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Avec une large gamme de systèmes et de procédés de vide, il est nécessaire de mesurer les performances de vide.

Les instruments utilisés pour mesurer la pression dans cette large plage sont appelés jauges à vide et mesurent de la pression supérieure à la pression atmosphérique (~ 2 000 mbar (1 500 Torr)) à 10-12 mbar/torr. Aucune technologie de capteur unique n'est capable d'effectuer des mesures sur cette plage.

Par conséquent, une variété de jauges à vide différentes sont disponibles, chacune ayant ses propres caractéristiques et sa capacité à mesurer plusieurs décades de vide. Afin d'élargir la plage de mesure, il est désormais courant de combiner plusieurs technologies dans une seule jauge afin de réduire les connexions nécessaires dans un système.  

L'un des principaux moyens de différencier les types de jauges à vide est de mesurer le gaz : les mesures de pression directes ou indirectes.

  • Dans le cas de mesures de pression directes (ou indépendantes du gaz), les relevés obtenus par la jauge à vide sont indépendants du type de gaz et la pression indiquée est toujours la pression réelle du système. S'appuyant souvent sur la déflexion mécanique d'une membrane, ces derniers sont capables de mesurer à partir d'une pression supérieure à la pression atmosphérique jusqu'à 10-4 mbar/torr. Ces types de jauge vous offrent une haute précision sur une courte portée et sont généralement très robustes. 
  • Dans le cas de mesures de pression indirectes, la pression est déterminée en fonction d'une propriété dépendante de la pression du gaz (conductivité thermique, probabilité d'ionisation, par exemple). Ces propriétés ne dépendent pas seulement de la pression, mais également de la masse molaire des gaz. Par conséquent, elles sont également connues comme étant « dépendante du gaz ». Les relevés se rapportent généralement à l'air ou à l'azote comme gaz de mesure. Pour la mesure d'autres vapeurs ou gaz, les facteurs de correction correspondants doivent être appliqués à la pression réelle du système. Ces jauges sont capables de mesurer la pression sur une plage beaucoup plus large (pression atmosphérique jusqu'à 10 x 10-12 mbar selon le type/la combinaison), en contrepartie, le niveau de précision est inférieur. 

Un autre point de décision commun sur les jauges à vide est actif ou passif, cette option étant disponible dans notre large gamme de jauges à vide.

  • Le jaugeage actif est l'endroit où la tête de mesure (tête de capteur) est combinée avec l'électronique nécessaire pour contrôler et émettre un signal, ce qui permet une intégration facile à un système. 
  • Le jaugeage passif est l'endroit où la tête de jauge est séparée des composants électroniques, qui sont ensuite conservés séparément dans un contrôleur dédié. L'avantage est qu'ils peuvent être utilisés dans des environnements où les composants électroniques ne pourraient pas fonctionner, tels que les environnements à fort rayonnement, et le contrôleur séparé peut être retiré de cet environnement.

Jauges et contrôleurs

Jauge à vide à large gamme

Mesure de pression robuste, fiable et précise sur une large plage de pression.

  • Série THERMOVAC TTR/TR : parfaite pour la surveillance des pressions de pompe primaire standard. 
  • Série PENNINGVAC PTR/PR : permettant la mesure dans la zone de vide poussé, ces jauges peuvent être décrites comme des jauges à plage complète.
  • Série IONIVAC ITR/IE : extension de la plage de vide à des pressions de vide très élevées.

Jauge à vide de précision

Pour les plus hauts niveaux de précision et de répétabilité, dans les environnements les plus difficiles, elles sont parfaites pour un contrôle détaillé du système.

  • Jauges à vide CERAVAC CTR : jauges à manomètre capacitif haut de gamme.
  • Jauges à vide DI/DU : dotées d'un niveau de précision légèrement inférieur, elles sont adaptées aux environnements sales/humides/poussiéreux.

Contrôleurs de pompe à vide et de jauge

Vous donne la possibilité d'afficher la pression et d'intégrer sa mesure dans un système de contrôle plus large. Nous avons une gamme de contrôleurs parmi lesquels choisir en fonction de vos besoins spécifiques.

Jaugeage à vide portable et mécanique

Le fait d'avoir une jauge dotée d'un affichage intégré et alimentée par batterie vous permet de réaliser des mesures où et quand vous le souhaitez. Les comparateurs mécaniques sont parfaits lorsque vous avez simplement besoin d'une indication que vous aspirez le vide, plutôt que de mesures précises.

Jauge à vide d'ionisation à cathode chaude IONIVAC

L'ionisation à cathode chaude diffère de la cathode froide dans la mesure où elle possède un filament chaud émettant des ions intégré dans la tête du capteur. Cette technologie est capable de mesurer des pressions de vide moyen à très poussé (10-12 mbar/torr), en contrepartie, la tête de capteur nécessite une protection accrue, et sa conception plus complexe entraîne un coût de possession plus élevé.

Comme avec les technologies à cathode froide, elles cessent de mesurer à ~10-2  mbar/torr, et sont donc normalement associées à une jauge Pirani intégrée pour fournir une mesure de gamme complète dans une seule jauge.

Il existe également différentes versions de la technologie à cathode chaude, les principaux types étant Bayard-Alpert (ITR ou IE 414) et l'extracteur (IE 514). La technologie d'extraction offre la mesure de pression la plus basse avec la possibilité de mesurer jusqu'à 10-12 mbar/torr
 

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