5 สิ่งที่คุณต้องรู้เกี่ยวกับการทํางานภายใต้แรงดันไฟฟ้าสูงและแรงดันไฟฟ้าสูงพิเศษ 17 สิงหาคม 2020
4 MIN READ
เมื่อทํางานกับระบบสุญญากาศสูง (HV) และระบบสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) มีแง่มุมเฉพาะที่ต้องพิจารณา เพื่อให้แน่ใจว่าจะยังคงมีประสิทธิภาพและปลอดภัย
สภาวะสุญญากาศสูง (HV) และสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) คืออะไร
- ช่วงแรงดัน HV อยู่ระหว่าง 10 x 10 -3 และ 10 x 10 -7 mbar
- ช่วงแรงดัน UHV อยู่ระหว่าง 10 x 10 -7 และ 10 x 10 -12 mbar
เช่นเดียวกับระบบสุญญากาศทั้งหมด มาตรฐาน กฎระเบียบ และโปรโตคอลที่กําหนดไว้ซึ่งควบคุมปัจจัยและประเด็นด้านสุญญากาศต้องได้รับการตรวจสอบและพัฒนาใหม่บ่อยครั้ง
ผู้ใช้ควรทําสิ่งต่อไปนี้เป็นประจํา:
- ตรวจสอบระดับสุญญากาศ
- ทบทวนการตั้งค่าปั๊ม
- ทําการตรวจสอบความปลอดภัย
- ประเมินวิธีการตรวจวัด
- ผ่านกระบวนการตรวจหารอยรั่ว
แอปพลิเคชั่น
การใช้งาน HV ได้แก่:
- กระบวนการโลหะวิทยา
- นิวเคลียร์ฟิสิกส์
- การจําลองพื้นที่
- เครื่องมือวิเคราะห์
การใช้งาน UHV ได้แก่:
- การวิเคราะห์พื้นผิว
- ฟิสิกส์พลังงานสูง
- เอพิทอกซิสของลําแสงโมเลกุล (MBE)
ปัจจัยที่ต้องพิจารณาเมื่อสร้างสภาวะ HV และ UVH
การพิจารณาประสิทธิภาพ
ผู้ใช้ควรประเมินการออกแบบ วัสดุ และสภาพของระบบสุญญากาศอย่างรอบคอบเพื่อระบุพื้นที่ที่มีปัญหา ประสิทธิภาพของระบบสุญญากาศ HV และ UHV สามารถปรับปรุงได้โดยปฏิบัติตามแนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุดหลายประการดังนี้
- ลดพื้นที่ผิวด้านในของห้องอบให้เหลือน้อยที่สุด
- เชื่อมจากด้านในเท่านั้น
- ใช้อัตราการดูดซับ/การกําจัดก๊าซที่ต่ํา
- ปรับสภาพวัสดุล่วงหน้า เช่น ผ่านการขัดเงาด้วยไฟฟ้า
- ตรวจสอบช่องว่างภายในหรือปริมาตรที่ตกค้าง เช่น รูบอดแบบแกน
- ใช้ซีลโลหะ
- ลดจํานวนซีลและท่อส่ง
การระบายอากาศ
การไล่ก๊าซออกคือกระบวนการปล่อยก๊าซที่ละลาย ดักจับ หรือดูดซับในวัสดุบางชนิด เพื่อสร้างและรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศ HV และ UHV ที่สะอาด ผู้ใช้ต้องเฝ้าระวังการปล่อยก๊าซออกอย่างระมัดระวัง
การระบายก๊าซออกโดยทั่วไปจะเกิดขึ้นเมื่อวัสดุที่มักจะไม่ถือว่าเป็นสารดูดซับ ปล่อยโมเลกุลมากพอที่จะรบกวนกระบวนการสุญญากาศทางอุตสาหกรรมหรือทางวิทยาศาสตร์ แหล่งกําเนิดก๊าซที่พบบ่อยได้แก่:
- ความชื้น
- สารผนึก
- น้ำมันหล่อลื่น
- กาวยึดติด
- โลหะปนเปื้อน
- แก้วแตกร้าว
การทําความสะอาดพื้นผิว การทําให้ส่วนประกอบแต่ละชิ้นร้อนขึ้น หรือการอบแห้งอาจทําให้เกิดการระเหยของสารระเหยได้
การบรรจุก๊าซ
ในสภาวะ HV และ UHV ระดับการไล่ก๊าซและการไล่ก๊าซจะต้องต่ําที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้
การลดพื้นผิวที่มีประสิทธิผลจะช่วยลดผลกระทบของการปล่อยก๊าซออก ยิ่งพื้นที่ผิวสูงเท่าไร การระบายออกของก๊าซก็จะยิ่งมากขึ้นเท่านั้น และแรงดันของระบบก็จะยิ่งสูงขึ้นเท่านั้น
ฉันจะทราบสภาวะการทํางานของฉันได้อย่างไร
เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง (RGA) เป็นเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลแบบสี่ขั้วขนาดเล็ก ซึ่งโดยทั่วไปออกแบบมาสําหรับการวิเคราะห์สภาพแวดล้อม การควบคุมกระบวนการ และการตรวจสอบการปนเปื้อนในระบบสุญญากาศ RGA สามารถตรวจสอบคุณภาพของสุญญากาศโดยการตรวจจับ (และวัดค่า) สิ่งเจือปนแม้เพียงเล็กน้อยในสภาพแวดล้อมก๊าซแรงดันต่ํา
โดยปกติแล้ว RGA จะติดตั้งโดยตรงบนและเข้าไปในห้องสุญญากาศ RGA ทําหน้าที่ต่างๆ ที่ยากที่จะทําได้ด้วยวิธีการอื่น รวมถึงการวิเคราะห์ปฏิกิริยาในสถานะก๊าซต่างๆ การตรวจติดตามการเปลี่ยนแปลงที่เกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมก๊าซใดๆ การตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศ และการตรวจสอบตัวควบคุมการไหลของมวล
ข้อควรพิจารณาในการเลือกปั๊ม
มีปั๊มหลายประเภทที่สามารถผลิตแรงดันสุญญากาศ HV และ UHV และการใช้งานส่วนใหญ่ต้องใช้ปั๊มหลายตัวร่วมกัน อย่างไรก็ตาม การจับคู่ปั๊มสุญญากาศประเภทต่างๆ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการทํางานไม่ใช่เรื่องง่ายเสมอไป
มีปัจจัยหลายประการที่มีผลต่อการเลือกปั๊ม เช่น:
- เสียงรบกวนและการสั่นสะเทือน
- ต้นทุนเริ่มต้นและต้นทุนต่อเนื่อง
- ความทนทานต่อการปนเปื้อน
- ตําแหน่งที่ตั้ง
- การบํารุงรักษาที่จําเป็น
- ความต้านทานแรงกระแทก
เครื่องปั๊ม
ตัวเลือกปั๊มส่วนหน้าประกอบด้วย:
ตัวเลือกปั๊มรองหลักที่รองรับระดับ HV และ UHV ได้แก่:
- ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล
- ปั๊มแพร่กระจาย
- ปั๊มเย็น
- ปั๊มตัวดักจับไอออน
- ปั๊มระเหิดไทเทเนียม
- ปั๊มจ่ายสารชนิดไม่ระเหย
ปั๊มเหล่านี้สร้างสภาวะสุญญากาศโดยการดูด การดักจับ หรือการยึดจับโมเลกุลก๊าซอย่างรวดเร็ว
การทําความเข้าใจประเภทปั๊ม
ปั๊มแต่ละประเภทมีข้อดีและข้อเสียที่ไม่เหมือนใคร ซึ่งเพิ่มความซับซ้อนให้กับกระบวนการเลือก
ตัวอย่างเช่น ข้อดีของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลได้แก่:
- การทํางานแบบไดนามิกที่ง่ายดาย
- การบำรุงรักษาต่ำ
- การทํางานที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน
ข้อด้อย ได้แก่:
- ชิ้นส่วนเคลื่อนที่ที่ทําให้เกิดการสั่นสะเทือน
- ลดความเร็วในการปั๊มสําหรับก๊าซเบา
- ความไวต่อแรงกระแทกเชิงกล
- การปนเปื้อนของอนุภาค
ผู้ซื้อควรผ่านกระบวนการเปรียบเทียบที่คล้ายคลึงกันสําหรับปั๊มแต่ละประเภทเพื่อตัดสินใจอย่างมีข้อมูล
สรุป
เมื่อสร้างสภาวะ HV และ UHV สิ่งสําคัญคือต้องพิจารณาปัจจัยสามประการเหล่านี้ ได้แก่ ประสิทธิภาพ การพิจารณาสภาวะการทํางาน และการเลือกปั๊ม
หากคุณพบว่าการเลือกเป็นเรื่องยาก ลองดูโพสต์บล็อกของเรา ฉันจะทราบได้อย่างไรว่าปั๊มสุญญากาศรุ่นใดเหมาะกับฉัน
ด้วยความช่วยเหลือจากทรัพยากรต่างๆ เช่นนี้ แนวทางที่มุ่งเน้นไปที่องค์ประกอบสําคัญของการพิจารณาสภาพการทํางาน ประสิทธิภาพ และการเลือกปั๊มจะช่วยให้คุณมั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพสูงสุดและสภาวะ HV และ UHV ที่เชื่อถือได้
หากคุณมีคําถาม โปรดติดต่อเรา!
สุญญากาศระดับสูง สูงพิเศษ และสูงมาก: พื้นฐาน
ดาวน์โหลด eBook ของเราเพื่อทําความเข้าใจความท้าทายที่เกี่ยวข้องกับการบรรลุและการทํางานกับสุญญากาศระดับสูง สูงพิเศษ หรือสูงมาก และสิ่งที่ต้องพิจารณา
- ผลิตภัณฑ์ของเรา
- บทความความรู้
- บล็อกที่เกี่ยวข้อง
ผลิตภัณฑ์ของเรา
บล็อกที่เกี่ยวข้อง
