UNIVEX G 글러브 박스

불활성 환경 하에서 습기 및 산소에 민감한 기판의 장착 및 코팅

당사의 표준 글러브 박스 시스템을 통해 글러브 박스의 비활성 환경에서 습기와 산소에 민감한 기판을 장착하고 코팅할 수 있습니다.

UNIVEX G 시스템에는 글러브 박스에 연결하기 위한 전면 슬라이딩 도어가 있습니다. 이 슬라이딩 도어를 통해 운전자는 글러브 박스를 통해 프로세스 챔버에 쉽게 접근할 수 있습니다. 직접 접근이 필요한 경우, UNIVEX G 뒤쪽에 두 번째 도어가 있습니다.

공통 응용 분야

전면 슬라이딩 도어를 통해 프로세스 장비에 직접적으로 쉽게 액세스 가능

뒷면 힌지형 도어를 통해 편리한 서비스 액세스 가능

모든 프로세스 구성 요소의 통합

UNIVEX G 250은 공간이 많이 필요하지 않은 코팅 작업을 위한 편리하고 비용 효율적인 솔루션입니다.

전체 직경 약 220mm의 기판, 각 기판 홀더를 처리할 수 있습니다.

	G 250
Chamber size	Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm
Thermal evaporator	up to 4 materials
Organic evaporator	up to 4 materials
E-beam evaporation	multi-pocket or single pocket
Sputtering	up or down, 2 x 2"
Co-Deposition	evaporation and/or sputtering
Load lock compatible	optional
Vacuum level	mid 10^-7 mbar
Cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 350은 컴팩트한 디자인과 충분한 챔버 공간을 결합했습니다.

대부분의 코팅 작업에서 UNIVEX G 350은 최적의 공간 조건을 제공하고 공정 구성 요소 및 기판 처리에 편리하게 접근할 수 있습니다.

전체 직경 약 300mm의 기판, 각 기판 홀더를 처리할 수 있습니다.

	G 350
chamber size	Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm
thermal evaporator	up to 8 materials
organic evaporator	Up to 4 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 450은 챔버 크기 때문에 공간이 많이 필요한 모든 코팅 작업에 적합합니다. 전체 직경이 400mm를 초과하는 기판을 각각 처리할 수 있습니다. 높이 650mm의 진공 챔버는 리프트 오프 작업에도 적합합니다.

	G 450
chamber size	Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm
thermal evaporator	Up to 8 materials
organic evaporator	Up to 8 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes

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