Couches minces

Une couche mince est une couche de matériaux allant de fractions d'un manomètre à plusieurs micrométries d'épaisseur. La technologie à couches minces a été améliorée au cours des dernières décennies et requiert des produits fiables pour obtenir une qualité optimale. Pour les processus de déposition de couche mince, Leybold peut fournir un équipement de vide haut-de-gamme satisfaisant les exigences de cette application grâce à ses systèmes de pompage secs performants DRYVAC/RUVAC.

Systèmes de pompage avec pompes sèches

  • Vitesse de pompage d'hydrogène élevée
  • Résistants aux particules
  • Grande compatibilité des supports pour les gaz de process types
  • Surveillance intégrée des paramètres d’exploitation et du contrôle de pompes Roots
  • Température réglable et débit de gaz de purge
  • Paramètre contrôlable via Profi Bus