터보 분자 펌프 유지 관리 및 작동 지침
터보 분자 펌프에 대한 일반 작동 정보
터보 분자 펌프는 항상 전진공 펌프와 함께 작동합니다. 배출할 용기의 크기에 따라 터보 분자 펌프 및 전진공 펌프를 동시에 켤 수 있습니다. 전진공 펌프를 사용하여 용기를 약 1mbar까지 펌핑하는 데 필요한 시간이 터보 펌프의 가동 시간보다 더 긴 경우, 터보 분자 펌프를 나중에 켜는 것이 좋습니다. 펌프의 가동 시간을 절약하기 위해 배치(순환) 작동에 맞춰 설정된 시스템에서 터보 분자 펌프를 사용할 때는 바이패스 라인이 권장됩니다. 고진공 밸브를 개방하는 것은 약 10‑1mbar의 압력에서 위험하지 않습니다.
터보 분자 펌프는 입구 포트를 통해 유입되는 물체로부터 보호되어야 하고 와이어 메시 스플린터 보호기와 함께 실행되어야 합니다. 다양한 메쉬 크기에서 다양한 버전을 사용할 수 있습니다. 추가로 작동 중 펌프에 대한 급격한 충격 및 갑작스러운 위치 변화는 피해야 합니다.
로터가 회전하는 동안 펌프를 대기압으로 환기시키는 것은 작동 지침을 엄격히 준수하는 경우에만 가능합니다. 특정 상황에서는 특별한 조건에 따라 터보 분자 펌프를 작동할 수 있습니다. 예를 들어 펌프 모델 및 장착 상황에 따라 자기장에 터보 분자 펌프를 사용할 수 있습니다.
방사성 환경에서 표준 터보 분자 펌프는 특정 투여율에서 위험 없이 사용할 수 있습니다. 높은 투여율이 발생하면 펌프의 특정 물질을 수정하여 더 큰 부하를 견딜 수 있습니다. 이러한 경우 전자 주파수 변환기는 방사성 영역 외부에 설정해야 합니다. 내부에 사용되는 전자 장치는 낮은 방사선 투여율만 견딜 수 있기 때문입니다. 모터 구동 주파수 변환기를 사용하는 것은 더욱 견고한 옵션입니다. Leybold는 사용자에게 이러한 문제를 해결할 수 있는 다양한 솔루션을 제공할 수 있습니다.
터보 분자 펌프 유지 관리
터보 분자 펌프 및 주파수 변환기는 유지 관리가 거의 필요하지 않습니다. 세라믹 베어링은 2년에 한 번씩 교체하는 것이 좋으며 당사의 현장 서비스 팀 또는 교육을 받고 자격을 갖춘 고객이 교체할 수 있습니다.
유지 관리가 필요하지 않은 터보 분자 펌프에는 5축 액티브 자기 베어링 및 구동 계통이 있는 무접점 자기 베어링 기술이 포함되어 있으며, 신뢰성과 효율적인 작동을 결합합니다.
펌프의 터빈 장치를 청소해야 하는 경우에는 현장 서비스 엔지니어 또는 사내(펌프 작업 및 침전물 수준에 따라 다름)에서 작동 지침 또는 서비스 설명서에 설명된 절차를 준수할 수 있습니다.
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
