Boîte à gants UNIVEX G
Chargement et revêtement de substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans un environnement inerte
Notre système de boîte à gants standard permet de charger et de recouvrir des substrats sensibles à l'humidité et à l'oxygène dans l'environnement inerte d'une boîte à gants.
Les systèmes UNIVEX G sont dotés d'une porte coulissante avant pour la connexion à la boîte à gants. Cette porte coulissante permet à l'opérateur d'accéder facilement à la chambre de traitement via la boîte à gants. Si un accès direct est nécessaire, l'UNIVEX G dispose d'une deuxième porte à l'arrière.
Applications courantes
- Métallisation des contacts (évaporation de l'or, de l'argent, du chrome, du nickel, du titane, etc.)
- Biocapteurs/dispositifs médicaux
- Electronique organique : OLED, photovoltaïque organique
- Points quantiques/écrans
- Evaporateurs à faisceau d'électrons et organiques pour la formation de pérovskite organique/inorganique
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
L'UNIVEX G 250 est une solution pratique et économique pour les tâches de revêtement ne nécessitant pas beaucoup d'espace.
Les substrats et les supports de substrat d'un diamètre total maximum de 220 mm peuvent y être traités.
G 250 |
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|---|---|
Dimensions de la chambre |
Largeur : 270 mm, profondeur : 370 mm, hauteur : 400 mm |
Evaporateur thermique |
jusqu'à 4 matériaux |
Evaporateur organique |
jusqu'à 4 matériaux |
Evaporation par faisceau d'électrons |
poches multiples ou poche unique |
Pulvérisation |
haut ou bas, 2 x 2" |
Dépôt simultané |
évaporation et/ou pulvérisation |
Compatible avec sas de charge |
en option |
Niveau de vide |
moyen, 10-7 mbar |
Compatible avec les salles blanches |
oui |
UNIVEX G 350
L'UNIVEX G 350 combine un design compact et une chambre spacieuse.
Pour de nombreuses tâches de revêtement, l'UNIVEX G 350 offre des conditions d'espace optimales et un accès pratique aux composants de processus et au traitement des substrats.
Des substrats et des supports de substrat d'un diamètre total allant jusqu'à 300 mm peuvent y être traités.
G 350 |
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|---|---|
dimensions de la chambre |
Largeur : 370 mm, profondeur : 390 mm, hauteur : 500 mm |
évaporateur thermique |
jusqu'à 8 matériaux |
évaporateur organique |
Jusqu'à 4 matériaux |
évaporation par faisceau d'électrons |
Poches multiples et/ou poche unique |
pulvérisation |
Vers le haut ou le bas : 3 pistolets de 2" ou 2 pistolets de 3" |
Dépôt simultané |
Evaporation et/ou pulvérisation |
compatible avec sas de charge |
en option |
Dépôt assisté par faisceau d'ions |
en option |
niveau de vide |
moyen, 10-7 mbar |
compatible avec les salles blanches |
oui |
UNIVEX G 450
Grâce à la taille de sa chambre, l'UNIVEX G 450 est adapté à toutes les tâches de dépôt nécessitant beaucoup d'espace. Des substrats et des supports de substrat allant jusqu'à plus de 400 mm de diamètre peuvent y être traités. Avec une hauteur de 650 mm, la chambre à vide est également adaptée aux applications de lift-off.
G 450 |
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|---|---|
dimensions de la chambre |
Largeur : 500 mm, profondeur : 500 mm, hauteur : 650 mm |
évaporateur thermique |
Jusqu'à 8 matériaux |
évaporateur organique |
Jusqu'à 8 matériaux |
évaporation par faisceau d'électrons |
Poches multiples et/ou poche unique |
pulvérisation |
Vers le haut ou le bas : 3 x 3", 2 x 4", 4 x 2" ou autre |
Dépôt simultané |
Evaporation et/ou pulvérisation |
compatible avec sas de charge |
en option |
Dépôt assisté par faisceau d'ions |
en option |
niveau de vide |
moyen, 10-7 mbar |
compatible avec les salles blanches |
oui |