UNIVEX Coating Systems

Kotak sarung tangan UNIVEX G

Pemuatan dan pelapisan substrat peka kelembapan dan oksigen di bawah lingkungan lembam

Sistem kotak sarung tangan standar kami memungkinkan pemuatan dan pelapisan substrat peka kelembapan dan oksigen di bawah lingkungan lembam kotak sarung tangan.

Sistem UNIVEX G dilengkapi pintu geser depan untuk sambungan ke kotak sarung tangan. Pintu geser ini memungkinkan operator mengakses ruang proses dengan mudah melalui kotak sarung tangan. Jika akses langsung diperlukan, UNIVEX G memiliki pintu kedua di bagian belakang.

Aplikasi umum 

  • Metalisasi kontak (penguapan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
  • Biosensor/perangkat medis
  • Elektronik organik: OLED, fotovoltaik organik
  • Dot kuantum / tampilan
  • E-beam dan evaporator organik untuk pembentukan perovskite anorganik-organik

Akses langsung dan mudah ke peralatan proses melalui pintu geser samping depan

Akses servis yang nyaman melalui pintu berengsel belakang

Integrasi komponen proses apa pun

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 adalah solusi yang nyaman dan hemat biaya untuk tugas pelapisan yang tidak memerlukan banyak ruang.

Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan sekitar 220 mm dapat diproses.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Ukuran ruang

Lebar 270 mm Kedalaman 370 mm Tinggi 400 mm

Evaporator termal

hingga 4 bahan

Evaporator organik

hingga 4 bahan

Evaporasi sinar elektron

multi saku atau saku tunggal

Sputtering

naik atau turun, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 menggabungkan desain yang ringkas dengan ruang ruang yang luas.

Untuk banyak tugas pelapisan, UNIVEX G 350 menawarkan kondisi ruang yang optimal dan akses yang nyaman ke komponen proses dan pemrosesan substrat.

Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan sekitar 300 mm dapat diproses.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

ukuran ruang

Lebar: 370 mm Kedalaman: 390 mm Tinggi: 500 mm

evaporator termal

hingga 8 materi

evaporator organik

Hingga 4 bahan

evaporasi sinar elektron

Multi saku dan/atau saku tunggal

sputtering

Atas atau bawah: 3 X 2" pistol, atau 2 X 3" pistol

Co-Deposition

Penguapan dan/atau sputtering

kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX G 450

UNIVEX G 450

Berkat dimensinya, UNIVEX G 450 cocok untuk semua tugas pelapisan yang memerlukan banyak ruang. Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan lebih dari 400 mm dapat diproses. Dengan ketinggian 650 mm, ruang vakum juga cocok untuk aplikasi pengangkatan.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

ukuran ruang

Lebar: 500 mm Kedalaman: 500 mm Tinggi: 650 mm

evaporator termal

Hingga 8 bahan

evaporator organik

Hingga 8 bahan

evaporasi sinar elektron

Multi saku dan/atau saku tunggal

sputtering

Atas atau bawah: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" atau lainnya

Co-Deposition

Penguapan dan/atau sputtering

kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 adalah solusi yang nyaman dan hemat biaya untuk tugas pelapisan yang tidak memerlukan banyak ruang.

Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan sekitar 220 mm dapat diproses.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Ukuran ruang

Lebar 270 mm Kedalaman 370 mm Tinggi 400 mm

Evaporator termal

hingga 4 bahan

Evaporator organik

hingga 4 bahan

Evaporasi sinar elektron

multi saku atau saku tunggal

Sputtering

naik atau turun, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 menggabungkan desain yang ringkas dengan ruang ruang yang luas.

Untuk banyak tugas pelapisan, UNIVEX G 350 menawarkan kondisi ruang yang optimal dan akses yang nyaman ke komponen proses dan pemrosesan substrat.

Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan sekitar 300 mm dapat diproses.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

ukuran ruang

Lebar: 370 mm Kedalaman: 390 mm Tinggi: 500 mm

evaporator termal

hingga 8 materi

evaporator organik

Hingga 4 bahan

evaporasi sinar elektron

Multi saku dan/atau saku tunggal

sputtering

Atas atau bawah: 3 X 2" pistol, atau 2 X 3" pistol

Co-Deposition

Penguapan dan/atau sputtering

kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX G 450

Berkat dimensinya, UNIVEX G 450 cocok untuk semua tugas pelapisan yang memerlukan banyak ruang. Substrat atau dudukan substrat hingga diameter keseluruhan lebih dari 400 mm dapat diproses. Dengan ketinggian 650 mm, ruang vakum juga cocok untuk aplikasi pengangkatan.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

ukuran ruang

Lebar: 500 mm Kedalaman: 500 mm Tinggi: 650 mm

evaporator termal

Hingga 8 bahan

evaporator organik

Hingga 8 bahan

evaporasi sinar elektron

Multi saku dan/atau saku tunggal

sputtering

Atas atau bawah: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" atau lainnya

Co-Deposition

Penguapan dan/atau sputtering

kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

kompatibel dengan ruang bersih

ya

Toko Online
Dokumen
UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB

UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB