IONIVAC 게이지 시리즈는 패시브(IE) 또는 액티브(ITR)에 관계없이 초고진공을 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 상세한 실험 추적과 공정 변수 제어가 가능합니다.
IONIVAC 열음극 게이지는 양극에 영향을 미치는 열음극 전자를 방출하는 방식으로 작동합니다. 따라서 측정 가스는 이온화됩니다. 생성된 양이온 전류는 세 번째 전극을 통해 감지되며, 이 전류는 압력에 비례하는 신호로 사용됩니다.
열음극 이온화 센서는 사용된 열음극 기술의 유형에 따라 10-12~10-1mbar(0.75·10-10~0.75·10-1Torr)의 넓은 측정 범위를 제공합니다.
최적화된 조합형 송신기
IONIVAC ITR은 최적화된 조합형 송신기입니다. 열음극 이온화 센서(열음극 이온화의 베이어드-알퍼트 방법 사용)와 피라니 센서의 결합으로 5 . 10-10~1,000mbar(3.75 . 10-10~750torr) 범위에서 진공 압력을 측정할 수 있습니다.
두 가지 주요 모델이 제공됩니다.
UHV 측정용 상위 제품군
IONIVAC IE 시리즈 게이지는 초고진공 측정의 소위 “롤스로이스”에 해당하며, 기본 압력 판독값이 매우 낮고 정확도가 높습니다.
패시브 게이지 컨트롤러와 함께 사용하는 이 컨트롤러는 가장 낮은 수준의 상세한 압력 판독이 필요한 환경에서 사용됩니다.
패시브 IONIVAC IE 센서는 열음극 이온화 기술을 사용하여 가장 낮은 압력까지 측정합니다.
최적화된 조합형 송신기
IONIVAC ITR은 최적화된 조합형 송신기입니다. 열음극 이온화 센서(열음극 이온화의 베이어드-알퍼트 방법 사용)와 피라니 센서의 결합으로 5 . 10-10~1,000mbar(3.75 . 10-10~750torr) 범위에서 진공 압력을 측정할 수 있습니다.
두 가지 주요 모델이 제공됩니다.
UHV 측정용 상위 제품군
IONIVAC IE 시리즈 게이지는 초고진공 측정의 소위 “롤스로이스”에 해당하며, 기본 압력 판독값이 매우 낮고 정확도가 높습니다.
패시브 게이지 컨트롤러와 함께 사용하는 이 컨트롤러는 가장 낮은 수준의 상세한 압력 판독이 필요한 환경에서 사용됩니다.
패시브 IONIVAC IE 센서는 열음극 이온화 기술을 사용하여 가장 낮은 압력까지 측정합니다.