UNIVEX box coating systems range - banner

Sistem pelapisan kotak UNIVEX Ditentukan oleh ukuran ruang

Sistem pelapisan kotak ringkas kami memungkinkan akses langsung ke ruang proses.

Desain sistem modular

Ruang vakum serbaguna

Akses mudah ke semua peralatan yang terpasang

Beberapa teknik deposisi dalam ruang yang sama

Kompatibel dengan ruang bersih

UNIVEX 250

UNIVEX 250

Gerbang Anda ke proses pelapisan yang mulus, dirancang khusus untuk universitas, laboratorium, sekolah menengah atas teknis, dan fasilitas R&D industri di seluruh dunia.

UNIVEX 250 menawarkan solusi hemat biaya yang tidak mengorbankan kualitas atau performa, sehingga memastikan Anda mencapai hasil yang akurat dan konsisten. Dengan kontrol intuitif dan pengoperasian yang bebas masalah, produk ini cocok untuk pengguna dari semua tingkatan. 

UNIVEX 250 memenuhi berbagai kebutuhan pelapisan, mulai dari metalisasi kontak hingga pencitraan kontras untuk aplikasi mikroskopi dan film tipis.

Desainnya yang kokoh dan performanya yang andal menjadikannya alat bantu penting untuk lingkungan ilmiah atau industri apa pun, memberikan akses yang nyaman, ekstensibilitas modular, dan kemampuan seluler untuk fleksibilitas terbaik. 

Penggunaan umum:

  • Metalisasi kontak (penguapan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
  • Pencitraan kontras untuk mikroskopi (indium, karbon, dll.)
  • Solar film tipis
  • Tujuan pendidikan di sekolah menengah atas dan universitas

Konfigurasi:

  • Evaporasi Termal
  • Evaporasi Sinar E
  • Sputtering

UNIVEX 250 dari Leybold
  UNIVEX 250
Ukuran ruang lebar: 270 mm, kedalaman: 370 mm, tinggi: 400 mm
Ukuran keseluruhan lebar: 1400 mm, kedalaman: 950 mm, tinggi: 1800 mm
Evaporator termal hingga 4 bahan
Evaporator organik hingga 4 bahan
Evaporasi sinar elektron multi saku atau saku tunggal
Sputtering hingga 2 x 2" sumber
Co-Deposition evaporasi dan/atau sputtering dapat terjadi
Sistem kontrol PLC dengan monitor
Sensor ketebalan film Kristal kuarsa
Tingkat vakum < 1 E-6 mbar
Kompatibel dengan ruang bersih Ya
UNIVEX 400

UNIVEX 400

UNIVEX 400 adalah sistem pelapisan ringkas untuk tugas laboratorium, masing-masing menjalankan produksi pilot. Karena dimensi ruangnya, produk ini ideal untuk pelapisan substrat berukuran kecil hingga sedang. 

Substrat/dudukan substrat hingga diameter keseluruhan maks. 350 mm dapat dilapisi. 

Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan secara manual, semi-otomatis, dan sepenuhnya otomatis. 

 Aplikasi umum

  • Solar film tipis: proses sputtering CdTe, CIGS, CZTS
  • Elektronik organik (PV, OLEDS)
  • Lapisan optik
  • Mikroelektronika

Konfigurasi umum

  • E-beam multi-pocket dengan evaporator termal dan sumber ion.
  • Hingga empat pistol sputter 2" dalam konfigurasi konfokal untuk sputter naik atau turun
  • E-beam dan evaporator organik untuk pembentukan perovskite anorganik-organik
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Ukuran ruang

lebar: 420 mm, kedalaman: 480 mm, tinggi: 550 mm

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi saku atau saku tunggal

Sputtering

naik atau turun, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" atau lainnya

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX 600

UNIVEX 600

UNIVEX 600 adalah sistem pelapisan ringkas untuk laboratorium, masing-masing rangkaian produksi pilot. Karena ukuran ruangnya, produk ini cocok untuk ukuran substrat sedang hingga besar. 

Produktivitas substrat yang dapat dicapai memenuhi persyaratan umum untuk produksi seri kecil. Substrat/dudukan substrat hingga maksimal diameter keseluruhan 550 mm dapat dilapisi. 

Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan manual, semi-otomatis, dan otomatis sepenuhnya. 

Aplikasi umum

  • Lapisan optik
  • Perangkat optoelektronik
  • RAM resistif
  • Superkonduktor suhu tinggi

Konfigurasi umum

  • Pemanas dan/atau pendingin substrat 
  • E-beam multi-pocket dengan evaporator termal dan sumber ion.
  • Konfigurasi substrat palet, kubah, atau planet untuk satu atau beberapa sampel
  • Pistol multi-sputter dalam konfigurasi konfokal atau tatap muka
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Ukuran ruang

Lebar: 600 mm Kedalaman: 600 mm Tinggi: 800 mm atau 550 mm (sputter)

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi-poket dan/atau saku tunggal, operasi multi-pistol

Sputtering

naik atau turun: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" atau lainnya

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX 900

UNIVEX 900

UNIVEX 900 adalah solusi paling canggih untuk ukuran substrat sedang hingga besar, masing-masing untuk hasil substrat yang lebih tinggi. Substrat/dudukan substrat hingga diameter keseluruhan 800 mm dapat dilapisi. Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan manual, semi-otomatis, dan otomatis sepenuhnya.

Aplikasi umum

  • Lapisan optik
  • Perangkat optoelektronik
  • RAM resistif
  • Superkonduktor suhu tinggi

Konfigurasi umum

  • Pemanas dan/atau pendingin substrat 
  • Multi-pocket e-beam dengan sumber ion untuk pre-clean substrat dan deposisi yang dibantu ion
  • Konfigurasi substrat palet, kubah, atau planet untuk satu atau beberapa sampel
  • Pistol multi-sputter dalam konfigurasi konfokal atau tatap muka
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Ukuran ruang

Lebar: 900 mm Kedalaman: 900 mm Tinggi: 1100 mm

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi-poket dan/atau saku tunggal, operasi multi-pistol

Sputtering

opsional

Co-Deposition

ya

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX 250

Gerbang Anda ke proses pelapisan yang mulus, dirancang khusus untuk universitas, laboratorium, sekolah menengah atas teknis, dan fasilitas R&D industri di seluruh dunia.

UNIVEX 250 menawarkan solusi hemat biaya yang tidak mengorbankan kualitas atau performa, sehingga memastikan Anda mencapai hasil yang akurat dan konsisten. Dengan kontrol intuitif dan pengoperasian yang bebas masalah, produk ini cocok untuk pengguna dari semua tingkatan. 

UNIVEX 250 memenuhi berbagai kebutuhan pelapisan, mulai dari metalisasi kontak hingga pencitraan kontras untuk aplikasi mikroskopi dan film tipis.

Desainnya yang kokoh dan performanya yang andal menjadikannya alat bantu penting untuk lingkungan ilmiah atau industri apa pun, memberikan akses yang nyaman, ekstensibilitas modular, dan kemampuan seluler untuk fleksibilitas terbaik. 

Penggunaan umum:

  • Metalisasi kontak (penguapan emas, perak, kromium, nikel, titanium, dll.)
  • Pencitraan kontras untuk mikroskopi (indium, karbon, dll.)
  • Solar film tipis
  • Tujuan pendidikan di sekolah menengah atas dan universitas

Konfigurasi:

  • Evaporasi Termal
  • Evaporasi Sinar E
  • Sputtering

UNIVEX 250 dari Leybold
  UNIVEX 250
Ukuran ruang lebar: 270 mm, kedalaman: 370 mm, tinggi: 400 mm
Ukuran keseluruhan lebar: 1400 mm, kedalaman: 950 mm, tinggi: 1800 mm
Evaporator termal hingga 4 bahan
Evaporator organik hingga 4 bahan
Evaporasi sinar elektron multi saku atau saku tunggal
Sputtering hingga 2 x 2" sumber
Co-Deposition evaporasi dan/atau sputtering dapat terjadi
Sistem kontrol PLC dengan monitor
Sensor ketebalan film Kristal kuarsa
Tingkat vakum < 1 E-6 mbar
Kompatibel dengan ruang bersih Ya

UNIVEX 400

UNIVEX 400 adalah sistem pelapisan ringkas untuk tugas laboratorium, masing-masing menjalankan produksi pilot. Karena dimensi ruangnya, produk ini ideal untuk pelapisan substrat berukuran kecil hingga sedang. 

Substrat/dudukan substrat hingga diameter keseluruhan maks. 350 mm dapat dilapisi. 

Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan secara manual, semi-otomatis, dan sepenuhnya otomatis. 

 Aplikasi umum

  • Solar film tipis: proses sputtering CdTe, CIGS, CZTS
  • Elektronik organik (PV, OLEDS)
  • Lapisan optik
  • Mikroelektronika

Konfigurasi umum

  • E-beam multi-pocket dengan evaporator termal dan sumber ion.
  • Hingga empat pistol sputter 2" dalam konfigurasi konfokal untuk sputter naik atau turun
  • E-beam dan evaporator organik untuk pembentukan perovskite anorganik-organik
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Ukuran ruang

lebar: 420 mm, kedalaman: 480 mm, tinggi: 550 mm

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi saku atau saku tunggal

Sputtering

naik atau turun, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" atau lainnya

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX 600

UNIVEX 600 adalah sistem pelapisan ringkas untuk laboratorium, masing-masing rangkaian produksi pilot. Karena ukuran ruangnya, produk ini cocok untuk ukuran substrat sedang hingga besar. 

Produktivitas substrat yang dapat dicapai memenuhi persyaratan umum untuk produksi seri kecil. Substrat/dudukan substrat hingga maksimal diameter keseluruhan 550 mm dapat dilapisi. 

Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan manual, semi-otomatis, dan otomatis sepenuhnya. 

Aplikasi umum

  • Lapisan optik
  • Perangkat optoelektronik
  • RAM resistif
  • Superkonduktor suhu tinggi

Konfigurasi umum

  • Pemanas dan/atau pendingin substrat 
  • E-beam multi-pocket dengan evaporator termal dan sumber ion.
  • Konfigurasi substrat palet, kubah, atau planet untuk satu atau beberapa sampel
  • Pistol multi-sputter dalam konfigurasi konfokal atau tatap muka
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Ukuran ruang

Lebar: 600 mm Kedalaman: 600 mm Tinggi: 800 mm atau 550 mm (sputter)

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi-poket dan/atau saku tunggal, operasi multi-pistol

Sputtering

naik atau turun: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" atau lainnya

Co-Deposition

evaporasi dan/atau sputtering

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

UNIVEX 900

UNIVEX 900 adalah solusi paling canggih untuk ukuran substrat sedang hingga besar, masing-masing untuk hasil substrat yang lebih tinggi. Substrat/dudukan substrat hingga diameter keseluruhan 800 mm dapat dilapisi. Pengontrol sistem memungkinkan Anda menjalankan proses pelapisan manual, semi-otomatis, dan otomatis sepenuhnya.

Aplikasi umum

  • Lapisan optik
  • Perangkat optoelektronik
  • RAM resistif
  • Superkonduktor suhu tinggi

Konfigurasi umum

  • Pemanas dan/atau pendingin substrat 
  • Multi-pocket e-beam dengan sumber ion untuk pre-clean substrat dan deposisi yang dibantu ion
  • Konfigurasi substrat palet, kubah, atau planet untuk satu atau beberapa sampel
  • Pistol multi-sputter dalam konfigurasi konfokal atau tatap muka
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Ukuran ruang

Lebar: 900 mm Kedalaman: 900 mm Tinggi: 1100 mm

Evaporator termal

hingga 8 materi

Evaporator organik

hingga 8 materi

Evaporasi sinar elektron

multi-poket dan/atau saku tunggal, operasi multi-pistol

Sputtering

opsional

Co-Deposition

ya

Kompatibel dengan kunci beban

opsional

Deposisi dengan bantuan ion

opsional

Ruang suhu air

ya

Tingkat vakum

tengah 10 -7 mbar

Versi UHV

opsional

Kompatibel dengan ruang bersih

ya

Toko Online
Dokumen
UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

UNIVEX 250

PDF    3.7 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB

UNIVEX - Experimental systems for thin film coating

PDF    10.8 MB

UNIVEX 250

PDF    3.7 MB

Systmens + Solutions

PDF    9 MB