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UNIVEX G 350 glove box

Boîte à gants UNIVEX G

Chargement et revêtement de substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans un environnement inerte

Notre système de boîte à gants standard permet de charger et de recouvrir des substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans l'environnement inerte d'une boîte à gants.

Les systèmes UNIVEX G sont dotés d'une porte coulissante avant pour la connexion à la boîte à gants. Cette porte coulissante permet à l'opérateur d'accéder facilement à la chambre de traitement via la boîte à gants. Si un accès direct est nécessaire, l'UNIVEX G dispose d'une deuxième porte à l'arrière.

Applications courantes 

  • Métallisation des contacts (évaporation de l'or, de l'argent, du chrome, du nickel, du titane, etc.)
  • Biocapteurs/dispositifs médicaux
  • Electronique organique : OLED, photovoltaïque organique
  • Points quantiques/écrans
  • Evaporateurs à faisceau d'électrons et organiques pour la formation de pérovskite organique/inorganique

Accès direct et facile à l'équipement de traitement via la porte coulissante latérale avant

Accès pratique pour l'entretien via la porte à charnière à l'arrière

Intégration de tous les composants de processus

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250

The UNIVEX G 250 is a convenient and cost-effective solution for coating tasks requiring not much space.

Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of approximately 220 mm can be processed.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Dimensions de la chambre

Largeur : 270 mm, profondeur : 370 mm, hauteur : 400 mm

Evaporateur thermique

jusqu'à 4 matériaux

Evaporateur organique

jusqu'à 4 matériaux

Evaporation par faisceau d'électrons

poches multiples ou poche unique

Pulvérisation

haut ou bas, 2 x 2"

Dépôt simultané

évaporation et/ou pulvérisation

Compatible avec sas de charge

en option

Niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

Compatible avec les salles blanches

oui

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350

The UNIVEX G 350 combines a compact design with plenty of chamber space.

For many coating tasks the UNIVEX G 350 offers optimum space conditions and convenient access to process components and substrate processing.

Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of approximately 300 mm can be processed.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

dimensions de la chambre

Largeur : 370 mm, profondeur : 390 mm, hauteur : 500 mm

évaporateur thermique

jusqu'à 8 matériaux

évaporateur organique

Jusqu'à 4 matériaux

évaporation par faisceau d'électrons

Poches multiples et/ou poche unique

pulvérisation

Vers le haut ou le bas : 3 pistolets de 2" ou 2 pistolets de 3"

Dépôt simultané

Evaporation et/ou pulvérisation

compatible avec sas de charge

en option

Dépôt assisté par faisceau d'ions

en option

niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

compatible avec les salles blanches

oui

UNIVEX G 450

UNIVEX G 450

Owing to its chamber dimensions, the UNIVEX G 450 is suited for all coating tasks requiring much space. Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of over 400 mm can be processed. With a height of 650 mm, the vacuum chamber is also suited for lift-off applications.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

dimensions de la chambre

Largeur : 500 mm, profondeur : 500 mm, hauteur : 650 mm

évaporateur thermique

Jusqu'à 8 matériaux

évaporateur organique

Jusqu'à 8 matériaux

évaporation par faisceau d'électrons

Poches multiples et/ou poche unique

pulvérisation

Vers le haut ou le bas : 3 x 3", 2 x 4", 4 x 2" ou autre

Dépôt simultané

Evaporation et/ou pulvérisation

compatible avec sas de charge

en option

Dépôt assisté par faisceau d'ions

en option

niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

compatible avec les salles blanches

oui

UNIVEX G 250

The UNIVEX G 250 is a convenient and cost-effective solution for coating tasks requiring not much space.

Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of approximately 220 mm can be processed.

UNIVEX G 250 with electrical cabinet
 

G 250

Dimensions de la chambre

Largeur : 270 mm, profondeur : 370 mm, hauteur : 400 mm

Evaporateur thermique

jusqu'à 4 matériaux

Evaporateur organique

jusqu'à 4 matériaux

Evaporation par faisceau d'électrons

poches multiples ou poche unique

Pulvérisation

haut ou bas, 2 x 2"

Dépôt simultané

évaporation et/ou pulvérisation

Compatible avec sas de charge

en option

Niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

Compatible avec les salles blanches

oui

UNIVEX G 350

The UNIVEX G 350 combines a compact design with plenty of chamber space.

For many coating tasks the UNIVEX G 350 offers optimum space conditions and convenient access to process components and substrate processing.

Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of approximately 300 mm can be processed.

UNIVEX Coating Systems
 

G 350

dimensions de la chambre

Largeur : 370 mm, profondeur : 390 mm, hauteur : 500 mm

évaporateur thermique

jusqu'à 8 matériaux

évaporateur organique

Jusqu'à 4 matériaux

évaporation par faisceau d'électrons

Poches multiples et/ou poche unique

pulvérisation

Vers le haut ou le bas : 3 pistolets de 2" ou 2 pistolets de 3"

Dépôt simultané

Evaporation et/ou pulvérisation

compatible avec sas de charge

en option

Dépôt assisté par faisceau d'ions

en option

niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

compatible avec les salles blanches

oui

UNIVEX G 450

Owing to its chamber dimensions, the UNIVEX G 450 is suited for all coating tasks requiring much space. Substrates, respectively substrate holders up to an overall diameter of over 400 mm can be processed. With a height of 650 mm, the vacuum chamber is also suited for lift-off applications.

UNIVEX Coating Systems
 

G 450

dimensions de la chambre

Largeur : 500 mm, profondeur : 500 mm, hauteur : 650 mm

évaporateur thermique

Jusqu'à 8 matériaux

évaporateur organique

Jusqu'à 8 matériaux

évaporation par faisceau d'électrons

Poches multiples et/ou poche unique

pulvérisation

Vers le haut ou le bas : 3 x 3", 2 x 4", 4 x 2" ou autre

Dépôt simultané

Evaporation et/ou pulvérisation

compatible avec sas de charge

en option

Dépôt assisté par faisceau d'ions

en option

niveau de vide

moyen, 10-7 mbar

compatible avec les salles blanches

oui