เมื่อใดที่ปั๊มแพร่กระจายเป็นตัวเลือกที่เหมาะสม 26 ธันวาคม 2019
3 MIN READ
การพัฒนาการปั๊มสุญญากาศระดับสูง
เมื่อ 50 ปีก่อน หากคุณต้องการให้แรงดันต่ํากว่า 1 x 10 -3 mbar ปั๊มแพร่กระจายจึงเป็นตัวเลือกแรกเสมอ เป็นตัวเลือกเดียวที่มีจําหน่ายอย่างกว้างขวางและราคาสมเหตุสมผลสําหรับการปั๊มสุญญากาศสูง เมื่อปั๊มเทอร์โบโมเลกุลกลายเป็นปั๊มที่ใช้งานได้ในเชิงพาณิชย์ในทศวรรษ 1970 พวกเขาเริ่มเปลี่ยนปั๊มกระจายเป็นปั๊มสุญญากาศสูงที่สะอาดและมีประสิทธิภาพมากขึ้น แม้ว่าจะค่อยๆ ช้าลงก็ตาม เนื่องจากราคาสูงกว่าปั๊มกระจาย ความก้าวหน้าของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เปลี่ยนแปลงไปในทศวรรษ 1990 ซึ่งสร้างความต้องการปั๊มเทอร์โบนับพันตัวที่ถูกเลือกเนื่องจากข้อกําหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดมากของกระบวนการผลิตชิป ด้วยความต้องการที่สูงและความก้าวหน้าในการผลิตในเวลาเดียวกัน ปั๊มเทอร์โบจึงคุ้มค่ามากขึ้นเรื่อยๆ ปัจจุบันมีการใช้งานน้อยมากที่ปั๊มแพร่กระจายเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดในโรงงานสมัยใหม่
เหตุผลที่ควรเลือกปั๊มแบบแพร่กระจายเหนือปั๊มสุญญากาศระดับสูงอื่นๆ
ความเร็วในการปั๊มสูง
ปั๊มแบบแพร่กระจายสามารถมีเส้นผ่านศูนย์กลางทางเข้าได้มากถึงหนึ่งเมตร เมื่อคุณทํางานในแรงดันที่มีการไหลของโมเลกุล เส้นผ่านศูนย์กลางทางเข้าเกือบจะเป็นเกณฑ์เดียวที่ส่งผลต่อความเร็วในการปั๊มโดยรวม ดังนั้น หน้าแปลนทางเข้าที่มีขนาดใหญ่กว่ามากในปั๊มแพร่กระจายจึงทําให้ปั๊มนี้เป็นตัวเลือกสําหรับความต้องการความเร็วในการปั๊มที่สูงมาก โดยทั่วไปแล้ว ปั๊มเทอร์โบจะจํากัดขนาดหน้าแปลนขาเข้าไว้ที่ 250 มม. (10 นิ้ว) เนื่องจากพื้นที่จะเพิ่มขึ้นตามสี่เหลี่ยมของรัศมี ซึ่งหมายความว่าเส้นผ่านศูนย์กลาง 1 เมตรจะมีพื้นที่การไหลมากกว่าเส้นผ่านศูนย์กลาง 250 มม. 16 เท่า เรามาเปรียบเทียบกัน ปั๊มเทอร์โบที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 250 มม. สามารถมีความเร็วในการปั๊มสูงถึง 2800 ลิตร/วินาที ปั๊มแพร่กระจายทางเข้าขนาด 1000 มม. มีความเร็วในการปั๊มที่ 50000 ลิตร/วินาที 2800 ลิตร/วินาที x 16 = 44800 ลิตร/วินาที ใกล้เคียงกันมาก ซึ่งหมายความว่าคุณจําเป็นต้องใช้ปั๊มเทอร์โบ 16 ถึง 20 ตัวเพื่อให้ความเร็วเท่ากับปั๊มกระจายทางเข้าขนาด 1000 มม. ตัวเดียว และต้นทุนก็ไม่สูงนัก
สภาพแวดล้อมการปั๊มที่สกปรก
ในการใช้งานต่างๆ เช่น การหล่อแบบลงทุน การเคลือบเซรามิก และกระบวนการใดๆ ที่มีคอนเดนเซทที่เหนียว ไอระเหยที่เข้าถึงปั๊มสุญญากาศสูงอาจทําให้เกิดปัญหาความทนทานที่รุนแรงกับปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ในกรณีเหล่านี้ ปั๊มแพร่กระจายมักจะเป็นปั๊มสุญญากาศสูงเพียงเครื่องเดียวที่ทํางานได้อย่างน่าเชื่อถือ
ปั๊มแบบแพร่กระจายมาตรฐานเทียบกับปั๊มบูสเตอร์ไอน้ํามัน
ปั๊มแบบแพร่กระจายมีสองรุ่นหลัก ได้แก่ ปั๊มแบบแพร่กระจายมาตรฐาน และปั๊มบูสเตอร์ไอน้ํามัน ปั๊มแพร่กระจายทั้งสองทํางานในลักษณะที่คล้ายกัน ค้นพบวิธีการทํางานอย่างละเอียดยิ่งขึ้นในโพสต์บล็อกของเรา หลักการทํางานของปั๊มแบบแพร่กระจายพื้นฐาน
เกณฑ์สําคัญในการเลือกปั๊มบูสเตอร์ไอน้ํามันเหนือกว่าปั๊มแพร่กระจายมาตรฐานคือเมื่อคุณต้องการทํางานกับแรงดันห้องระหว่าง 1x10 -3 mbar (1 ไมครอน) และ 2x10 -2 mbar (20 ไมครอน) ในช่วงแรงดันนี้ ปั๊มบูสเตอร์ไอน้ํามันจะมีประสิทธิภาพเหนือกว่าปั๊มสุญญากาศอื่นๆ ทุกตัวในโลกอย่างมาก
ที่เกี่ยวข้อง: คุณอาจต้องการดูบทความในบล็อกเหล่านี้เพื่อช่วยในการตัดสินใจที่ถูกต้อง: ปัจจัยที่ควรพิจารณาเมื่อเลือกปั๊มสุญญากาศ และฉันจะทราบได้อย่างไรว่าปั๊มสุญญากาศแบบใดเหมาะกับฉัน
ยังคงไม่แน่ใจใช่หรือไม่ ธุรกิจ โครงการ และกระบวนการทุกอย่างมีเอกลักษณ์ หากคุณยังคงไม่แน่ใจว่าปั๊มแพร่กระจายเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสําหรับความต้องการของคุณหรือไม่ หรือหากคุณคิดถึงปั๊มแบบกําหนดเอง คลิกปุ่มด้านล่างและเริ่มสนทนากับทีมงาน Leybold เรายินดีให้ความช่วยเหลือ
