DIJ

Öldiffusionspumpen

Hochvakuumpumpen mit hohem Gasdurchsatz und Saugvermögen

Die Öldiffusionspumpen der Serie DIJ von Leybold sind fortschrittliche Hochvakuumpumpen (< 10^-2 mbar) mit innovativem Heizsystem, speziellem Systemdesign und einem fünfstufigen Düsensystem für schnelleres Abpumpen der Prozesskammer, geringeren Energieverbrauch und geringere CO2-Emissionen.

Die Serie DIJ bietet einen verbesserten Gasdurchsatz und einen stabilen Hochvakuumdruck im Bereich von < 10^-2 mbar. Das Saugvermögen reicht von 3.000 bis 33.000 l/s in einem Betriebsbereich von < 5 x 10^-1 bis 10^-7 mbar.

Die Serie DIJ verfügt über ein innovatives Heizkonzept, ein leistungsstarkes fünfstufiges Düsensystem, verschiedene Anschlussflansche und eine Vielzahl elektrischer Anschlussmöglichkeiten einschließlich der Energieeffizienzsteuerung (EEC). Die Pumpen sind komplett mit Vorvakuumleitblech und Düsenhutdampfsperre ausgestattet. Das fünfstufige DIJ-Systemdesign liefert hervorragende Leistung. Es gibt vier Diffusionspumpstufen für großes Saugvermögen und eine Ejektorstufe für hohen Gasdurchsatz im Druckbereich von unter 10^-2 mbar und hohe Vorvakuumstabilität. Die Varianten mit EEC haben eine höhere Energieeffizienz, was zu weiteren Energieeinsparungen und einer besseren CO2-Bilanz führt.

DIJ-Öldiffusionspumpen von Leybold erfordern wenig Wartung. Sie arbeiten verschleißfrei ohne drehende Teile und sind einfach zu bedienen. Die Serie DIJ überzeugt durch ihr innovatives und hocheffizientes Design.

Vorteile für den Anwender

Fünfstufiges Düsensystem

Düsenhutdampfsperre und Vorvakuumleitblech

Innovatives Heizkonzept

Verschiedene Flansche (ANSI/ISO)

Auswahl elektrischer Anschlussmöglichkeiten, um verschiedene Kundenanforderungen zu erfüllen

Energieeffizienzsteuerung

Wichtigste Daten

Saugvermögen 3.000 bis 33.000 l/s

Betriebsbereich < 10^-1 bis 10^-7 mbar

Optimales Saugvermögen in einem Druckbereich < 10^-3 mbar

Die DIJ-Serie bietet

Stabiles Hochvakuum
Hohes Saugvermögen
Hoher Gasdurchsatz
Sicheres und wirtschaftliches Design
CE-konforme Elektronik
Mühelos in der Handhabung
Wartungsfreundliches Design für schnellen und einfachen Austausch von Heizelementen
Große Zubehörauswahl erhältlich
Flexible elektrische Verdrahtung für den weltweiten Einsatz
Innovative Energieeffizienzsteuerung (EEC)

Die Vorteile von DIJ auf einen Blick

Die DIJ-Serie verfügt über eine Vielzahl von nützlichen Funktionen für eine optimale Integration in Ihre Anwendungen.

Innovatives Heizkonzept
Fünfstufiges Düsensystem
Verschiedene Flansche (ANSI/ISO)
Düsenhutdampfsperre
Energieeffizienzsteuerung (EEC)

Innovatives Heizkonzept

Einzigartiges, innovatives Heizkonzept, bei dem fortschrittliche Heizpatronen mit großer Wärmeaustauschfläche für eine optimierte Energieübertragung an das Öl verwendet werden. Eine effektive Temperaturüberwachung schützt das System vor Überhitzung. Die isolierte Heizfläche sorgt für minimale Energieverluste.

Minimale Belastung und lange Lebensdauer für Heizgeräte und Öl
Kurze Aufheizzeit
Heizung mit Flansch, leicht austauschbar

Fünfstufiges Düsensystem

Die DIJ-Pumpen sind mit einem neuen fünfstufigen Düsensystem ausgestattet. Vier Pumpstufen gewährleisten ein großes Saugvermögen bei niedrigen Drücken und führen zu einem niedrigen Hochvakuum. Die Ejektorstufe sorgt für eine hohe Vorvakuumstabilität und optimierten Gasdurchsatz.

Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen
Integrierte Düsenhutdampfsperre zur Vermeidung von Ölrückströmung

Verschiedene Flansche (ANSI/ISO)

Auswahl aus verschiedenen Flanschen für mehr Anschlussmöglichkeiten

ANSI/Zoll-Flansche (O-Ring abgedichtet)
ISO-F- oder ISO-K-Flansche (Zentrierring mit O-Ring-Dichtung)

Düsenhutdampfsperre und Vorvakuumleitblech

Um eine Rückströmung der Flüssigkeit in die Vakuumkammer zu verhindern, sind die Pumpen der Serie DIJ mit unserer prozessbewährten Düsenhutdampfsperre und einem optimierten Vorvakuumleitblech ausgestattet.

Innovatives, neues Vorvakuumleitblech für geringere Ölverluste
Bessere Prozessparameter
Weniger Ölrückstrom

Energieeffizienzsteuerung

Energieeinsparungen von bis zu 30 % ohne Leistungsverlust der Pumpe

Öldiffusionspumpen benötigen eine bestimmte Mindestöltemperatur für den Betrieb. Ohne eine Steuerung werden 100 % der Heizleistung ständig zum Heizen des Öls genutzt. Die innovative Energieeffizienzsteuerung von Leybold für Diffusionspumpen senkt den Stromverbrauch um bis zu 30 %, da die gelieferte Leistung nach Erreichen der Betriebstemperatur der Pumpe deutlich reduziert wird. Weitere Einsparungen ergeben sich aus der Nutzung des Standby-Modus bei niedrigerer Temperatur.

Verbesserte Energieeffizienz
Längere Betriebszeiten des Öls und der Heizpatronen
Ausgezeichnete Bedienung und einfache Handhabung
Einfache, visuelle Überwachung der Parameter
USB-Schnittstelle und Ethernet-Anschluss

Technische Informationen
Dokumente
Einsatzbereiche
Online-Shop

		DIJ 10	DIJ 320	DIJ 16	DIJ 500	DIJ 20	DIJ 630	DIJ 32	DIJ 800	DIJ 35	DIJ 1000
Hochvakuum		10'' ANSI	320 ISO-K	16'' ANSI	500 ISO-K	20'' ANSI	630 ISO-K	32'' ANSI	800 ISO-F	35'' ANSI	1000 ISO-F
Vorvakuumanschluss		2'' ANSI	63 ISO-K	3'' ANSI	100 ISO-K	4'' ANSI	160 ISO-K	6'' ANSI	200 ISO-K	6'' ANSI	200 ISO-K
Saugvermögen für
Luft < 8 x 10 - 4 mbar	l/s	3000		6800		10800		21000		33000
Argon < 1 x 10 - 4 mbar	l/s	2750		6350		9500		18000		26000
Betriebsbereich	mbar	< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-6		< 10-1 - 10-6
Totaler Enddruck	mbar	< 5 - 10-7		< 5 - 10-7		< 5 - 10-7		< 1 - 10-6		< 1 - 10-6
Netzspannung		3 ~ 400 V /N/PE		3 ~ 400 V /N/PE		3 ~ 400 V /N/PE		3 ~ 400 V /N/PE		3 ~ 400 V /N/PE
Je nach Variante, 50/60 Hz		3 ~ 460 V /N/PE		3 ~ 460 V /N/PE		3 ~ 460 V /N/PE		3 ~ 460 V /N/PE		3 ~ 460 V /N/PE
Heizleistung	kW	3,6		7,2		10,8		21,5		21,5
Gewicht ca.	kg	95		152		230		570		610