Fakta ilmu vakum: penemuan dan pahlawannya Mari kita ketahui lebih lanjut tentang dasar-dasar teknologi vakum
Pahlawan vakum
Fernand Holweck - Pahlawan Vakum
Ilmuwan legendaris Perancis Fernand Holweck lahir pada tahun 1890 dan memiliki dampak signifikan pada berbagai aktivitas yang menakjubkan yang masih sangat relevan saat ini. Dia belajar di Ecole de Physique et Chimie dan lulus pada tahun 1910 setelah menjadi salah satu luminaris seperti Pierre Curie dan Paul Langevin.
Pada tahun 1912, ia menjadi asisten Marie Curie dan memainkan peran penting dalam pengembangan Curie Institute. Dia adalah seorang eksperimentalis par excellence dan dikreditkan dengan berkontribusi lebih dari orang lain terhadap sistematisasi teknik radioaktif, yang diciptakan di Laboratorium Curie dan kemudian menyebar ke seluruh dunia.
Selama Perang Dunia Pertama, ia bekerja sama dengan Louis de Broglie untuk mengembangkan teknik ultrasonografi untuk mendeteksi kapal selam. Pada tahun 1922, dia menerima Doktoratnya untuk studinya tentang sinar-x lunak, menjembatani kesenjangan pemahaman antara wilayah ultraviolet jauh dan sinar-x: sebuah studi klasik tentang spektrum sinar-x dari elemen dengan nomor atom rendah. Di antara kontribusi lainnya, Holweck mengembangkan pendulum gravimetrik (untuk survei), tabung radio berdaya tinggi yang dapat dilepas, bekerja pada katup termionik, dan membangun kaskade tabung X-ray akselerasi pertama yang berturut-turut. Dia juga yang pertama mengembangkan fokus elektron dan elektron optik; dalam hal ini dia adalah yang terdepan dalam pengembangan televisi.
Dalam aktivitas terakhir ini, penggunaan teknik vakum dan minatnya untuk meningkatkannya diperluas. Untuk tujuan ini, ia merancang dan membangun pompa vakum molekuler Holweck pada tahun 1920 yang mencapai tingkat vakum 10-6 mbar, yang berkontribusi secara signifikan terhadap penelitian dan industri yang bergantung pada vakum. Pada pompa molekul Holweck, tindakan pemompaan dihasilkan oleh rotor biasanya dalam bentuk silinder halus. Stator dilengkapi dengan alur pemandu spiral. Desain konstruksi juga dapat dibalik, dengan stator halus dan rotor memiliki alur pemandu. Prinsipnya adalah salah satu eksploitasi hambatan molekuler. Saat ini masih ada sepenuhnya pompa berbasis Holweck, tetapi prinsip Holweck sekarang digunakan terutama dalam kombinasi dengan pompa turbomolekul bilah di mana tahap Holweck memfasilitasi pembuangan ke tekanan backing yang tinggi dan memberikan gas proses yang tinggi di seluruh proses. Pompa ini memainkan peran penting dan integral dalam teknik vakum yang digunakan dalam produksi mikroelektronika modern.
Holweck terus menggunakan pompa ini untuk penelitiannya tentang sinar-X dan aplikasi radiobiologi di Laboratorium Pasteur. Pada tahun 1929, ia secara independen mengonfirmasi, interpretasi kuantifikasi tindakan biologis radiasi pada mikroorganisme dan kemudian pada bakteri, jamur, dan virus.
Pada tahun 1938-1939, Holweck bergabung dengan sekelompok ilmuwan vakum Prancis dari akademi dan industri untuk membentuk Masyarakat Vakum nasional pertama yang bertujuan untuk mempromosikan ilmu dan teknik vakum melalui pendidikan, yang kemudian menjadi 'masyarakat Prancis untuk insinyur dan Teknisi vakum'.
Selama pendudukan Jerman di Prancis pada tahun 1940, Holweck dan karyanya dipantau dengan saksama. Meskipun keselamatan pribadinya berisiko tinggi, dia menolak meninggalkan Paris dan bergabung dengan perlawanan. Dia ditangkap oleh Gestapo pada Desember 1941 dan meninggal tak lama setelah ditangkap saat disiksa.
Pada tahun 1945, Masyarakat Fisika Prancis dan Inggris, sebagai peringatan bagi Fernand Holweck, memulai medali Holweck. Penghargaan ini diberikan secara bergantian oleh Council of Institute of Physics kepada fisikawan Prancis dan oleh Council of the French Society kepada fisikawan yang berbasis di Inggris atau Irlandia. Pemilihan dilakukan dari daftar tiga nominee yang diajukan oleh Dewan lainnya.
Warisan Holweck tentang vakum dan sains secara umum tidak dapat dipertanyakan, tetapi mungkin yang terbaik adalah meninggalkan kata-kata terakhir kepada salah satu obituarisnya yang menulis pada tahun 1942 di Science (Vol. 96 No. 2493 p33) 'Dia telah membayar dengan hidupnya untuk kecintaannya terhadap kebebasan dan negerinya. Contohnya akan menginspirasi semua ilmuwan di dunia dalam perjuangan mereka demi kebebasan dan demokrasi.
Martin Knudsen - Seorang Pahlawan Vakum
Martin Knudsen memberikan kontribusi luar biasa terhadap ilmu vakum dan terutama dalam memahami aliran di berbagai bagian spektrum vakum. Dia lahir di wilayah Fyn Denmark pada tahun 1871 dan pada tahun 1896, setelah 6 tahun belajar, mendapatkan gelar Master di bidang sains dengan jurusan fisika (disiplin yang relatif baru). Ini adalah di Universitas Kopenhagen di mana dia bekerja sebagai asisten untuk Christiansen yang kemudian akan membimbing Neils Bohr.
Knudsen sangat tertarik dengan teori kintec gas dan menjadi yang pertama menerapkannya pada gas langka agar menjadi 'bapak' ilmu vakum modern. Keahlian eksperimennya yang luar biasa memungkinkan verifikasi prediksi dari distribusi Maxwell-Boltzmann aliran gas melalui apertur. Dari sini berasal konsep sel Knusden yang merupakan elemen dasar untuk epitaksis balok molekuler.
Analisisnya terhadap efek termal pada permukaan menyebabkannya mengembangkan pengukur Knusden dan memperkenalkan koefisien akomodasi termal. Dia kemudian melihat pengukur viskositas dengan menganalisis pergerakan molekul gas di antara pelat yang bergerak.
Knudsen mungkin paling dikenal dan diingat karena memberikan namanya pada nomor Knudsen Kn = λ/d di mana λ adalah jalur bebas rata-rata molekul gas dalam sistem dan d adalah dimensi karakteristik (biasanya diameter pipa atau ruang atau panjang penampang).
Rejimen aliran kontinu atau kental ii di mana Kn < 0,01 dan molekul-molekul mendominasi perilaku gas yang berperilaku sebagai cairan. Dalam aliran molekuler atau Knudsen di mana Kn > 1 (atau untuk beberapa penulis >0,5 atau > 3) mendominasi tabrakan molekul-permukaan dan interaksi molekul gas dengan misalnya dinding ruang sangat penting untuk memahami rezim aliran ini. Skema aliran transisi adalah di mana 1 > Kn > 0,01 ini adalah skema yang sangat sulit dianalisis.
Untuk kotak panjang l, jumlah tabrakan molekul-permukaan/molekul-molekul adalah 3 λ/l. Oleh karena itu, kisaran 1 < Kn < 10 dikenal sebagai lintasan molekul 'hampir bebas' di bawah tabung. Penerapan fakta ini sangat penting dalam penghitungan probabilitas transmisi molekuler.
Analisis Knudsen tentang perilaku molekul pada permukaan juga sangat penting. Molekul yang membentur permukaan mengakomodasi permukaan dan setelah waktu residensi (yang dapat bervariasi dalam kisaran besar). Setelah meninggalkan permukaan (proses yang dikenal sebagai desorpsi), molekul tidak memiliki memori arah yang diambilnya (atau kecepatannya) untuk bergerak ke permukaan. Karena tabrakan molekul-dinding mendominasi dalam aliran molekul, tindakan ini pada antarmuka molekul-dinding menentukan perilaku aliran molekul.
Situasi ini dijelaskan oleh Hukum Cosinus Knudsen yang menyatakan bahwa probabilitas relatif W molekul meninggalkan permukaan ke sudut padat dω membentuk sudut θ; dengan normal ke permukaan berbanding lurus dengan cos? i.e. W = (d?/p)cos? atau fluks per satuan sudut padat adalah di mana J(0) adalah fluks (per satuan sudut padat) normal ke permukaan (θ = 0) yang merupakan arah yang paling mungkin. Rata-rata, molekul berangkat pada sudut normal ke permukaan.
Distribusi kosinus Knudsen Diagram kutub mewakili lokus fluks (densitas nomor) molekul yang dipancarkan dari elemen permukaan datar (rata-rata). Magnitudo setiap vektor berbanding lurus dengan kosinus θ.
Menariknya, pemahaman ini jika sifat spesifik desorpsi gas memperbaiki proposisi kesalahan Wolfgang Gaede.
Knudsen juga sangat tertarik pada hidrografi dan mengembangkan metode untuk menentukan sifat air laut (dia adalah editor Tabel Hidrologi pada tahun 1901), namun kontribusi hebatnya terhadap ilmu vakum menjadikannya Pahlawan Vakum sejati.
Referensi:
- Sebuah makalah klasik awal berasal dari tahun 1910 (dengan Willard Fisher): The Molecular and Frictional Flow of Gases in Tubes:Physical Review (Series I, Volume 31, p586 (1910).
- Ide-idenya tentang Teori Kinetik dirangkum dalam bukunya, The Kinetic Theory of Gases (London, 1934).
- Artikel Walter Steckelmacher: Knudsen flow 75 years on (Reports on Progress in Physics ,Volume 49, p1083 -1986) adalah ringkasan yang sangat baik.
Mahne Siegbahn - Pahlawan Vakum
MKarl Manne Georg Siegbahn adalah seorang fisikawan Swedia yang memenangkan Hadiah Nobel Fisika pada tahun 1924 "untuk penemuan dan penelitiannya di bidang spektroskopi sinar-X." Anaknya yang luar biasa (Kai Manne Börje), pada tahun 1981 juga memenangkan Hadiah Nobel Fisika "untuk kontribusinya terhadap pengembangan spektroskopi elektron resolusi tinggi".
Karya Siegbahn senior yang sangat awal berfokus pada masalah listrik dan magnetisme. Dia bekerja di Universitas Lund bersama Rydberg dan kematiannya menjadi Profesor pada tahun 1920. Siegbahn pindah pada tahun 1923 ke kursi Fisika di Universitas Uppsala dan kemudian (1937) menjadi Profesor Penelitian Fisika Eksperimental di Royal Swedish Academy of Sciences. Pada tahun yang sama, ia menjadi Direktur pertama dari Departemen Fisika yang baru dibentuk di Institut Nobel Akademi.
Sejak tahun 1912, Seigbahn memfokuskan studinya pada spektroskopi sinar-X. Dia mengembangkan teknik dan praktik baru (misalnya tabung dan kisi-kisi sinar-X) yang memungkinkan peningkatan intensitas radiasi dan peningkatan akurasi pengukuran. Pada tahun 1916, ia menemukan kelompok garis spektral ke-3 (seri M). Pekerjaan Seigbahn selanjutnya di Institute adalah mengawasi pengembangan siklotron untuk penelitian fisika nuklir.
Siegbahn menggunakan vakum untuk eksperimennya dan pencariannya untuk tingkat vakum yang lebih tinggi mengarah pada pengembangan Siegbahn Pump. Ini adalah mekanisme tipe drag yang berbeda dari pompa Gadae dan Holweck karena cakram berputar di dalam rumah dengan alur spiral. Paten dicari beberapa tahun setelah pompa pertama kali dibangun pada tahun 1926. Tidak diketahui apakah Siegbahn mengetahui paten pada pompa drag Holweck Dari tahun 1926-1940 unit dibangun di bengkel mesin universitas dan Leybold memegang lisensi untuk produksi hingga tahun 1931.
Pompa pertama relatif kecil, berdiameter 220 mm, dengan tekanan 1e-5 mbar dan tekanan awal 0,1 mbar. Kecepatan pemompaannya hanya 2 l/s. Setelah pengembangan lebih lanjut, pompa dengan kecepatan 30 l/s diproduksi pada tahun 1943. Siegbahn kemudian menjelaskan mekanisme hibrida Seigbhan-Gaede dengan kecepatan 48 l/s.
Pompa besar (diameter cakram 540mm) dibangun untuk siklotron di Institut Nobel yang memiliki 3 alur spiral (paralel) dan kecepatan pemompaan 73 l/dtk.
Secara umum, mekanisme Holweck lebih banyak digunakan dalam pompa drag atau tahap drag pompa turbomolekuler. Karena pompa Siegbahn adalah serangkaian cakram dan bukan silinder, pompa ini lebih ringkas. Dalam kasus ini, walaupun mekanisme Holweck lebih efisien, Siegbahn memiliki lebih banyak tahap dan ini memberikan peningkatan kinerja.
Referensi: http://nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1924/siegbahn-bio.html
Wolfgang Gaede - Seorang Pahlawan Vakum
Lahir pada tahun 1878, di pelabuhan Bremerhaven, Jerman, Wolfgang Gaede memberikan kontribusi unik terhadap aplikasi teoretis dan praktis teknologi vakum selama era industrialisasi yang dipercepat yang terjadi di akhir abad ke-19 dan pertama abad ke-20.
Wolfgang Gaede lulus dari Universitas Freiburg di bidang fisika pada tahun 1901, setelah sebelumnya belajar kedokteran. Dia mengembangkan pompa vakum pertamanya sebagai tanggapan terhadap kebutuhan studi asistennya ketika hanya pompa Sprengel yang tersedia. Pompa merkuri putarnya (vakuum tinggi) dipatenkan pada tahun 1905, setahun setelah dia didekati oleh Alfred Schmidt dari Leybold untuk memproduksi pompa tersebut. Leybold kalah dari Pfeiffer yang memiliki lisensi untuk memproduksi pompa Geryk, tetapi mekanisme Gaede sesuai dengan kesenjangan dalam lini bisnis vakum Leybold dan merupakan awal dari kemitraan yang panjang (dan tidak sedikit pun menguntungkan). Memang, royaltinya sebagian mendanai laboratorium swastanya, di mana dengan dana tambahan dari Leybold, ia mengembangkan produk secara eksklusif untuk diproduksi dan dipasarkan oleh Leybold. Bukti menunjukkan bahwa Gaede tidak pernah mengembangkan pompa berdasarkan permintaan Leybold dan memuliakan diri sendiri. Pada tahun 1915, Gaede menemukan pompa difusi uap merkuri vakum tinggi yang memungkinkan tekanan vakum tinggi yang belum pernah ada sebelumnya.
Gaede memiliki berbagai kepentingan di luar vakum dengan paten termasuk nirkabel dan lemari es dan menerima jabatan profesor penuh pada tahun 1919 di Institute of Technology, Karlsruhe. Dia adalah rekan yang diakui dari para ilmuwan vakum luminaris seusianya. Namun, dia memiliki keyakinan yang salah tentang sifat desorpsi (bertentangan dengan hukum kosinusoidal Knuden), tetapi meskipun demikian, dia mengakui potensi seret molekuler (gesekan) untuk mengembangkan pompa molekul Gaede (19). Proses seret adalah prinsip mekanisme pemompaan seret molekuler dalam teknologi kontemporer. Pada tahun 1930-an, Gaede mengembangkan lebih lanjut pompa rotary vane berkapasitas besar dan prinsip gas ballast; aplikasi elegan dari teori termodinamika dan kinetik. Gas ballast adalah aliran gas yang terkendali ke dalam ruang rotary sebelum kompresi maksimum tercapai. Hal ini memungkinkan pembuangan uap tanpa kondensasi sehingga memungkinkan pemompaan uap tanpa konsekuensi macet dan efek merusak pada pompa akibat kondensasi.
Pada tahun 1934, Gaede menjadi korban 'perburuan penyihir' universitas Gestapo oleh pemerintah Nazi dan dipaksa pensiun dini dari jabatannya. Kemudian dia pindah ke laboratorium di Munich. Leybold membayar biaya dan kompensasinya karena Gaede terus memegang lisensi tetapi tanpa menerima royalti apa pun. Pengeboman Sekutu menghancurkan gedung laboratoriumnya pada tahun 1944 dan Gaede meninggal pada tahun 1945.
Referensi:
- H. Henning Vacuum dalam Penelitian dan Praktik Volume 13, Edisi 3 , Halaman 180 - 186 (2001)
- Sains dan Teknologi Vakum: Pionir Abad ke-20 P. A. Redhead Springer (1994) halaman 43 ISBN 1563962489
Marcello Stefano Pirani - Seorang Pahlawan Vakum
Lahir dari keturunan Italia di Berlin pada tahun 1880, Marcello Pirani ditakdirkan untuk memberikan masukan besar ke dalam teknologi vakum pada usia yang sangat dini. Dia menyelesaikan studinya di bidang Matematika dan Fisika dan kemudian melakukan penelitian pascasarjana pada tahun 1904, kemudian bergabung dengan pabrik lampu pijar Siemens & Halske (Gluhampenwerk). Dia terutama peduli dengan sumber cahaya tetapi juga pembuatan lampu tantalum, yang memerlukan vakum yang lebih tinggi daripada lampu filamen karbon.
Masalah khusus adalah penggunaan pengukur kaca McLeod untuk pengukuran vakum. Mereka menghadirkan masalah karena dioperasikan secara manual dan sangat sensitif terhadap kerusakan; tumpahan merkuri beracun saat melakukannya. Pirani mempertimbangkan masalah ini dan sebagai hasilnya pada tahun 1906 ia menerbitkan makalahnya berjudul 'Directly Indicating Vacuum Gauge' yang menjadi dikenal sebagai 'Pirani gauge': pengukur pembacaan otomatis pertama.
Pengukur Pirani dirancang untuk mengukur tekanan rendah dengan memanfaatkan variasi kehilangan panas dari kawat dengan tekanan di sekitarnya. Filamen logam yang dipanaskan (biasanya platinum pada pengukur modern) kehilangan panas ke gas akibat tabrakan molekul gas dengan kawat. Kehilangan panas tergantung pada jumlah tabrakan yang terjadi dengan kawat dan oleh karena itu tekanan/kepadatan gas. Saat tingkat vakum meningkat, jumlah molekul yang ada akan menurun secara proporsional. Ini memiliki efek pendinginan yang berkurang untuk kawat.
Resistansi listrik kabel bervariasi dengan suhunya. Pengukur Pirani beroperasi dalam salah satu dari tiga mode: tegangan konstan, arus konstan, atau resistansi konstan (yaitu, suhu). Sirkuit jembatan Wheatstone biasanya digunakan di mana filamen pengukur Pirani adalah satu lengan dari jembatan empat lengan. Bacaan pengukur harus dikoreksi atau dikalibrasi untuk gas yang berbeda (yang memiliki konduktivitas termal berbeda). Dibandingkan dengan pengukur McLeod, pengukur Pirani memiliki keunggulan otomatis. Pengukur harian modern dapat mengukur dari 100/10 hingga 10-4 mbar dengan ekstensi ke tekanan yang lebih tinggi dengan mengeksploitasi ketergantungan tekanan terhadap kehilangan konveksi.
Pirani bekerja lebih lanjut pada pengukuran optik suhu tinggi dan kemudian bergabung dengan Osram pada tahun 1919 sebagai kepala biro ilmiah-teknis. Di sana, ia meneliti berbagai topik mulai dari penyerapan gas dengan tantalum hingga transisi dari lampu pijar ke lampu pelepasan gas. Selama waktunya di industri, ia memegang beberapa posisi di Universitas Teknis dan Universitas Teknis, keduanya di Berlin.
Dari tahun 1936, Pirani bekerja di Inggris pada berbagai aktivitas, mulai dari bahan tahan suhu tinggi hingga pemanfaatan debu batu bara halus. Dia kembali ke Jerman pada tahun 1953 untuk berkonsultasi dengan Osram sebelum meninggal pada usia 88 tahun di kota kelahirannya.
Pieter Clausing - Seorang Pahlawan Vakum
Lahir pada tahun 1898 di Belanda, Pieter Clausing beruntung bisa diajar di Universitas Amsterdam dan Leiden oleh luminaris terkenal seperti Onnes, Lorentz, dan Ehrenfest.
Setelah bergabung dengan Laboratorium Penelitian Philips pada tahun 1923, ia pertama kali bekerja pada teori gas langka dan waktu residensi (molekul di permukaan), yang akan menjadi subjek tesis PhDnya pada tahun 1928. Clausing mengejar berbagai kegiatan termasuk penyelidikan bahan untuk tabung dan lampu elektron, produksi perangkat vakum tinggi, dan minat pribadi yang kuat pada studi formal dalam teologi; di mana ia akan menerbitkan beberapa buku.
Beberapa bidang karya Clausing yang paling penting (pada periode 1926-1933) terkait dengan fisika vakum berfokus pada beberapa bidang:
- pada dukungan untuk pantulan difus molekul dari permukaan
- pengembangan rumus untuk aliran dalam tabung dengan panjang berapa pun dalam aliran molekuler dan tabulasi terkait faktor Clausing (atau probabilitas perpindahan)
- makalah utama 'Hukum kosinus sebagai konsekuensi dari hukum utama kedua termodinamika' dan 'Aliran gas yang sangat langka melalui tabung dengan panjang arbitrer'
- identifikasi efek 'beaming' (atau pola 'jet') yang terkait dengan profil molekul yang keluar dari tabung dan apertur 'panjang'. Hal ini menunjukkan penyimpangan yang sangat signifikan dari hukum kosinus untuk aliran keluar tabung dan apertur 'panjang'; dengan demikian, hukum kosinus hanya berlaku untuk desorpsi dari permukaan dan aliran melalui apertur yang sangat tipis.
Clausing bekerja (dalam bidang bahan dan vakum) menerbitkan banyak makalah dan paten di Laboratorium Penelitian Philips hingga pensiun pada tahun 1961. Pada tahap ini, Philips sepenuhnya ditetapkan sebagai pusat terkemuka di dunia untuk penelitian vakum dan pekerjaan Clausing diterapkan di sana hingga saat ini.
Artikel ini didasarkan pada profil Pieter Clausing dalam Ilmu dan Teknologi Vakum: pelopor abad ke-20 halaman 28. Diedit oleh P A Redhead, American Vacuum Society (1994)
Mahne Siegbahn - Pahlawan Vakum
Karl Manne Georg Siegbahn adalah seorang fisikawan Swedia yang memenangkan Hadiah Nobel Fisika pada tahun 1924 "untuk penemuan dan penelitiannya di bidang spektroskopi sinar-X." Anaknya yang luar biasa (Kai Manne Börje), pada tahun 1981 juga memenangkan Hadiah Nobel Fisika "untuk kontribusinya terhadap pengembangan spektroskopi elektron resolusi tinggi".
Karya Siegbahn senior yang sangat awal berfokus pada masalah listrik dan magnetisme. Dia bekerja di Universitas Lund bersama Rydberg dan kematiannya menjadi Profesor pada tahun 1920. Siegbahn pindah pada tahun 1923 ke kursi Fisika di Universitas Uppsala dan kemudian (1937) menjadi Profesor Penelitian Fisika Eksperimental di Royal Swedish Academy of Sciences. Pada tahun yang sama, ia menjadi Direktur pertama dari Departemen Fisika yang baru dibentuk di Institut Nobel Akademi.
Sejak tahun 1912, Seigbahn memfokuskan studinya pada spektroskopi sinar-X. Dia mengembangkan teknik dan praktik baru (misalnya tabung dan kisi-kisi sinar-X) yang memungkinkan peningkatan intensitas radiasi dan peningkatan akurasi pengukuran. Pada tahun 1916, ia menemukan kelompok garis spektral ke-3 (seri M). Pekerjaan Seigbahn selanjutnya di Institute adalah mengawasi pengembangan siklotron untuk penelitian fisika nuklir.
Siegbahn menggunakan vakum untuk eksperimennya dan pencariannya untuk tingkat vakum yang lebih tinggi mengarah pada pengembangan Siegbahn Pump. Ini adalah mekanisme tipe drag yang berbeda dari pompa Gadae dan Holweck karena cakram berputar di dalam rumah dengan alur spiral. Paten dicari beberapa tahun setelah pompa pertama kali dibangun pada tahun 1926. Tidak diketahui apakah Siegbahn mengetahui paten pada pompa drag Holweck Dari tahun 1926-1940 unit dibangun di bengkel mesin universitas dan Leybold memegang lisensi untuk produksi hingga tahun 1931.
Pompa pertama relatif kecil, berdiameter 220 mm, dengan tekanan 1e-5 mbar dan tekanan awal 0,1 mbar. Kecepatan pemompaannya hanya 2 l/s. Setelah pengembangan lebih lanjut, pompa dengan kecepatan 30 l/s diproduksi pada tahun 1943. Siegbahn kemudian menjelaskan mekanisme hibrida Seigbhan-Gaede dengan kecepatan 48 l/s.
Pompa besar (diameter cakram 540mm) dibangun untuk siklotron di Institut Nobel yang memiliki 3 alur spiral (paralel) dan kecepatan pemompaan 73 l/dtk.
Secara umum, mekanisme Holweck lebih banyak digunakan dalam pompa drag atau tahap drag pompa turbomolekuler. Karena pompa Siegbahn adalah serangkaian cakram dan bukan silinder, pompa ini lebih ringkas. Dalam kasus ini, walaupun mekanisme Holweck lebih efisien, Siegbahn memiliki lebih banyak tahap dan ini memberikan peningkatan kinerja.
Referensi: http://nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1924/siegbahn-bio.html
