วิธีสอบเทียบเครื่องตรวจจับการรั่วไหล

แชร์ผ่าน

การสอบเทียบเครื่องตรวจจับการรั่วไหลจะเข้าใจได้ว่าเป็นการปรับการแสดงผลที่เครื่องตรวจจับการรั่วไหล ซึ่งมีการเชื่อมต่อการรั่วไหลของการสอบเทียบ (หรือการรั่วไหลทดสอบ)

การรั่วไหลของการสอบเทียบคือการรั่วไหลที่ทราบอัตราการรั่วไหลที่อุณหภูมิและสภาวะแรงดันที่เฉพาะเจาะจงอย่างแม่นยํา อัตราการรั่วไหลนี้จะระบุไว้ในใบรับรองการสอบเทียบการรั่วไหลของการสอบเทียบ หรือบันทึกไว้บนฉลากที่ติดกับการรั่วไหลของการสอบเทียบ

ในการทํางานสุญญากาศ ต้องแยกความแตกต่างระหว่างการสอบเทียบสองประเภท:

การสอบเทียบภายในของเครื่องตรวจจับการรั่วไหลจะใช้การสอบเทียบการรั่วไหลที่ติดตั้งอยู่ในเครื่องตรวจจับการรั่วไหลอย่างถาวร การใช้ "การรั่วไหลของการสอบเทียบภายใน" นี้ จะสามารถสอบเทียบเฉพาะเครื่องตรวจจับการรั่วไหลที่มีการรั่วไหลของการสอบเทียบในตัวเท่านั้น
เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของ Leybold ทั้งหมดมาพร้อมกับการรั่วไหลของการสอบเทียบภายใน ด้วยขั้นตอนการสอบเทียบอัตโนมัติ เครื่องตรวจจับการรั่วไหลแต่ละเครื่องสามารถ "สอบเทียบภายใน" ได้ภายในเวลาเพียงไม่กี่วินาที
การสอบเทียบภายนอกของเครื่องตรวจจับการรั่วไหลใช้การรั่วไหลของการสอบเทียบที่ติดตั้งที่ทางเข้าของเครื่องตรวจจับการรั่วไหล การใช้ "การสอบเทียบการรั่วไหลภายนอก" นี้ สามารถสอบเทียบเครื่องตรวจจับการรั่วไหลได้ในเวลาเพียงไม่กี่นาที
นอกจากนี้ ยังสามารถใช้การรั่วไหลของการสอบเทียบภายนอกเพื่อตรวจสอบการทํางานและการทํางานที่เหมาะสมของการรั่วไหลของการสอบเทียบภายใน โดยเฉพาะอย่างยิ่ง การสอบเทียบการรั่วไหลภายนอกจะใช้เสมอหากต้องสอบเทียบระบบตรวจจับการรั่วไหลที่สมบูรณ์หรือการจัดเรียงการไหลบางส่วน

โดยปกติแล้ว อุปกรณ์ดูดก๊าซและอุปกรณ์ดูดก๊าซจะต้องได้รับการสอบเทียบด้วยการรั่วไหลของการสอบเทียบภายนอก ในกรณีนี้ ต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าก๊าซทดสอบทั้งหมดจากการรั่วไหลของการสอบเทียบไปถึงปลายของเครื่องดมยาสลบ ในขณะที่การไหลของก๊าซผ่านเครื่องดมยาสลบไม่ถูกขัดขวางโดยกระบวนการสอบเทียบ (ดูรูปที่ 9 ด้านล่าง)

รูปภาพ 9: จุดเชื่อมต่อการสอบเทียบของการสอบเทียบการรั่วไหลของเครื่องดม

เมื่อทําการตรวจวัดโดยใช้เทคนิคการดูดอากาศ จําเป็นต้องคํานึงถึงระยะห่างจากปลายโพรบถึงพื้นผิวของตัวอย่างและความเร็วในการสแกน ซึ่งต้องรวมเป็นส่วนหนึ่งของการสอบเทียบ ในกรณีพิเศษที่ตรวจวัดความเข้มข้นของฮีเลียม การสอบเทียบสามารถทําได้โดยใช้ปริมาณฮีเลียมในอากาศ ซึ่งเป็นค่าเดียวกัน 5 ppm ทั่วโลก

การรั่วไหลของการสอบเทียบโดยปกติจะประกอบด้วยแหล่งจ่ายก๊าซ โช๊คอัพที่มีค่าการนําไฟฟ้าที่กําหนด และวาล์ว การกําหนดค่าจะสอดคล้องกับอัตราการรั่วไหลที่ต้องการ

รูปภาพ 10: ตัวอย่างองค์ประกอบของการรั่วไหลของการสอบเทียบ

a - การรั่วไหลของการสอบเทียบโดยไม่มีการจ่ายก๊าซ
b - การรั่วไหลของการสอบเทียบสําหรับการใช้งานเครื่องดมยาสลบและสุญญากาศ
c - การรั่วไหลของการสอบเทียบแคปิลลารี (ภายใน)
d - การรั่วไหลของการสอบเทียบการซึมผ่าน (หรือที่เรียกว่า "การรั่วไหลของการสอบเทียบการแพร่")
e - การรั่วไหลของการสอบเทียบสารทําความเย็น

ภาพด้านบนแสดงการรั่วไหลของการสอบเทียบฮีเลียมที่แตกต่างกัน

การรั่วซึมโดยทั่วไปจะใช้ในกรณีที่มีอัตราการรั่วซึม 10 ^-10 ถึง 10 ^-7 mbar·l/s โดยปกติแล้วจะใช้หลอดแคปิลลารีสําหรับอัตราการรั่วซึมระหว่าง 10 ^{-7 ถึง 10 -4} mbar·l/s และสําหรับอัตราการรั่วซึมขนาดใหญ่มากในช่วงตั้งแต่ 10 ถึง 1000 mbar·l/s ส่วนท่อหรือแผ่นรูที่มีค่าการนําไฟฟ้าที่กําหนดไว้อย่างแม่นยํา

การรั่วไหลของการสอบเทียบที่ใช้กับการเติมสารทําความเย็นแสดงถึงสถานการณ์พิเศษ เนื่องจากสารทําความเย็นเป็นของเหลวที่อุณหภูมิห้องและโดยปกติจะมีแรงดันไอระหว่าง 4 บาร์และ 10 บาร์ ปัญหาทางเทคโนโลยีข้อหนึ่งที่แก้ไขได้ยากคือความเสี่ยงของการอุดตันของหลอด สารทําความเย็นทั้งหมดยังเป็นตัวทําละลายที่ดีมากสําหรับน้ํามันและจาระบี ดังนั้นจึงมักมีการปนเปื้อนอย่างรุนแรง ดังนั้นจึงเป็นเรื่องยากที่จะเติมสารทําความเย็นบริสุทธิ์ลงในรอยรั่วของการสอบเทียบ ไม่เพียงแต่องค์ประกอบทางเคมีเท่านั้น แต่สิ่งสําคัญที่สุดก็คืออนุภาคที่ละลายน้ําซึ่งสามารถอุดตันหลอดเลือดฝอยได้ซ้ําๆ