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UNIVEX C

Cluster e sistemi di deposizione personalizzati

Per applicazioni particolari, possiamo anche fornire cluster o sistemi personalizzati basati sul concetto modulare UNIVEX.

Online Shop

Design del sistema personalizzato

Sequenza di processo programmabile, controllata tramite ricette

Eccellente vuoto di processo, bassa contaminazione residua di gas

UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - CUSTOM

UNIVEX C - CLUSTER

I nostri cluster UNIVEX sono equipaggiati in base alle esigenze dei clienti e incorporano camere di trattamento, loadlock e di trasferimento separate. In genere, ogni camera per vuoto avrà un proprio sistema a alto vuoto. Nel caso più semplice, la camera di loadlock è caricata manualmente con singoli substrati. Inoltre, è possibile il trattamento di caricatori di diversi substrati per lotto.

Per il trasporto dei substrati tra le singole camere per vuoto, vengono comunemente utilizzati bracci robotici azionati da motore o unità di trasmissione a trasferimento lineare. Il software di controllo UNIVEX è personalizzato in base ai requisiti specifici dell'applicazione e in genere consente l'esecuzione completamente automatica del processo, compresa l'elaborazione delle formule.

UNIVEX C - CUSTOM

Nel caso in cui nessun tipo di sistema UNIVEX sia adatto alle sue esigenze, si desiderano camere di dimensioni o altezza diverse è sufficiente contattarci.

Non vediamo l'ora di aiutarti con il tuo sistema!