진공 펌프 유지 관리 일반 문제 해결
이 섹션에서는 문제 해결 및 펌프 유지 관리에 대한 일반 지침을 제안합니다. 추가로 잠재적인 오류와 그 원인에 대해 논의합니다.
진공 펌프에 대한 일반 작동 정보
펌프를 장착하기 전에 흡기 및 배출 포트가 개방된 상태에서 모터 회전 방향을 점검해야 합니다. 모터 끝에서 확인되는 구동 샤프트는 시계 반대 방향으로 회전해야 합니다. 회전 방향을 나타내는 모터 또는 하우징의 화살표를 확인합니다. 모터가 잘못된 방향으로 회전하면 모터 연결 단자 블록의 두 위상을 서로 바꾸어 이 문제를 해결할 수 있습니다.
원하는 최종 압력이 달성되지 않거나 너무 느리게 달성될 때 고장의 원인
진공 장비에서 원하는 최종 압력에 전혀 도달하지 않거나 지나치게 긴 펌핑 기간이 지난 후에만 도달하는 경우 다음과 같은 문제가 원인일 수 있습니다.
- 진공 시스템에 누출이 있거나 더러울 수 있습니다.
- 펌프가 더럽거나 손상되었을 수 있습니다.
- 진공 게이지에 결함이 있을 수 있습니다.
아주 긴 펌프 다운 시간 이후에만 최종 압력에 도달하는 경우,
- 진공 시스템이 더러울 수 있습니다.
- 펌핑 라인이 막히거나 직경이 너무 작을 수 있습니다.
- 펌프가 더럽거나 용량이 너무 적을 수 있습니다.
- 펌프 속도가 다른 원인으로 인해 제한될 수 있습니다.
결함을 찾으려면 펌프 시스템에서 배출된 용기를 분리하여 펌프 시스템만으로 최종 압력에 도달하는지 확인해야 합니다. 이 압력이 최종 압력에 도달하지 않는 경우 사용 중인 펌프 유형에 대한 개별 펌프 섹션을 참조하십시오.
그런 다음 압력 상승 방법과 같은 방법을 사용하여 탱크 및 파이프 구조/플랜지 연결부의 누출 및 오염 여부를 점검해야 합니다. 플랜지 씰은 누출이 가장 쉽게 나타나는 곳으로 알려져 있으며, 이는 초기에는 중요하지 않은 약간의 긁힘 및 기계적 손상으로 인해 발생합니다. 이와 관련하여 용기에 결함이 없는 경우 측정 시스템의 청결 상태를 점검합니다(게이지 유지 관리 페이지 참조).
진공 용기의 오염 제거
오염을 감지하기 위해 일반적으로 사용되는 절차는 라인에 콜드 트랩이 삽입되었는지 여부와 무관하게 동일한 진공 게이지의 압력 표시를 비교하는 것입니다. 콜드 트랩을 액체 질소로 채우면 증기가 트랩에서 동결되어 용기가 오염된 경우 10의 1거듭제곱 이상의 출력으로 압력이 갑작스럽게 떨어집니다.
금속 장비의 오염 제거
금속 부품은 일반적으로 오일 및 그리스에 의해 오염의 흔적이 나타납니다. 용기를 펌핑하여 제거할 수 없는 경우에는 적절한 유기 용제(변성 알코올이 모든 경우에 적합한 것은 아님)를 사용하여 세척해야 합니다. 업계에서 일반적으로 사용되는 증기 배스를 통해 최대 청결도를 달성할 수 있습니다. 매우 낮은 압력 범위(< 10-7mbar)를 달성하기 위해 금속 부품은 세척 후 최대 200°C의 온도에서 베이크아웃되어야 합니다. 심각하게 오염된 금속 부품은 먼저 절단하거나 상단 표면을 샌드블라스팅하여 청소해야 합니다. 이러한 방법은 표면 영역이 거칠어질 위험이 있으며 활성 중심이 형성되고 증기 분자를 즉시 흡수할 수 있습니다. 증기 배스를 추가로 청소하는 것이 좋습니다. 경우에 따라 표면의 전해질 피클링이 도움이 될 수 있습니다. 고진공 부품의 경우 피클이 에칭으로 변하지 않도록 해야 합니다. 이로 인해 표면적이 심각하게 증가하기 때문입니다. 저진공 및 중진공 범위에서 작업할 때 샌드블라스팅으로 거친 표면을 연마할 필요가 없습니다. 이러한 압력 영역에서는 표면만 중요한 역할을 하기 때문입니다.
