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당사의 표준 글러브 박스 시스템을 통해 글러브 박스의 비활성 환경에서 습기와 산소에 민감한 기판을 장착하고 코팅할 수 있습니다.
UNIVEX G 시스템에는 글러브 박스에 연결하기 위한 전면 슬라이딩 도어가 있습니다. 이 슬라이딩 도어를 통해 운전자는 글러브 박스를 통해 프로세스 챔버에 쉽게 접근할 수 있습니다. 직접 접근이 필요한 경우, UNIVEX G 뒤쪽에 두 번째 도어가 있습니다.
공통 응용 분야
전면 슬라이딩 도어를 통해 프로세스 장비에 직접적으로 쉽게 액세스 가능
뒷면 힌지형 도어를 통해 편리한 서비스 액세스 가능
모든 프로세스 구성 요소의 통합
UNIVEX G 250은 공간이 많이 필요하지 않은 코팅 작업을 위한 편리하고 비용 효율적인 솔루션입니다.
전체 직경 약 220mm의 기판, 각 기판 홀더를 처리할 수 있습니다.
G 250 |
|
---|---|
Chamber size |
Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm |
Thermal evaporator |
up to 4 materials |
Organic evaporator |
up to 4 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket or single pocket |
Sputtering |
up or down, 2 x 2" |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX G 350은 컴팩트한 디자인과 충분한 챔버 공간을 결합했습니다.
대부분의 코팅 작업에서 UNIVEX G 350은 최적의 공간 조건을 제공하고 공정 구성 요소 및 기판 처리에 편리하게 접근할 수 있습니다.
전체 직경 약 300mm의 기판, 각 기판 홀더를 처리할 수 있습니다.
G 350 |
|
---|---|
chamber size |
Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm |
thermal evaporator |
up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 4 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX G 450은 챔버 크기 때문에 공간이 많이 필요한 모든 코팅 작업에 적합합니다. 전체 직경이 400mm를 초과하는 기판을 각각 처리할 수 있습니다. 높이 650mm의 진공 챔버는 리프트 오프 작업에도 적합합니다.
G 450 |
|
---|---|
chamber size |
Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm |
thermal evaporator |
Up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 8 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |