터보 분자 펌프 유지 관리 및 작동 지침
터보 분자 펌프에 대한 일반 작동 정보
터보 분자 펌프는 항상 전진공 펌프와 함께 작동합니다. 배출할 용기의 크기에 따라 터보 분자 펌프 및 전진공 펌프를 동시에 켤 수 있습니다. 전진공 펌프를 사용하여 용기를 약 1mbar까지 펌핑하는 데 필요한 시간이 터보 펌프의 가동 시간보다 더 긴 경우, 터보 분자 펌프를 나중에 켜는 것이 좋습니다. 펌프의 가동 시간을 절약하기 위해 배치(순환) 작동에 맞춰 설정된 시스템에서 터보 분자 펌프를 사용할 때는 바이패스 라인이 권장됩니다. 고진공 밸브를 개방하는 것은 약 10‑1mbar의 압력에서 위험하지 않습니다.
터보 분자 펌프는 입구 포트를 통해 유입되는 물체로부터 보호되어야 하고 와이어 메시 스플린터 보호기와 함께 실행되어야 합니다. 다양한 메쉬 크기에서 다양한 버전을 사용할 수 있습니다. 추가로 작동 중 펌프에 대한 급격한 충격 및 갑작스러운 위치 변화는 피해야 합니다.
로터가 회전하는 동안 펌프를 대기압으로 환기시키는 것은 작동 지침을 엄격히 준수하는 경우에만 가능합니다. 특정 상황에서는 특별한 조건에 따라 터보 분자 펌프를 작동할 수 있습니다. 예를 들어 펌프 모델 및 장착 상황에 따라 자기장에 터보 분자 펌프를 사용할 수 있습니다.
방사성 환경에서 표준 터보 분자 펌프는 특정 투여율에서 위험 없이 사용할 수 있습니다. 높은 투여율이 발생하면 펌프의 특정 물질을 수정하여 더 큰 부하를 견딜 수 있습니다. 이러한 경우 전자 주파수 변환기는 방사성 영역 외부에 설정해야 합니다. 내부에 사용되는 전자 장치는 낮은 방사선 투여율만 견딜 수 있기 때문입니다. 모터 구동 주파수 변환기를 사용하는 것은 더욱 견고한 옵션입니다. Leybold는 사용자에게 이러한 문제를 해결할 수 있는 다양한 솔루션을 제공할 수 있습니다.
터보 분자 펌프 유지 관리
터보 분자 펌프 및 주파수 변환기는 유지 관리가 거의 필요하지 않습니다. 세라믹 베어링은 2년에 한 번씩 교체하는 것이 좋으며 당사의 현장 서비스 팀 또는 교육을 받고 자격을 갖춘 고객이 교체할 수 있습니다.
유지 관리가 필요하지 않은 터보 분자 펌프에는 5축 액티브 자기 베어링 및 구동 계통이 있는 무접점 자기 베어링 기술이 포함되어 있으며, 신뢰성과 효율적인 작동을 결합합니다.
펌프의 터빈 장치를 청소해야 하는 경우에는 현장 서비스 엔지니어 또는 사내(펌프 작업 및 침전물 수준에 따라 다름)에서 작동 지침 또는 서비스 설명서에 설명된 절차를 준수할 수 있습니다.
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