광범위 진공 측정
모든 공정에 대한 진공 측정
액티브 및 패시브 구성 모두 사용 가능, Leybold의 모든 게이지는 Leybold의 전용 액티브 게이지 컨트롤러 중 하나인 GRAPHIX 또는 DISPLAY를 통해 쉽게 통합이 가능합니다.
THERMOVAC 및 PENNINGVAC 게이지는 TURBO.CONTROLi 펌프 및 게이지 컨트롤러와도 호환됩니다.
또는 0~10V/직렬 통신을 간단히 출력하여 PLC로 쉽게 연결할 수 있습니다.
- THERMOVAC
- PENNINGVAC
- IONIVAC
THERMOVAC 피라니 진공 게이지
진공 측정 작업
대부분의 환경에 대한 광범위한 견고성은 저진공에서 중진공 수준으로 작동합니다.
PENNINGVAC 냉음극 이온화 진공 게이지
10-2에서 10-9mbar/torr 사이에서 측정
종종 피라니 게이지로 고진공 펌프를 사용하는 시스템을 측정합니다.
IONIVAC 열음극 이온화 진공 게이지
중진공 압력에서 초고진공 압력까지 정확하게 측정합니다.
열음극 이온화는 센서 헤드에 내장된 뜨거운 필라멘트 방출 이온이 있다는 점에서 냉음극과 다릅니다. 이 기술은 중진공 압력에서 초고진공 압력(10-12mbar/torr)까지 측정할 수 있으며, 더 많은 보호 기능을 필요로 하는 센서 헤드 탓에 더 복잡한 설계에서는 더 높은 소유 비용이 발생합니다.
냉음극 기술과 마찬가지로, 약 10-2mbar/torr에서 측정을 중단하기 때문에 일반적으로 통합형 피라니와 결합하여 단일 게이지에서 전반적인 범위 측정을 제공합니다.
또한, 주요 유형은 베이어드-알퍼트(ITR 또는 IE 414) 및 추출기(IE 514)인 열음극 기술의 버전과 다릅니다. 추출기 기술은 10-12mbar/torr로 측정할 수 있는 기능을 갖춘 최저 압력 측정을 제공합니다
