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다양한 유형의 진공 펌프

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진공의 기본 정의

진공 펌프는 특정 부피의 기체 압력을 줄여 기체 밀도를 줄이는 데 사용됩니다(등식 1.5 참조). 결과적으로 부피에서 기체 입자를 제거해야 합니다.

Leybold - Vacuum Fundamentals graphics

(1.5)

펌프 범주의 분류

a) 하나 또는 여러 압축 단계를 통해 기체 입자가 부피에서 제거되고 대기로 펌핑 및 배출되는 진공 펌프(압축 펌프). 기체 입자는 변위 또는 진동 전달을 통해 펌핑됩니다.

b) 제거할 기체 입자가 응축되거나 다른 방법에 의해(예: 화학적으로) 고체 표면에 접착되는 진공 펌프(주로 경계 형성 부피 자체의 일부).

펌프 기술 유형의 소개

최첨단이며 실용적인 분야와 연계된 분류는 다음 펌프 유형 간에 차이를 만듭니다. 이 중 첫 3개 클래스는 압축 펌프에 속하고 나머지 2개 클래스는 응축 펌프와 게터 펌프에 속합니다.

펌프 챔버 용량을 주기적으로 증가 및 감소시켜 작동하는 펌프(로터리 베인 및 로터리 플런저 펌프, 트로코이드 펌프)
펌핑 챔버의 부피를 변경하지 않고 저압 측에서 고압 측으로 기체 양을 운반하는 펌프(루츠 펌프, 터보 분자 펌프)
펌핑 효과가 주로 기체가 없는 고속 증기 제트로 확산되는 것을 기반으로 하는 펌프(증기 펌프)
응축(응축기) 및 매우 낮은 온도에서의 응축으로 영구 기체를 펌핑하는 펌프(극저온 펌프)
실제로 기체가 없는 표면으로의 흡착 또는 흡수를 통해 기체를 결합하는 펌프(흡착 펌프)

이러한 진공 펌프 클래스에 대한 설문 조사가 표 2.1의 다이어그램에 나와 있습니다.

표 2.1 진공 펌프의 분류

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진공 기술 다이어그램에서 펌프 유형 및 펌핑 시스템의 부품을 시각적으로 표현한 기호 용어집

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