다양한 유형의 진공 펌프
진공의 기본 정의
(1.5)
펌프 범주의 분류
a) 하나 또는 여러 압축 단계를 통해 기체 입자가 부피에서 제거되고 대기로 펌핑 및 배출되는 진공 펌프(압축 펌프). 기체 입자는 변위 또는 진동 전달을 통해 펌핑됩니다.
b) 제거할 기체 입자가 응축되거나 다른 방법에 의해(예: 화학적으로) 고체 표면에 접착되는 진공 펌프(주로 경계 형성 부피 자체의 일부).
펌프 기술 유형의 소개
최첨단이며 실용적인 분야와 연계된 분류는 다음 펌프 유형 간에 차이를 만듭니다. 이 중 첫 3개 클래스는 압축 펌프에 속하고 나머지 2개 클래스는 응축 펌프와 게터 펌프에 속합니다.
- 펌프 챔버 용량을 주기적으로 증가 및 감소시켜 작동하는 펌프(로터리 베인 및 로터리 플런저 펌프, 트로코이드 펌프)
- 펌핑 챔버의 부피를 변경하지 않고 저압 측에서 고압 측으로 기체 양을 운반하는 펌프(루츠 펌프, 터보 분자 펌프)
- 펌핑 효과가 주로 기체가 없는 고속 증기 제트로 확산되는 것을 기반으로 하는 펌프(증기 펌프)
- 응축(응축기) 및 매우 낮은 온도에서의 응축으로 영구 기체를 펌핑하는 펌프(극저온 펌프)
- 실제로 기체가 없는 표면으로의 흡착 또는 흡수를 통해 기체를 결합하는 펌프(흡착 펌프)
이러한 진공 펌프 클래스에 대한 설문 조사가 표 2.1의 다이어그램에 나와 있습니다.
표 2.1 진공 펌프의 분류
