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Composing DIJ Oil Diffusion Pumps

DIJ

오일 확산 펌프

가스 처리 능력과 펌핑 속도가 향상된 고진공 펌프

Leybold DIJ 시리즈 오일 확산 펌프는 혁신적인 가열기 시스템, 특수 본체 구조, 프로세스 챔버의 빠른 펌프 다운, 에너지 소비 감소 및 탄소 배출량 감소를 위한 5단 노즐 시스템을 갖춘 고급 디자인의 고진공 펌프(10-2mbar 미만)입니다.

DIJ 시리즈는 가스 처리량을 향상하고 10-2mbar 미만의 안정적인 고진공 압력을 제공합니다. 펌핑 속도는 5 x 10-1~10-7mbar의 작동 범위에서 3,000l/s~33,000l/s입니다.

DIJ는 새로운 첨단 가열 개념, 강력한 5단 노즐 시스템, 가변 플랜지 연결, 에너지 효율 컨트롤러(EEC)를 포함한 다양한 전기 연결 옵션, 전면 배플 및 냉각 캡 배플을 갖추고 있습니다. DIJ 5단계 시스템 설계는 뛰어난 성능을 제공합니다. 높은 펌핑 속도를 위한 4개의 확산 펌프 단계와 10-2mbar 미만의 압력에서 높은 전방 진공 안정성을 위한 한 개의 이젝터 단계가 있습니다. EEC의 변형 제품은 에너지 효율을 높여 에너지를 더욱 절약하고 탄소 배출량을 낮춰 줍니다.

Leybold DIJ 오일 확산 펌프는 유지 보수가 거의 필요하지 않습니다. 회전 부품으로 인한 마모는 없어 작동이 쉽습니다. DIJ 시리즈는 혁신적이고 에너지 효율이 높은 구조가 특징입니다. 

사용자 이점

5단 노즐 시스템

냉각 캡 배플 및 전방 진공 배플

혁신적인 가열 개념

다양한 플랜지(ANSI/ISO)

고객의 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 전기적 연결 기회

에너지 효율 제어

DIJ Family

주요 사실

펌핑 속도 3.000 - 33.000l/s

작동 범위 < 10-1 ~ 10-7mbar

10-3mbar 미만의 압력 범위에서 최적의 펌핑 속도 제공

DIJ 제품군의 특징

  • 안정적인 고진공
  • 빠른 펌핑 속도
  • 가스 처리량 향상
  • 안전하고 경제적인 디자인
  • CE 준수 전자 제품
  • 쉬운 조작
  • 유지 보수에 친화적인 디자인으로 가열 소자를 빠르고 쉽게 교체할 수 있음
  • 다양한 액세서리 준비
  • 유연한 전기 배선으로 전 세계에서 사용이 가능함
  • 혁신적인 에너지 효율 제어(EEC) 

한 눈에 보는 DIJ의 장점

DIJ 제품군은 다양하고 유용한 기능으로 응용 프로그램에 최적의 통합 기능을 제공합니다.

 

혁신적인 가열 개념

오일에 에너지 전달을 최적화하기 위해 넓은 열 교환 표면을 가진 고급 가열기 카트리지를 활용하는 독특하고 혁신적인 가열 개념입니다. 효율적인 온도 모니터링은 시스템의 과열을 방지합니다. 가열 부위를 단열화하여 에너지 손실을 최소화합니다.

  • 최소한의 응력으로 가열기와 오일의 수명 연장
  • 빠른 가열 시간
  • 플랜지형 가열기로 간편한 교환

5단 노즐 시스템

DIJ 펌프에는 새로운 5단 노즐 시스템이 장착되어 있습니다. 4단 펌프는 낮은 압력에서 높은 펌핑 속도를 보장하고 이는 낮은 범위의 고진공으로 이어집니다. 이젝터 단계는 전방 진공 안정성 향상과 가스 처리량 최적화로 이어집니다.

  • 가스 처리량 향상 및 높은 펌핑 속도
  • 오일 역류를 최소화하기 위한 냉각 캡 배플 통합

다양한 플랜지(ANSI/ISO)

연결성 개선을 위한 플랜지 모델 선택

  • ANSI/인치 플랜지(O링 씰)
  • ISO-F 또는 ISO-K 플랜지(가운데 O링 씰)

냉각 캡 배플 및 전방 진공 배플

DIJ 시리즈 펌프에는 오일이 진공 챔버로 역류하는 것을 방지하기 위해 공정용으로 검증된 냉각 캡 배플 및 최적화된 전방 진공 배플이 장착되어 있습니다.

  • 혁신적이고 새로운 전방선 배플로 오일 손실 감소
  • 더 개선된 공정 매개변수
  • 오일 역류 감소

에너지 효율 제어

펌프의 성능 저하 없이 최대 30%의 에너지 절감

오일 확산 펌프를 작동하기 위해서는 특정한 최소 오일 온도가 필요합니다. 컨트롤러가 없는 경우, 설치된 가열원의 100%가 오일을 가열하는 데 지속적으로 사용됩니다. Leybold의 혁신적인 확산 펌프용 에너지 효율 컨트롤러는 펌프가 작동 온도에 도달한 후 공급되는 전력이 크게 감소하므로 전력 소비를 최대 30%까지 줄일 수 있습니다. 낮은 온도에서 대기 모드로 사용하면 더 많은 에너지 절감 효과를 얻을 수 있습니다. 

  • 에너지 효율성 향상
  • 오일 및 가열 카트리지의 가동 시간 증가
  • 뛰어난 운전 편의 및 간편한 사용
  • 간편하고 시각적인 방식으로 매개변수 모니터링
  • USB 인터페이스 및 이더넷 연결
    DIJ 10 DIJ 320 DIJ 16 DIJ 500 DIJ 20 DIJ 630 DIJ 32 DIJ 800 DIJ 35 DIJ 1000
High vacuum   10'' ANSI 320 ISO-K 16'' ANSI 500 ISO-K 20'' ANSI 630 ISO-K 32'' ANSI 800 ISO-F 35'' ANSI 1000 ISO-F
fore vacuum connection   2'' ANSI 63 ISO-K 3'' ANSI 100 ISO-K 4'' ANSI 160 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K
Pumping speed for    

Air < 8 x 10-4mbar

l/s 3000 6800 10800 21000 33000

Argon < 1 x 10-4 mbar

l/s 2750 6350 9500 18000 26000
Operating range  mbar < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-6 < 10-1 - 10-6
Ultimate total pressure  mbar < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6
Mains voltage    3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE
depending on variant, 50/60Hz   3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE
Heating power kW 3,6 7,2 10,8 21,5 21,5
Weight, approx. kg 95 152 230 570 610
Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

PDF    979.4 kB

DIJ 시리즈의 오일 확산 펌프는 다음 산업 분야에서 사용하기 매우 적합합니다.

  • 진공 코팅
  • 금속공학
  • 진공 용광로
  • 진공 건조
  • 공간 시뮬레이션
  • 연구 개발
  • 기계 공학
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