UNIVEX C ระบบการเคลือบผิวแบบกลุ่มและแบบกําหนดเอง

สําหรับการใช้งานพิเศษ เรายังสามารถจัดหาระบบแบบคลัสเตอร์หรือแบบกําหนดเองตามแนวคิดโมดูลาร์ UNIVEX

การออกแบบระบบที่ปรับแต่งได้

ลําดับกระบวนการที่ตั้งโปรแกรมได้และควบคุมด้วยสูตร

สุญญากาศในกระบวนการที่ยอดเยี่ยม การปนเปื้อนก๊าซตกค้างต่ํา

คลัสเตอร์ UNIVEX C
UNIVEX C - กําหนดเอง

คลัสเตอร์ UNIVEX C

คลัสเตอร์ UNIVEX ของเราได้รับการติดตั้งตามความต้องการของลูกค้า และประกอบด้วยห้องประมวลผล ล็อคโหลด และห้องถ่ายโอนแยกต่างหาก โดยทั่วไปแล้ว ห้องสุญญากาศแต่ละห้องจะมีระบบสุญญากาศสูงของตัวเอง ในกรณีที่เรียบง่ายที่สุด ห้องล็อคโหลดจะถูกโหลดด้วยตนเองด้วยซับสเตรตแต่ละตัว นอกจากนี้ยังสามารถประมวลผลแม็กกาซีนของซับสเตรตหลายชนิดต่อชุดได้อีกด้วย

แขนหุ่นยนต์ที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์หรือหน่วยขับเคลื่อนการถ่ายโอนเชิงเส้นมักใช้สําหรับการขนส่งซับสเตรตระหว่างห้องสุญญากาศแต่ละห้อง ซอฟต์แวร์ควบคุม UNIVEX ได้รับการปรับแต่งตามข้อกําหนดการใช้งานเฉพาะ และโดยทั่วไปจะช่วยให้กระบวนการทํางานโดยอัตโนมัติเต็มรูปแบบ รวมถึงการประมวลผลสูตร