Pompa vakum dan solusi untuk teknologi pengolahan plasma
Apa yang dimaksud dengan pengobatan plasma vakum?
Pengolahan plasma adalah teknologi serbaguna yang banyak digunakan di berbagai industri, termasuk elektronik, fabrikasi semikonduktor, otomotif, medis, dll. Gas proses umumnya adalah Oksigen, Argon, atau CF4. Gas ini diionisasi dengan medan listrik di bawah vakum untuk membentuk plasma yang digunakan untuk melapisi, membersihkan, mengaktifkan, atau mengetsa permukaan untuk memodifikasi kebersihan, adhesi, atau fungsi permukaan.
Vakum berperan penting dalam sistem pengolahan plasma untuk menciptakan dan mempertahankan kondisi plasma secara efektif.
- Reaksi proses yang efisien: Ion reaktif yang dihasilkan dalam plasma di bawah vakum dapat menyebar ke permukaan secara lebih efektif untuk proses modifikasi permukaan, pembersihan, aktivasi, atau etsa.
- Pengolahan permukaan yang seragam: Vakum dapat memastikan lingkungan bebas kontaminan untuk menjaga plasma yang seragam untuk kontrol modifikasi permukaan yang akurat.
Bagaimana pengolahan plasma menantang sistem vakum Anda
Tantangan utama untuk pompa vakum atau sistem pemompaan adalah bahwa ion yang diaktifkan (misalnya, ion oksigen atau ion fluorin) dikeluarkan selama proses dan dapat memasuki pompa. Ion-ion ini sangat reaktif dan beracun bagi lingkungan dan kesehatan manusia.
Ion oksigen dan ion fluorin dapat berdampak signifikan pada bahan pompa. Oli dan segel dapat teroksidasi, terurai, atau rusak. Oleh karena itu, pemilihan bahan oli dan seal yang tepat sangat penting untuk keberhasilan penggunaan pompa.
Jenis pompa apa yang cocok untuk pengobatan plasma vakum?
Berbagai jenis pompa vakum dapat digunakan. Hanya dengan memilih pompa vakum dan sistem yang tepat, Anda dapat menangani berbagai macam outgassing dari teknologi pengolahan plasma dan pengoperasian bebas masalah dengan waktu operasional tertinggi untuk mengoptimalkan biaya kepemilikan Anda.
Leybold memiliki pengalaman yang luas, dan produk kami telah terbukti dalam berbagai proses pengolahan plasma. Untuk setiap proses pengolahan plasma, Leybold dapat menawarkan solusi vakum yang sempurna untuk kebutuhan pelanggan.
Temukan produk kami untuk pengolahan plasma di bawah ini, atau hubungi kami untuk mendiskusikan proyek Anda.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Pompa vana dua tahap bersegel oli unggul dalam kinerja vakum tinggi dengan memberikan tekanan tertinggi yang rendah. Versi BCS-PFPE unggul untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.
RUVAC
RUVAC
Tiga seri berbeda WA(U), WS(U) dan WH(U) dan kisaran kecepatan pemompaan yang luas dari 251 hingga 9800 m³/jam. Pengoperasian opsional dengan konverter frekuensi memungkinkan kontrol proses yang akurat. Versi WS(U)-PFPE dan WH-PFPE tersedia untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif
VARODRY
VARODRY
Pompa ulir kering berpendingin udara yang sepenuhnya bebas oli dengan kecepatan pengisapan 65 hingga 200 m³/jam yang membantu mengoptimalkan biaya kepemilikan Anda. Versi VARODRY HD O2 sangat cocok untuk pengobatan plasma O2.
DURADRY
DURADRY
Pompa ulir kering berpendingin air dengan kecepatan pompa 160 atau 250 m³/jam. Tingkat kebisingan terbaik di kelasnya, desain ringkas, dan tertutup rapat. Manajemen panas yang stabil memungkinkan penanganan Argon dan gas ringan yang sangat baik. Ketangguhan tertinggi untuk mendukung hampir semua proses pengolahan plasma.
DRYVAC
DRYVAC
Desain yang ringkas, kedap udara, dan terbukti, dikombinasikan dengan kekuatan dan efisiensi energi tertinggi. Menawarkan kinerja yang andal dan waktu operasional yang meningkat untuk proses pengolahan plasma, kecepatan pengisapan mulai dari 200 hingga 800 m³/jam.
TRIVAC B
Pompa vana dua tahap bersegel oli unggul dalam kinerja vakum tinggi dengan memberikan tekanan tertinggi yang rendah. Versi BCS-PFPE unggul untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif.
RUVAC
Tiga seri berbeda WA(U), WS(U) dan WH(U) dan kisaran kecepatan pemompaan yang luas dari 251 hingga 9800 m³/jam. Pengoperasian opsional dengan konverter frekuensi memungkinkan kontrol proses yang akurat. Versi WS(U)-PFPE dan WH-PFPE tersedia untuk aplikasi plasma yang sangat reaktif
VARODRY
Pompa ulir kering berpendingin udara yang sepenuhnya bebas oli dengan kecepatan pengisapan 65 hingga 200 m³/jam yang membantu mengoptimalkan biaya kepemilikan Anda. Versi VARODRY HD O2 sangat cocok untuk pengobatan plasma O2.
DURADRY
Pompa ulir kering berpendingin air dengan kecepatan pompa 160 atau 250 m³/jam. Tingkat kebisingan terbaik di kelasnya, desain ringkas, dan tertutup rapat. Manajemen panas yang stabil memungkinkan penanganan Argon dan gas ringan yang sangat baik. Ketangguhan tertinggi untuk mendukung hampir semua proses pengolahan plasma.
DRYVAC
Desain yang ringkas, kedap udara, dan terbukti, dikombinasikan dengan kekuatan dan efisiensi energi tertinggi. Menawarkan kinerja yang andal dan waktu operasional yang meningkat untuk proses pengolahan plasma, kecepatan pengisapan mulai dari 200 hingga 800 m³/jam.
- Aplikasi terkait
- Produk terkait
