TWISTER-Substratstufe
Forschung und Entwicklung leicht gemacht
Die vollständig im Unternehmen hergestellte TWISTER™-Substratstufe ist der nächste Schritt bei der Integration von innovativer, robuster und zuverlässiger Technologie in Ihrem UNIVEX-System oder in jeder anderen Beschichtungskammer, die Sie möglicherweise betreiben.
Maßgeschneiderte Lösungen für spezielle Anwendungen
Um einen erfolgreichen und reproduzierbaren Beschichtungsprozess zu gewährleisten, haben wir eine drehbare, heizbare Substratstufe entwickelt, die eine sehr gute Homogenität und Beschichtungsqualität ermöglicht.
Um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden, bieten wir unser modulares System in drei Hauptvarianten an:
- Einfach
- Advanced (Erweitert)
- Full Featured (Volle Ausstattung)
576 mögliche Varianten können abgeleitet werden!
Modulares System
Die TWISTER™-Substratstufe ist modular aufgebaut und lässt sich deshalb einfach aufrüsten. Dazu sind lediglich zusätzliche pneumatische Klemmen erforderlich, falls eine Schleusenkammer hinzugefügt wird. Wenn eine Kühlung erforderlich ist, kann einfach die Heizplatte gegen eine kombinierte Heiz- und Kühlplatte ausgetauscht werden.
Genaue Handhabung für präzise Ergebnisse
- Gleichmäßige und homogene Dünnschichten durch präzises Drehen des Substrats
- Optionales Verschieben auf der Z-Achse zum Verändern des Abstands des Substrats zu den Beschichtungsquellen und für Übergaben durch Schleusenkammern
- Flexible Wahl von Substratplatten mit Durchmessern von bis zu 6 Zoll
- Bessere Schichtqualität durch Erhitzen auf 400 °C
- Optionale Wasserkühlung:
- Schützt empfindliche Substrate wie Folien und OLED-Materialien
- Schnellere Abkühlzeit und Weiterverarbeitung
- Leicht austauschbares Beschichtungsschild zur Reinigung
- Integrierte Positionskontrolle
- Mögliche Aufrüstung der meisten bestehenden Laborbeschichtungsgeräte