gangguan. Dengan memanaskan perangkap adsorpsi, yang kini tidak tersambung ke saluran pemompaan, uap yang keluar dari permukaan zeolit dapat dipadatkan dengan pompa tambahan. Dalam pengoperasian, pemompaan dengan pompa ballast gas umumnya menyebabkan penutupan zeolit di perangkap adsorpsi yang tidak dipanaskan lainnya dan dengan demikian mengurangi kapasitas adsorpsi perangkap ini lebih dini.

Penurunan kecepatan pemompaan efektif

Semua filter, separator, kondensor, dan katup pada saluran masuk mengurangi kecepatan pemompaan efektif pompa. Berdasarkan nilai konduktansi atau resistansi yang biasanya disediakan oleh produsen, kecepatan pompa aktual dapat dihitung. Untuk detail selengkapnya, lihat Menghitung konduktivitas.

Blog & Wiki Accessories Vacuum Fundamentals