Support de substrat TWISTER
La recherche et le développement en toute simplicité
Le support de substrat TWISTER™ entièrement fabriquée en interne représente une avancée majeure pour l'intégration de technologies innovantes, solides et fiables à votre système UNIVEX ou à toute autre chambre de revêtement que vous pourriez déjà utiliser.
Solutions sur mesure pour les applications spécifiques
Pour assurer un processus de revêtement réussi et reproductible, nous avons conçu un support de substrat orientable et chauffant, offrant une homogénéité exceptionnelle et une qualité de revêtement optimale.
Pour répondre à vos divers besoins, nous mettons à votre disposition un système modulaire comprenant trois versions principales :
- Basique
- Avancé
- Intégral
À partir desquelles nous pouvons obtenir 576 variantes possibles !
Système modulaire
Grâce à son principe modulaire, le support de substrat TWISTER™ est un dispositif améliorable typique qui ne nécessite que des colliers pneumatiques supplémentaires en cas d'ajout d'un sas de charge. Si un refroidissement est nécessaire, il suffit de remplacer la plaque chauffante par une plaque à la fois chauffante et de refroidissement.
Manipulation précise pour des résultats précis
- Pellicules fines uniformes et homogènes grâce à une rotation précise du substrat
- Dispositif de déplacement sur l'axe Z en option pour ajuster la distance du substrat par rapport aux sources de revêtement et pour les transferts avec sas de charge
- Flexibilité des plaques de substrat avec des diamètres allant jusqu'à 6 pouces
- Amélioration de la qualité de la couche par chauffage jusqu'à 400 °C
- Refroidissement par eau en option :
- Protège les substrats sensibles tels que les feuilles et les matériaux OLED
- Refroidissement plus rapide et traitement ultérieur
- Revêtement de protection facilement remplaçable pour le nettoyage
- Contrôle de position inclus
- Amélioration possible de la plupart des dispositifs de revêtement de laboratoire existants
