UNIVEX C

클러스터 및 맞춤형 증착 시스템

특수 응용 분야의 경우 UNIVEX 모듈식 개념에 기반한 클러스터 또는 맞춤형 시스템을 제공할 수도 있습니다.

온라인 매장

맞춤형 시스템 설계

프로그램 작동이 가능한, 레시피 제어 공정 시퀀스

우수한 공정 진공, 잔류 가스 오염 저감

UNIVEX C-클러스터
UNIVEX C-커스텀

UNIVEX C-클러스터

UNIVEX 클러스터는 고객 요구 사항에 따라 장착되어 있으며 별도의 처리, 로그 록 및 전송 챔버를 포함하고 있습니다. 일반적으로 각 진공 챔버에는 자체 고진공 시스템이 있습니다. 로드 록 챔버는 개별 기판에 수동으로 로드되는 가장 간단한 케이스이며 또한 배치당 여러 기판에 대해 매거진 프로세싱이 가능합니다.

개별 진공 챔버 간에 기판을 운반하기 위해 일반적으로 모터 구동식 로봇 암 또는 선형 이송 구동 장치가 사용됩니다. UNIVEX 제어 소프트웨어는 특정 응용 분야의 요구 사항에 따라 맞춤 설정되며 일반적으로 레시피 처리를 비롯한 프로세스를 완전히 자동으로 실행할 수 있습니다.