펌프 필터는 어떻게 작동합니까?

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로터리 펌프 부속품을 사용하여 무오일 진공 생성

진공 공정 도중 로터리 펌프에 유해한 물질이 진공 챔버에 존재할 수 있습니다. 다양한 부속품으로 오염을 방지할 수 있으며, 이는 아래에서 자세히 설명합니다. 특히 특수 필터 또는 흡착 트랩을 사용하여 수증기, 오일 증기 및 먼지 입자를 줄이는 방법에 대해 설명합니다.

수증기 제거

수증기는 습식 진공 공정에서 발생합니다. 이로 인해 물이 입구 라인에 축적될 수 있습니다. 이 응축수가 펌프의 입구 포트에 도달하면 펌프 오일이 오염될 수 있습니다. 이에 따라 오일 밀봉 펌프의 펌핑 성능이 크게 저하될 수 있습니다. 여기에 더해 펌프의 출구 밸브를 통해 배출되는 수증기는 배출 출구 라인에서 응축될 수 있습니다. 응축수는 배출 라인이 올바르게 배열되지 않은 경우 아래로 흐르고 배출 출구 밸브를 통해 펌프 내부에 도달할 수 있습니다. 따라서 수증기와 기타 증기가 있는 경우 응축수 트랩을 사용하는 것이 좋습니다. 배출 출구 라인이 기체 밸러스트 펌프에 연결되지 않은 경우(예: 로터리 베인 펌프가 더 작은 경우) 배출 필터를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 펌프로부터 배출되는 오일 미스트를 잡아줍니다.

일부 펌프에는 오일 미스트를 막을 뿐만 아니라 순환 펌프 오일을 청소하는 교체식 필터 카트리지가 있습니다. 존재하는 수증기의 양이 펌프의 수증기 허용 오차를 초과할 때마다 응축기를 항상 용기와 펌프 사이에 설치해야 합니다(자세한 내용은 응축기 참조).

먼지 제거

먼지 및 모래와 같은 고체 불순물은 펌프 하우징 내부의 피스톤과 표면에 대한 마모를 크게 증가시킵니다. 이러한 불순물이 펌프에 유입될 수 있는 위험이 있는 경우 펌프의 입구 라인에 먼지 분리기 또는 먼지 필터를 설치해야 합니다. 오늘날 대형 케이싱과 여기에 맞는 필터 인서트가 제공되는 기존 필터뿐만 아니라 소형 플랜지의 중심 링 안에 장착된 미세 메시 필터도 사용할 수 있습니다. 필요한 경우 KF 어댑터로 단면을 넓히는 것이 좋습니다.

오일 증기 제거

오일 밀봉 로터리 펌프의 도달 가능한 최종 압력은 펌프 오일의 수증기와 탄화수소의 영향을 크게 받습니다. 2단계 로터리 베인 펌프를 사용함에도 불구하고 펌프 내부에서 진공 챔버로 이러한 분자가 소량이나마 역스트리밍하는 것을 막을 수는 없습니다. 예를 들어 탄화수소가 포함되지 않은 고진공 및 초고진공 생산 환경에서 스퍼터 이온 또는 터보 분자 펌프를 사용하면 펌프의 전진공 측에 가능한 오일이 없어야 합니다. 이를 위해 적절한 흡착 물질(예: LINDE 분자체 13X)로 채워진 중진공 흡착 트랩(그림 2.40 참조)이 오일 밀봉 전방 펌프의 입구 라인에 설치됩니다. 흡착 트랩의 작동 방식은 흡착 펌프의 작동 방식과 유사합니다. 자세한 내용은 흡착 펌프를 참조하십시오.

그림 2.40 중진공 흡착 트랩의 단면.

하우징
체가 있는 배스킷
분자체(충진)
밀봉 플랜지
작은 플랜지가 있는 흡기 포트
상부 섹션
가열기 또는 냉매용 용기
작은 플랜지와 펌프 측면 연결부

전방선 흡착 트랩이 연속 작동 시 오일 밀봉 로터리 베인 펌프의 입구 라인에 설치되어 있는 경우 병렬로 이루어진 두 개의 흡착 트랩이 권장되고, 각 트랩은 밸브로 분리됩니다. 경험에 따르면 흡착 물질로 사용되는 제올라이트는 약 10~14일의 기간이 지난 후 흡착 용량의 상당 부분을 잃고, 이후에는 재생된 흡착 트랩을 활용할 수 있습니다. 따라서 이 공정을 중단 없이 계속할 수 있습니다. 이제 펌핑 라인에 연결되지 않은 흡착 트랩을 가열하면 제올라이트 표면에서 배출되는 증기가 보조 펌프로 편리하게 펌핑될 수 있습니다. 작동 시 기체 밸러스트 펌프에 의한 펌핑은 다른 가열되지 않은 흡착 트랩의 제올라이트 영역으로 이어지고 이 트랩의 흡착 용량이 조기에 감소하게 됩니다.