Vacuum operation and maintenance banner component

Pedoman pemeliharaan dan pengoperasian pengukur vakum

Bagikan lewat

Informasi tentang pemasangan sensor / pengukur vakum

Di sini, kondisi eksternal di sekitar sistem vakum dan kondisi pengoperasian di dalamnya (misalnya, tekanan kerja, komposisi kandungan gas) penting. Sensor hanya boleh dipasang secara vertikal dengan flensa vakum di bagian bawah untuk mencegah kondensat, serpihan logam, dan serpihan terkumpul di dalam sensor atau bahkan komponen kecil seperti sekrup kecil dan sejenisnya agar tidak jatuh ke dalam sensor dan sistem pengukuran. Filamen pijar panas juga dapat bengkok dan berubah bentuk secara tidak benar dan menyebabkan hubung singkat listrik di dalam sistem pengukuran. Inilah alasan di balik aturan umum berikut: Jika mungkin, pasang sensor secara vertikal dan terbuka ke bawah. Sangat penting juga untuk memasang sistem pengukuran, jika memungkinkan, pada titik-titik di sistem vakum yang akan tetap bebas getaran selama pengoperasian.

Suhu luar harus dipertimbangkan dan penting untuk menghindari tungku panas, tungku, atau oven, atau sumber radiasi intens lainnya yang menghasilkan suhu sekitar di atas nilai spesifik yang dapat diterima untuk sistem pengukuran. Suhu sekitar yang berlebihan akan mengakibatkan indikasi tekanan yang salah pada sensor vakum konduktivitas termal.

Kontaminasi pada sistem pengukuran dan pembuangannya

Pengukur yang digunakan untuk pengukuran tekanan dalam teknologi vakum pasti akan berfungsi dalam kondisi "kotor". Hal ini cukup dapat dipahami karena sistem vakum tidak hanya menghasilkan tekanan rendah, tetapi harus menjalankan proses dalam kimia, metalurgi, atau fisika nuklir pada tekanan rendah. Di sini, tergantung pada sifat prosesnya, sejumlah besar gas atau uap akan dipompa baik secara terus-menerus maupun intermiten; gas atau uap tersebut dapat masuk ke dalam sistem pengukuran dan - karena reaksi permukaan atau endapan - dapat menyesatkan pengukuran tekanan secara signifikan. Hal ini berlaku untuk semua jenis pengukur vakum, di mana sistem pengukuran yang sangat sensitif dan akurat sangat sensitif terhadap kontaminasi. Sistem pengukuran dapat dilindungi dari kontaminasi dengan menyediakan pelindung yang sesuai. Namun, hal ini sering kali menyebabkan tekanan yang tercatat oleh sistem pengukuran - yang benar-benar bersih - sangat menyimpang dari tekanan yang sebenarnya ada di dalam sistem.

Pada dasarnya tidak mungkin untuk menjaga sistem pengukuran dalam pengukur vakum bebas dari kontaminasi. Oleh karena itu, perlu dipastikan bahwa:

pengaruh kontaminasi pada pengukuran tekanan tetap sekecil mungkin
sistem pengukuran dapat dibersihkan dengan mudah.

Kedua kondisi ini tidak mudah dipenuhi oleh sebagian besar pengukur vakum dalam praktiknya. . Sensor THERMOVAC yang kotor akan menunjukkan tekanan yang terlalu tinggi dalam kisaran pengukuran yang lebih rendah karena permukaan kawat panas telah berubah. Pada pengukur vakum Penning, kontaminasi akan menyebabkan pembacaan tekanan yang jauh terlalu rendah karena arus pelepasan akan menjadi lebih kecil. Dalam kasus pengukur vakum ionisasi dengan katoda panas, elektroda dan dinding tabung dapat terkontaminasi yang, dalam kondisi tertentu, akan mengakibatkan pengurangan kekuatan dielektrik. Namun, di sini, sistem pengukuran biasanya dapat dipanggang dan dibersihkan gasnya dengan melewati arus atau dengan pemboman elektron, selain dari fakta bahwa pengukur vakum ionisasi sering digunakan dalam kisaran vakum ultratinggi di mana diperlukan untuk memastikan kondisi pengoperasian yang bersih karena alasan lain.

Pengaruh medan magnetik dan listrik

Dalam semua instrumen pengukuran yang menggunakan ionisasi molekul gas sebagai prinsip pengukuran ( pengukur vakum ionisasi katoda dingin dan katoda panas), medan kebocoran magnetik yang kuat atau potensi listrik dapat berpengaruh besar pada indikasi tekanan. Pada tekanan rendah, potensi dinding yang menyimpang dari potensi katoda juga dapat memengaruhi arus perangkap ion.

Dalam sistem pengukuran vakum yang digunakan dalam vakum tinggi dan ultratinggi, penting untuk memastikan bahwa nilai insulasi tinggi yang diperlukan untuk elektroda tegangan tinggi dan perangkap ion juga dipertahankan selama pengoperasian dan terkadang bahkan selama prosedur bake-out. Kerusakan insulasi dapat terjadi baik di saluran pasokan eksternal maupun di dalam sistem pengukuran itu sendiri. Insulasi yang tidak mencukupi pada kabel perangkap (detektor) dapat menyebabkan arus creep - pada tekanan rendah - untuk merangsang pembacaan nilai tekanan yang terlalu tinggi. Arus perangkap ion yang sangat rendah membuat kabel ini perlu diisolasi dengan sangat baik. Di dalam sensor pengukuran juga, arus creep dapat terjadi jika perangkap tidak dilindungi secara efektif terhadap elektrode lain.

Kesalahan yang sering terjadi saat menghubungkan sensor pengukuran ke sistem vakum adalah penggunaan pipa konektor yang sangat panjang dan sempit. Nilai konduktansi harus dipertahankan sebesar mungkin. Solusi yang paling menguntungkan adalah menggunakan sistem pengukuran terintegrasi. Saat menggunakan pipa konektor dengan nilai konduktansi yang lebih rendah, indikasi tekanan mungkin terlalu tinggi atau terlalu rendah. Di sini, kesalahan pengukuran lebih dari satu dekade bisa terjadi! Di mana sistem dapat dipanggang, diperlukan untuk memastikan bahwa pipa konektor juga dapat dipanaskan.

Sensor pasif dan sistem pengukuran

Kabel pengukuran (kabel konektor antara sensor dan unit kontrol pengukur vakum) biasanya panjangnya 2 m. Jika kabel pengukuran yang lebih panjang harus digunakan - untuk pemasangan di panel kontrol, misalnya - maka perlu untuk memeriksa situasi untuk pengaruh pada pembacaan tekanan. Informasi tentang opsi penggunaan kabel yang lebih panjang dapat diperoleh dari departemen konsultasi teknis kami.

Blog & Wiki Vacuum operation and maintenance Vacuum Fundamentals