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IONIVAC ITR 90

IONIVAC

열음극 베이어드 알퍼트(Bayard Alpert)

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IONIVAC을 선택해야 하는 이유

IONIVAC 게이지 시리즈는 패시브(IE) 또는 액티브(ITR)에 관계없이 초고진공을 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 상세한 실험 추적과 공정 변수 제어가 가능합니다. 

IONIVAC 열음극 게이지는 양극에 영향을 미치는 열음극 전자를 방출하는 방식으로 작동합니다. 따라서 측정 가스는 이온화됩니다. 생성된 양이온 전류는 세 번째 전극을 통해 감지되며, 이 전류는 압력에 비례하는 신호로 사용됩니다. 

열음극 이온화 센서는 사용된 열음극 기술의 유형에 따라 10-12~10-1mbar(0.75·10-10~0.75·10-1Torr)의 넓은 측정 범위를 제공합니다.

IONIVAC ITR90/200 시리즈

IONIVAC ITR90/200 시리즈

최적화된 조합형 송신기

IONIVAC ITR은 최적화된 조합형 송신기입니다. 열음극 이온화 센서(열음극 이온화의 베이어드-알퍼트 방법 사용)와 피라니 센서의 결합으로 5 . 10-10~1,000mbar(3.75 . 10-10~750torr) 범위에서 진공 압력을 측정할 수 있습니다. 

두 가지 주요 모델이 제공됩니다.

  • 단일 열음극 필라멘트가 있는 ITR 90
  • 이중 필라멘트가 있는 ITR 200은 내재된 중복성을 통해 수명을 늘립니다. 이 장치는 오류 발생 시 필라멘트를 자동으로 전환하며 해당 필라멘트의 고장을 표시합니다. 게이지 수명을 더 늘리기 위해 필라멘트 성능을 재활성화하는 가스 제거 프로그램을 실행할 수 있습니다. 
  • 1 . 10-10 mbar/torr에서 대기압까지 지속적인 압력 측정을 제공  
  • 음극을 교체할 수 있는 컴팩트한 디자인과 가스 제거 모드 
  • 센서 베이크아웃으로 UHV 측정 활성화 
  • 아날로그, 디스플레이, 디지털 및 Profibus 인터페이스를 간편하게 설치 가능 
  • 일반적인 공정 압력 범위인 10-2~10-9mbar에서 높은 반복성  
  • 패시브 게이징으로 정확한 UHV 압력 측정을 수행하여 10-12mbar/torr까지 측정 가능  
IONIVAC ITR 90
IONIVAC IE 414/IE 514 시리즈

IONIVAC IE 414/IE 514 시리즈

UHV 측정용 상위 제품군

IONIVAC IE 시리즈 게이지는 초고진공 측정의 소위 “롤스로이스”에 해당하며, 기본 압력 판독값이 매우 낮고 정확도가 높습니다. 

패시브 게이지 컨트롤러와 함께 사용하는 이 컨트롤러는 가장 낮은 수준의 상세한 압력 판독이 필요한 환경에서 사용됩니다. 

패시브 IONIVAC IE 센서는 열음극 이온화 기술을 사용하여 가장 낮은 압력까지 측정합니다. 

  • IE 414는 베이어드 알퍼트(Bayard Alpert)기술을 사용하여 2 . 10-11~e-2mbar(1.5e-11~e-2torr) 범위까지 측정할 수 있습니다. 
  • 최저 압력에 도달하려면 X선 영향을 줄여야 합니다. 이 작업은 당사의 IE 514 시리즈 게이지에서 열음극 이온화 추출 방법을 사용하여 수행합니다. 이 센서 기술로 2e-12~1e-4mbar(2e-12~7.5e-5torr) 범위를 판독할 수 있습니다.

IONIVAC ITR90/200 시리즈

최적화된 조합형 송신기

IONIVAC ITR은 최적화된 조합형 송신기입니다. 열음극 이온화 센서(열음극 이온화의 베이어드-알퍼트 방법 사용)와 피라니 센서의 결합으로 5 . 10-10~1,000mbar(3.75 . 10-10~750torr) 범위에서 진공 압력을 측정할 수 있습니다. 

두 가지 주요 모델이 제공됩니다.

  • 단일 열음극 필라멘트가 있는 ITR 90
  • 이중 필라멘트가 있는 ITR 200은 내재된 중복성을 통해 수명을 늘립니다. 이 장치는 오류 발생 시 필라멘트를 자동으로 전환하며 해당 필라멘트의 고장을 표시합니다. 게이지 수명을 더 늘리기 위해 필라멘트 성능을 재활성화하는 가스 제거 프로그램을 실행할 수 있습니다. 
  • 1 . 10-10 mbar/torr에서 대기압까지 지속적인 압력 측정을 제공  
  • 음극을 교체할 수 있는 컴팩트한 디자인과 가스 제거 모드 
  • 센서 베이크아웃으로 UHV 측정 활성화 
  • 아날로그, 디스플레이, 디지털 및 Profibus 인터페이스를 간편하게 설치 가능 
  • 일반적인 공정 압력 범위인 10-2~10-9mbar에서 높은 반복성  
  • 패시브 게이징으로 정확한 UHV 압력 측정을 수행하여 10-12mbar/torr까지 측정 가능  
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IONIVAC IE 414/IE 514 시리즈

UHV 측정용 상위 제품군

IONIVAC IE 시리즈 게이지는 초고진공 측정의 소위 “롤스로이스”에 해당하며, 기본 압력 판독값이 매우 낮고 정확도가 높습니다. 

패시브 게이지 컨트롤러와 함께 사용하는 이 컨트롤러는 가장 낮은 수준의 상세한 압력 판독이 필요한 환경에서 사용됩니다. 

패시브 IONIVAC IE 센서는 열음극 이온화 기술을 사용하여 가장 낮은 압력까지 측정합니다. 

  • IE 414는 베이어드 알퍼트(Bayard Alpert)기술을 사용하여 2 . 10-11~e-2mbar(1.5e-11~e-2torr) 범위까지 측정할 수 있습니다. 
  • 최저 압력에 도달하려면 X선 영향을 줄여야 합니다. 이 작업은 당사의 IE 514 시리즈 게이지에서 열음극 이온화 추출 방법을 사용하여 수행합니다. 이 센서 기술로 2e-12~1e-4mbar(2e-12~7.5e-5torr) 범위를 판독할 수 있습니다.
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