เครื่องเคลือบกล่อง Univex สําหรับการสะสมฟิล์มบางๆ ในการวิจัยและพัฒนาและการผลิตต้นแบบ 11 พฤษภาคม 2021
3 MIN READ
ความสามารถในการเคลือบฟิล์มบางที่มีคุณภาพสูง สม่ําเสมอ และสอดคล้องกันเป็นสิ่งสําคัญต่อการพัฒนาอุปกรณ์ใหม่สําหรับหลายตลาด ตัวอย่างได้แก่ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ออพติคัล จอแสดงผล และทางการแพทย์
เราจะสนับสนุนการสะสมของฟิล์มบางได้อย่างไร
กลุ่มผลิตภัณฑ์ระบบเคลือบผิวกล่องของ Leybold ประกอบด้วยระบบเคลือบ Univex 250, 350, 450, 600 และ 900 ระดับเริ่มต้น 250 สามารถรองรับพื้นผิวได้สูงสุด 220 มม. และนําเสนอโซลูชันที่คุ้มค่าสําหรับตลาด R&D ขนาดกะทัดรัดช่วยให้สามารถติดตั้งห้องอบบนโต๊ะได้หากจําเป็น เหมาะสําหรับสภาพแวดล้อมในห้องปฏิบัติการ นอกจากนี้ ยังสามารถจัดส่งห้องอบภายในโครงแบบสแตนด์อโลนได้อีกด้วย
สมาชิกในตระกูล Univex ที่มีขนาดใหญ่กว่านี้มีโอกาสในการจัดการกับสารตั้งต้นที่มีขนาดใหญ่กว่า ทําให้สามารถนําไปใช้กับการผลิตต้นแบบได้ 900 เป็นห้องที่ใหญ่ที่สุดในกลุ่มผลิตภัณฑ์นี้ และสามารถรองรับสารตั้งต้นได้สูงสุด 800 มม. กลุ่มผลิตภัณฑ์เครื่องเคลือบผิวเลนส์ที่ครบครันมีทั้งกระบวนการเคลือบผิวเลนส์แบบแมนนวลและแบบควบคุมผ่านระบบ PLC
ระบบเคลือบ Univex แบบช่องเดียวของ Leybold นําเสนอแหล่งกําเนิดการสะสมจํานวนมากร่วมกับแหล่งพลังงานที่เหมาะสม เทคนิคการสะสมประกอบด้วย:
การระเหยด้วยความร้อน
การฉีดพ่น
การระเหยของลําแสงอิเล็กตรอน
ความยืดหยุ่นในการออกแบบช่วยให้สามารถติดตั้งแหล่งกําเนิดการสะสมหลายแหล่งในห้องทํางานเดียวได้
ระบบสุญญากาศมีความยืดหยุ่นคล้ายคลึงกัน ทําให้สามารถใช้ระบบเคลือบผิวแบบกําหนดเองได้ โดยทั่วไปแล้วเครื่องเคลือบ Univex 250 จะมาพร้อมกับ Turbovaci 350i ของ Leybold ร่วมกับปั๊มใบพัดโรตารี่ขนาดเล็ก เช่น SV10 อย่างไรก็ตาม มีตัวเลือกอื่นๆ รวมถึงปั๊มสุญญากาศแบบแห้งและปั๊มแบบเย็น
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล Leybold TURBOVAC 350i
การเลือกเทคนิคการสะสมขึ้นอยู่กับการใช้งานและข้อกําหนดเฉพาะของวัสดุ
ระบบการระเหยด้วยความร้อนเป็นวิธีการที่เรียบง่ายและคุ้มค่าในการสะสมวัสดุที่หลากหลาย ตัวเลือกอุณหภูมิสูงช่วยให้เกิดการสะสมของโลหะหลอมเหลวที่ต่ํากว่าซึ่งมักใช้สําหรับการใช้งานหน้าสัมผัสไฟฟ้า นอกจากนี้ยังมีแหล่งอุณหภูมิต่ําสําหรับการผลิตฟิล์มอินทรีย์บาง ๆ
ตัวเลือกสปัตเตอร์ช่วยให้เกิดการสะสมของโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูง ซึ่งไม่สามารถทําได้ด้วยเทคนิคความร้อน ไอออนอาร์กอนพลังงานสูงที่เกิดขึ้นภายในพลาสมากระทบกับวัสดุเป้าหมาย ซึ่งจะถูกสปัตเตอร์จากพื้นผิวและสะสมบนซับสเตรตทดสอบ
เทคนิคการสปัตเตอร์ให้ความสม่ําเสมอของฟิล์มในระดับสูง นอกจากนี้ ยังทําให้ได้การเคลือบผิวที่มีความหนาแน่นสูงกว่าเมื่อเทียบกับวิธีการทางความร้อน มีการใช้กันอย่างกว้างขวางสําหรับอุปกรณ์ออพติคัล
การระเหยด้วยลําแสงอิเล็กทรอนิกส์เป็นเทคนิคความร้อนอีกอย่างหนึ่ง อิเล็กตรอนที่มีพลังงานกระแทกกับวัสดุต้นทาง ส่งผลให้การระเหยของโลหะที่มีจุดหลอมเหลวสูงเป็นไปไม่ได้ด้วยเทคนิคความร้อนเพียงอย่างเดียวร่วมกับการสะสมที่เพิ่มขึ้นเมื่อเปรียบเทียบกับเทคนิคความร้อน
สามารถเลือกแหล่งกําเนิดการสะสมได้ตามความต้องการของแต่ละบุคคล
สําหรับตัวอย่างที่ไวต่ออากาศ สามารถเพิ่มกล่องถุงมือได้สําหรับรุ่น 250 มีช่องขนาดใหญ่กว่า ได้แก่ 350 และ 450 เพื่อรองรับซับสเตรตที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเพิ่มขึ้น
เพื่อการเคลือบฟิล์มบางที่แม่นยําและทําซ้ําได้ Leybold ยังให้การตรวจสอบความหนาของฟิล์มโดยใช้เทคโนโลยีคริสตัลควอตซ์ ซึ่งสามารถตรวจสอบฟิล์มชนิดเดียวหรือด้วยการเพิ่มการวัดแบบหลายหัวสําหรับการสะสมฟิล์มตามลําดับ นอกจากนี้ยังสามารถจ่ายฟิล์มโดยอัตโนมัติด้วยตัวควบคุมที่เลือกได้ตามความหนาที่ต้องการ - เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการใช้งานต้นแบบ
บทสรุป
- กลุ่มผลิตภัณฑ์ระบบเคลือบ Univex ครอบคลุมทั้งข้อกําหนดด้านการวิจัยและพัฒนาและการผลิตต้นแบบ
- ตัวเลือกขนาดห้องอบช่วยให้รองรับวัสดุตั้งแต่ 220 มม. ถึง 800 มม.
- มีตัวเลือกการปั๊มที่หลากหลาย
- สามารถเพิ่มกล่องถุงมือสําหรับตัวอย่างที่ไวต่ออากาศได้
- สามารถเพิ่มระบบล็อกโหลดเพื่อเพิ่มปริมาณงานได้
- การตรวจสอบความหนาของฟิล์มให้การเคลือบผิวที่แม่นยําและทําซ้ําได้
