Solar panel with water drops on a nano coating

Revêtement solaire

La production de panneaux solaires peut être divisée en deux technologies différentes : les plaquettes et les couches minces.

Dans la production de cellules solaires à plaquettes, la première phase de vide est la fabrication des plaquettes de silicium. Elles sont découpées en lingots mono ou polycristallins, qui sont produits sous vide dans les procédés de croissance de cristaux DSS ou Czochralski (pour plus de détails, voir tirage de cristaux).

Une autre étape importante du vide est la phase de dépôt physique en phase vapeur de l'oxyde conducteur transparent (PVD TCO), qui est pulvérisé à l'avant et à l'arrière de la pile de couches.

Dans la production de cellules solaires à couche mince, il existe deux technologies principales : les CIGS (cuivre, indium, gallium, sélénium) et les CdTe (cadmium, tellure). Les deux piles de couches actives sont appliquées dans applicateur de revêtement de vide en plusieurs étapes. Une fois encore, le revêtement PVD TCO est pulvérisé à l'avant et à l'arrière de la pile de couches.

La nouvelle technologie d'hétérojonction (HJT) combine les étapes de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) avec le revêtement PVD bien connu sur les surfaces de contact avant et arrière. Les étapes de revêtement CVD sont appliquées sur une base amorphe ou microcristalline. Pour cette technologie, Leybold dispose d'un grand nombre de pompes installées dans le monde entier.

Tous les processus de vide sont généralement effectués dans de grandes machines de revêtement en ligne, qui fonctionnent avec les temps de cycle les plus courts. Leybold a soutenu cette technologie dès le début et a acquis une expertise poussée. Pour le pompage rapide en sas de charge, Leybold a spécifiquement développé son système POWERBOOST. D'autres systèmes de pompe spécialisés DRYVAC/RUVAC se sont avérés être les solutions les plus fiables pour les applications exigeantes telles que CIGS et CdTe et garantissent les temps de fonctionnement en usine les plus élevés.

Le procédé HJT est encore plus exigeant, car il génère de grandes quantités de poussière et utilise des gaz dopants toxiques en plus du H2. La pompe DRYVAC excelle ici, car elle est hermétiquement scellée et les matériaux de la pompe sont spécialement sélectionnés pour gérer de tels procédés.