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Composing Vacuum Measurement

Controllo e misurazione del vuoto

Con un'ampia gamma di sistemi e processi, è necessario misurare le prestazioni del vuoto.

Gli strumenti utilizzati per misurare la pressione all'interno di quest'ampia gamma sono chiamati vacuometri e misurano valori da una pressione superiore a quella atmosferica (~ 2000 mbar (1500 Torr)) fino a 10-12 mbar/torr. Nessuna tecnologia a sensore singolo è in grado di effettuare misurazioni in questo intervallo.

Pertanto, è disponibile una vasta gamma di vacuometri diversi, ciascuno con le proprie caratteristiche e capacità di misurare diverse decine di vuoto. Per ampliare la gamma di misurazione, è ora prassi comune combinare più tecnologie in un unico vacuometro per ridurre i collegamenti necessari in un solo sistema.  

Uno dei metodi principali per distinguere i vacuometri risiede nel modo in cui misurano il gas: misurazioni della pressione diretta o indiretta.

  • In caso di misurazioni della pressione diretta (o indipendente dal gas), i valori ottenuti attraverso il vacuometro sono indipendenti dal tipo di gas e la pressione fornita corrisponde sempre alla pressione reale del sistema. Spesso, facendo affidamento su una deflessione meccanica di una membrana, sono in grado di misurare valori da una pressione superiore a quella atmosferica fino a 10-4 mbar/torr. Questi tipi di vacuometro offrono un'elevata precisione su un intervallo breve e sono generalmente molto robusti. 
  • Nel caso di misurazioni della pressione indiretta, la pressione viene determinata in funzione di una proprietà del gas dipendente dalla pressione (ad esempio conduttività termica, probabilità di ionizzazione). Queste proprietà non dipendono solo dalla pressione, ma anche dalla massa molare dei gas; di conseguenza, sono noti anche come dipendenti dal gas. I valori sono in genere correlati all'aria o all'azoto come gas di misurazione. Per la misurazione di altri vapori o gas, è necessario applicare i fattori di correzione corrispondenti alla pressione effettiva del sistema. Questi manometri sono in grado di misurare la pressione su una gamma molto più ampia (dalla pressione atmosferica a 10 x 10-12 mbar a seconda del tipo/combinazione), con il rapporto ad un livello di precisione inferiore. 

È inoltre possibile scegliere tra vacuometri di tipo attivo o passivo; questa opzione è disponibile nella nostra ampia gamma di vacuometri.

  • Nella misurazione attiva, la testa del vacuometro (testa del sensore) è combinata con i componenti elettronici necessari per controllare e generare un segnale, consentendo una facile integrazione in un sistema. 
  • Nella misurazione passiva, la testa del vacuometro è separata dai componenti elettronici, che sono quindi presenti in un controller dedicato. Pertanto possono essere utilizzati in luoghi in cui i componenti elettronici non sarebbero in grado di funzionare, ad esempio in ambienti ad alta radiazione, inoltre il controller separato può essere rimosso da tale ambiente.

Vacuometri e controller

Ampia gamma di misurazione del vuoto

Misurazione della pressione resistente, affidabile e precisa in un ampio intervallo.

  • Serie THERMOVAC TTR/TR: perfetta per il monitoraggio delle pressioni delle pompe primarie/secondarie standard. 
  • Serie PENNINGVAC PTR/PR: consente la misurazione nella regione dell’alto vuoto; possono essere definiti vacuometri di intervallo completo.
  • Serie IONIVAC ITR/IE: estensione dell'intervallo del vuoto a pressioni dell’ultra-alto vuoto.

Misurazione del vuoto di precisione

Per i massimi livelli di precisione e ripetibilità, negli ambienti più difficili, sono perfetti per un controllo dettagliato del sistema.

  • Vacuometri CERAVAC CTR: il top della gamma di manometri capacitativi.
  • Vacuometri DI/DU: un livello di precisione leggermente inferiore, ma adatti per ambienti sporchi/umidi/polverosi.

Controller di vacuometri e pompe per vuoto

Consente di visualizzare la pressione e di integrare la misurazione in un sistema di controllo più ampio. Disponiamo di una gamma di controller tra cui scegliere per soddisfare le vostre esigenze specifiche.

Misurazione del vuoto portatile e meccanica

Grazie a un vacuometro dotato di display integrato e alimentato a batteria, è possibile effettuare misurazioni ovunque e in qualsiasi momento. I comparatori meccanici sono ideali quando è necessaria solo un'indicazione della presenza del vuoto e non misurazioni precise.

Vacuometro per ionizzazione a catodo caldo IONIVAC

La ionizzazione a catodo caldo differisce dal catodo freddo in quanto presenta un filamento caldo che emette ioni integrato nella testa del sensore. Questa tecnologia è in grado di misurare pressioni di vuoto da medie a ultra alte (10-12 mbar/torr), in questi strumenti la testa del sensore richiede maggiore protezione e, grazie al design più complesso, comportano un costo di proprietà più elevato.

Come per le tecnologie a catodo freddo, interrompono la misurazione di ~10-2 mbar/torr, pertanto sono normalmente combinati con un pirani integrato per fornire la misurazione dell'intero intervallo in un singolo vacuometro.

Sono inoltre disponibili diverse versioni della tecnologia a catodo caldo, con i tipi principali Bayard-Alpert (ITR o IE 414) ed estrattore (IE 514). La tecnologia di estrazione offre una misurazione della pressione più bassa con la possibilità di misurare fino a 10-12 mbar/torr
 

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