UNIVEX C Sistem Pengendapan Kumpulan & Kustom
Untuk aplikasi khusus, kami juga dapat menyediakan sistem cluster atau kustom berdasarkan konsep modular UNIVEX.
- UNIVEX C - CLUSTER
- UNIVEX C - KUSTOM
UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - CLUSTER
Cluster UNIVEX kami dilengkapi sesuai dengan persyaratan pelanggan dan menggabungkan ruang pemrosesan, penguncian muatan, dan transfer terpisah. Secara umum, setiap ruang vakum akan memiliki sistem vakum tinggi sendiri. Load lock chamber dalam kasus paling sederhana dimuat secara manual dengan substrat individu. Selain itu, pemrosesan magazin dari beberapa substrat per batch dapat dilakukan.
Untuk mengangkut substrat di antara masing-masing ruang vakum, lengan robot yang digerakkan motor atau unit penggerak transfer linear umumnya digunakan. Perangkat lunak kontrol UNIVEX disesuaikan berdasarkan persyaratan aplikasi tertentu, dan umumnya akan memungkinkan pengoperasian proses yang sepenuhnya otomatis termasuk pemrosesan resep.
UNIVEX C - KUSTOM
UNIVEX C - KUSTOM
Jika tidak ada jenis sistem UNIVEX yang sesuai dengan kebutuhan Anda, apakah ukuran atau ketinggian ruang yang berbeda diinginkan? Jangan khawatir, hubungi kami.
Kami berharap dapat membuat sistem Anda menjadi mungkin!
UNIVEX C - CLUSTER
Cluster UNIVEX kami dilengkapi sesuai dengan persyaratan pelanggan dan menggabungkan ruang pemrosesan, penguncian muatan, dan transfer terpisah. Secara umum, setiap ruang vakum akan memiliki sistem vakum tinggi sendiri. Load lock chamber dalam kasus paling sederhana dimuat secara manual dengan substrat individu. Selain itu, pemrosesan magazin dari beberapa substrat per batch dapat dilakukan.
Untuk mengangkut substrat di antara masing-masing ruang vakum, lengan robot yang digerakkan motor atau unit penggerak transfer linear umumnya digunakan. Perangkat lunak kontrol UNIVEX disesuaikan berdasarkan persyaratan aplikasi tertentu, dan umumnya akan memungkinkan pengoperasian proses yang sepenuhnya otomatis termasuk pemrosesan resep.
UNIVEX C - KUSTOM
Jika tidak ada jenis sistem UNIVEX yang sesuai dengan kebutuhan Anda, apakah ukuran atau ketinggian ruang yang berbeda diinginkan? Jangan khawatir, hubungi kami.
Kami berharap dapat membuat sistem Anda menjadi mungkin!
Baca bagaimana UNIVEX C 900 mendukung solusi pelapisan yang rumit
- Toko Online
- Dokumen
