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(1.5)
a) 하나 또는 여러 압축 단계를 통해 기체 입자가 부피에서 제거되고 대기로 펌핑 및 배출되는 진공 펌프(압축 펌프). 기체 입자는 변위 또는 진동 전달을 통해 펌핑됩니다.
b) 제거할 기체 입자가 응축되거나 다른 방법에 의해(예: 화학적으로) 고체 표면에 접착되는 진공 펌프(주로 경계 형성 부피 자체의 일부).
최첨단이며 실용적인 분야와 연계된 분류는 다음 펌프 유형 간에 차이를 만듭니다. 이 중 첫 3개 클래스는 압축 펌프에 속하고 나머지 2개 클래스는 응축 펌프와 게터 펌프에 속합니다.