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다양한 진공 시스템과 공정을 통해 진공 성능을 측정합니다.

넓은 범위 내에서 압력을 측정하는 데 사용되는 계측기를 진공 게이지라고 하며, 대기압(약 2,000mbar(1,500Torr)) 이상에서 10-12mbar/torr까지 측정합니다. 단일 센서 기술은 이 범위에서 측정할 수 없습니다.

따라서 다양한 진공 게이지를 사용할 수 있으며, 각 진공 게이지는 고유의 특성과 수십 년에 걸친 진공 측정 능력을 갖추고 있습니다. 측정 범위를 확대하기 위해 여러 기술을 단일 게이지와 결합하여 시스템에 필요한 연결을 줄이고 있습니다.  

각 진공 게이지 유형의 주된 차이점은 가스를 측정하는 방법으로, 직접 압력 측정인지 간접 압력 측정인지에 따라 나뉩니다.

  • 직접(또는 독립적인 가스) 압력 측정의 경우 진공 게이지를 통해 얻은 측정값은 가스 유형과 무관하며 주어진 압력은 항상 시스템의 실제 압력이 됩니다. 멤브레인의 기계적 편향에 의존하는 경우가 많아 대기압 이상에서 10-4mbar/torr까지 측정할 수 있습니다. 이러한 게이지 유형은 짧은 범위에서 높은 정확도를 제공하고 일반적으로 매우 견고합니다. 
  • 간접 압력 측정의 경우 압력은 가스의 압력 의존적 속성(예: 열전도율, 이온화 가능성)과 관련하여 결정됩니다. 이러한 특성은 압력뿐만 아니라 가스의 분자량에 따라 달라지므로 이를 가스 의존이라고도 합니다. 판독값은 일반적으로 측정 가스로 공기 또는 질소와 관련이 있습니다. 다른 증기나 가스를 측정하려면 시스템의 실제 압력에 해당하는 보정 계수를 적용해야 합니다. 이 게이지는 훨씬 넓은 범위(유형/조합에 따라 대기압에서 10 x 10-12mbar까지)에 걸쳐 압력 측정을 할 수 있는 대신 정확도 수준이 더 낮습니다. 

진공 게이지 유형에 차이를 가지고 오는 또 다른 사항은 액티브와 패시브 여부이며, Leybold의 광범위한 진공 게이지 옵션 중에서 이를 선택할 수 있습니다.

  • 액티브 측정은 게이지 헤드(센서 헤드)가 신호를 제어 및 출력하는 데 필요한 전자 장치와 결합하여 시스템과의 쉬운 통합을 제공합니다. 
  • 패시브 측정은 게이지 헤드를 전자 장치와 분리한 다음 전용 컨트롤러에 별도로 보관합니다. 이러한 방식의 장점은 전자 장치가 고방사선 환경과 같이 작동하지 않는 환경에서도 사용할 수 있고 별도의 컨트롤러를 해당 환경에서 제거할 수 있다는 점입니다.

게이지 및 컨트롤러

광범위 진공 측정

광범위한 압력 범위에서 강력하고 안정적이며 정확하게 압력을 측정합니다.

  • THERMOVAC TTR/TR 시리즈 - 표준 1차/배압 펌프 압력을 모니터링하는 데 적합합니다. 
  • PENNINGVAC PTR/PR 시리즈 - 높은 진공 영역에서 측정을 수행할 수 있는 전체 범위 게이지라고 할 수 있습니다.
  • IONIVAC ITR/IE 시리즈 - 진공 범위를 초고진공 압력까지 확장합니다.

정밀 진공 측정

이 제품은 가장 혹독한 환경에서 가장 높은 수준의 정확도와 반복성을 제공하며, 세부적인 시스템 제어에 완벽한 제품입니다.

  • CERAVAC CTR 진공 게이지 - 최고 정전 용량 압력계 게이지의 최고 범위를 제공합니다.
  • DI/DU 진공 게이지 - 정확도가 약간 낮으나 더럽거나 축축하거나 먼지가 많은 환경에 적합합니다.

진공 펌프 및 게이지 컨트롤러

압력을 표시하고 측정값을 더 넓은 제어 시스템에 통합할 수 있습니다. 특정 요구 사항에 따라 제거할 수 있는 다양한 컨트롤러를 선택할 수 있습니다.

이동식 및 기계식 진공 측정

통합 디스플레이가 장착되어 있고 배터리 전원이 공급되는 게이지 덕분에 언제 어디서나 측정을 수행할 수 있습니다. 기계식 다이얼 게이지는 정밀한 측정이 아니라 진공 풀링 표시만 필요한 경우에 적합합니다.

IONIVAC 열음극 이온화 진공 게이지

열음극 이온화는 센서 헤드에 내장된 뜨거운 필라멘트 방출 이온이 있다는 점에서 냉음극과 다릅니다. 이 기술은 중진공 압력에서 초고진공 압력(10-12mbar/torr)까지 측정할 수 있으며, 더 많은 보호 기능을 필요로 하는 센서 헤드 탓에 더 복잡한 설계에서는 더 높은 소유 비용이 발생합니다.

냉음극 기술과 마찬가지로, 약 10-2mbar/torr에서 측정을 중단하기 때문에 일반적으로 통합형 피라니와 결합하여 단일 게이지에서 전반적인 범위 측정을 제공합니다.

또한, 주요 유형은 베이어드-알퍼트(ITR 또는 IE 414) 및 추출기(IE 514)인 열음극 기술의 버전과 다릅니다. 추출기 기술은 10-12mbar/torr로 측정할 수 있는 기능을 갖춘 최저 압력 측정을 제공합니다
 

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