UNIVEX Coating Systems

UNIVEX G Glovebox

Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten in einer inerten Umgebung

Unser standardmäßiges Glovebox-System ermöglicht das Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten unter der inerten Umgebung einer Glovebox.

Die UNIVEX G-Systeme verfügen über eine vordere Schiebetür zur Verbindung mit der Glovebox. Diese Schiebetür ermöglicht dem Bediener einen einfachen Zugang zur Prozesskammer über die Glovebox. Falls ein direkter Zugang erforderlich ist, verfügt die UNIVEX G über eine zweite Tür auf der Rückseite.

Häufige Anwendungen 

  • Kontaktmetallisierung (Aufdampfen von Gold, Silber, Chrom, Nickel, Titan usw.)
  • Biosensoren/medizinische Geräte
  • Organische Elektronik: OLED, organische Photovoltaik
  • Quantenpunkte/Anzeige
  • Elektronenstrahl und organische Verdampfer zur anorganisch-organischen Perowskitbildung

Direkter und einfacher Zugang zur Prozessanlage über die vordere Schiebetür

Bequeme Wartung über einen rückseitigen Servicezugang.

Flexible Integration beliebiger Prozesskomponenten

UNIVEX G 250

Die UNIVEX G 250 ist eine praktische und kostengünstige Lösung für Beschichtungsvorgänge, die wenig Platz erfordert.

Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 220 mm verarbeitet werden.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Kammergröße

Breite 270 mm Tiefe 370 mm Höhe 400 mm

Thermischer Verdampfer

Bis zu 4 Materialien

Verdampfer von organischen Substanzen

Bis zu 4 Materialien

Elektronenstrahlverdampfung

Multi-Pocket oder Single-Pocket

Sputtern

Nach oben oder unten, 2 x 2"

Co-Beschichtungsanwendungen

Verdampfen und/oder Sputtern

Schleusenkompatibel

Option

Vakuumwert

Mitte 10-7 mbar

Reinraumkompatibel

Ja

UNIVEX G 350

Die UNIVEX G 350 kombiniert ein kompaktes Design mit viel Platz in der Kammer.

Die UNIVEX G 350 bietet optimale Platzverhältnisse und bequemen Zugang zu den Prozesskomponenten und zur Substratverarbeitung für zahlreiche Beschichtungsvorgänge.

Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 300 mm verarbeitet werden.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

Kammergröße

Breite: 370 mm Tiefe: 390 mm Höhe: 500 mm

Thermischer Verdampfer

Bis zu 8 Materialien

Verdampfer von organischen Substanzen

Bis zu 4 Materialien

Elektronenstrahlverdampfung

Multi-Pocket und/oder Single-Pocket

Sputtern

Nach oben oder unten: 3 x 2-Zoll-Pistolen oder 2 x 3-Zoll-Pistolen

Co-Beschichtungsanwendungen

Verdampfen und/oder Sputtern

Schleusenkompatibel

Option

Ionengestützte Beschichtung

Option

Vakuumwert

Mitte 10-7 mbar

Reinraumkompatibel

Ja

UNIVEX G 450

Aufgrund ihrer Kammerabmessungen ist die UNIVEX G 450 für alle Beschichtungsaufgaben geeignet, die viel Platz erfordern. Es können Substrate bzw. Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von über 400 mm verarbeitet werden. Mit einer Höhe von 650 mm ist die Vakuumkammer auch für Hebeanwendungen geeignet.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

Kammergröße

Breite: 500 mm Tiefe: 500 mm Höhe: 650 mm

Thermischer Verdampfer

Bis zu 8 Materialien

Verdampfer von organischen Substanzen

Bis zu 8 Materialien

Elektronenstrahlverdampfung

Multi-Pocket und/oder Single-Pocket

Sputtern

Nach oben oder unten: 3 x 3 Zoll, 2 x 4 Zoll, 4 x 2 Zoll oder andere

Co-Beschichtungsanwendungen

Verdampfen und/oder Sputtern

Schleusenkompatibel

Option

Ionengestützte Beschichtung

Option

Vakuumwert

Mitte 10-7 mbar

Reinraumkompatibel

Ja

Systems + Solutions

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