Rivestimento solare
Rivestimento solare
La produzione di pannelli solari può essere suddivisa in due diverse tecnologie: basata su wafer e a film sottile.
Nella produzione di celle solari basate su wafer, la prima fase del vuoto consiste nella produzione di wafer al silicio. Questi vengono tagliati in lingotti mono o policristallini, prodotti sottovuoto nei processi di crescita dei cristalli DSS o Czochralski (per maggiori dettagli, vedere l'estrazione dei cristalli).
Un'altra importante fase del vuoto è il rivestimento PVD TCO (Physical Vapor Deposition of Transparent Conductive Oxyde), che viene vaporizzato sulla parte anteriore e posteriore della pila di strati.
Nella produzione di celle solari a film sottile esistono due tecnologie principali: CIGS (rame, indio, gallio, selenio) e CdTe (cadmio, tellurio). Entrambe le pile di strati attivi vengono applicate nelle fasi del processo di rivestimento in vuoto. Anche qui, il rivestimento PVD TCO viene vaporizzato sulla parte anteriore e posteriore della pila di strati.
La nuova tecnologia di eterogiunzione (HJT) combina le fasi di deposizione chimica da vapore (CVD) con il noto rivestimento a contatto anteriore e posteriore PVD. Le fasi di rivestimento CVD vengono applicate su base amorfa o microcristallina. Per questa tecnologia, Leybold dispone di un gran numero di pompe installate in tutto il mondo.
Tutti i processi per vuoto avvengono normalmente in grandi macchine di rivestimento in linea, che funzionano con tempi di ciclo brevissimi. Leybold ha supportato questa tecnologia fin dall'inizio e ha accumulato un notevole esperienza. Per un pompaggio rapido con loadlock, Leybold ha sviluppato in modo specifico il sistema POWERBOOST. Sono disponibili anche altri sistemi di pompe DRYVAC/RUVAC specializzati, collaudati per offrire le soluzioni più affidabili nelle applicazioni più impegnative, come CIGS e CdTe e garantire in fabbrica tempi di attività massimi.
L'HJT è un processo ancora più impegnativo, in quanto genera grandi quantità di polvere e utilizza gas dopanti tossici oltre all'H2. In questo caso, DRYVAC è la soluzione per eccellenza, poiché è un sistema a tenuta ermetica e i materiali delle pompe sono appositamente selezionati per gestire tali processi.
