Pompe per vuoto turbomolecolari

Pompe per alto vuoto meccaniche, ibride e a levitazione magnetica

Le pompe per vuoto turbomolecolari vengono utilizzate in applicazioni che richiedono un vuoto alto o ultra alto, ad esempio nella ricerca & sviluppo di fusione nucleare o in campi industriali come l'industria dei rivestimenti e la strumentazione analitica.

In linea di principio, la pompa turbomolecolare è una turbina che ruota rapidamente in un alloggiamento in cui le fasi sono dotate di una serie di lame del rotore. Tra le lame del rotore rotanti sono presenti dischi statore fissi con lame disposte nella direzione opposta.

Tramite un trasferimento del momento dalle lame del rotore in rotazione alle molecole di gas, il movimento termico non direzionale delle molecole di gas viene inizialmente trasformato in un movimento direzionale dalla flangia di ingresso della pompa in direzione assiale verso la flangia del pre-vuoto.

Nella gamma di flusso molecolare (ad esempio a pressioni inferiori a 10^-3 mbar (0,75 x 10^-3 Torr)) il percorso libero medio delle molecole di gas è maggiore dello spazio tra il rotore e le lame dello statore (solitamente alcuni decimi di millimetro). Di conseguenza, le molecole collidono principalmente con le lame del rotore a densità ottica, producendo un'azione di pompaggio estremamente efficiente. Nella gamma di flusso laminare (costante) (ovvero a pressioni superiori a 10^-1 mbar (0,75 x 10^-1Torr)), l'effetto del rotore è compromesso da frequenti collisioni tra le molecole stesse.

Per questo motivo, una pompa turbomolecolare non è in grado di pompare gas alla pressione atmosferica.

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