Trockenverdichtende Vakuumpumpen in Kombination mit Wälzkolbenpumpen

  • Hohes Saugvermögen
  • Hohe Zuverlässigkeit
  • Geeignet für anspruchsvolle Prozessanwendungen (Staub, Dämpfe, etc.)
  • Überwachungseinrichtung

Turbo-Molekularpumpen

  • Partikelgeeignet
  • Hohe Vorvakuumtoleranz
  • Installation in jeder Orientierung

Einstufige Drehschieberpumpen in Kombination mit Wälzkolbenpumpen

  • Konstruiert zum raschen Abpumpen  von Schleusen und Transferkammern
  • Robuster Vakuumerzeuger für den Grobvakuumbereich
  • Hohe Zuverlässigkeit
  • Kostenoptimiert