UNIVEX C
Cluster e sistemi di deposizione personalizzati
Per applicazioni particolari, possiamo anche fornire cluster o sistemi personalizzati basati sul concetto modulare UNIVEX.
- UNIVEX C - CLUSTER
- UNIVEX C - CUSTOM
UNIVEX C - CLUSTER
I nostri cluster UNIVEX sono equipaggiati in base alle esigenze dei clienti e incorporano camere di trattamento, loadlock e di trasferimento separate. In genere, ogni camera per vuoto avrà un proprio sistema a alto vuoto. Nel caso più semplice, la camera di loadlock è caricata manualmente con singoli substrati. Inoltre, è possibile il trattamento di caricatori di diversi substrati per lotto.
Per il trasporto dei substrati tra le singole camere per vuoto, vengono comunemente utilizzati bracci robotici azionati da motore o unità di trasmissione a trasferimento lineare. Il software di controllo UNIVEX è personalizzato in base ai requisiti specifici dell'applicazione e in genere consente l'esecuzione completamente automatica del processo, compresa l'elaborazione delle formule.
UNIVEX C - CUSTOM
Nel caso in cui nessun tipo di sistema UNIVEX sia adatto alle sue esigenze, si desiderano camere di dimensioni o altezza diverse è sufficiente contattarci.
Non vediamo l'ora di aiutarti con il tuo sistema!
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