IONIVAC

Cathode chaude Bayard Alpert

Pourquoi IONIVAC ?

Notre série de jauges IONIVAC, qu'elles soient passives (IE) ou actives (ITR), offre la possibilité de mesurer dans un vide très poussé. Cela permet le suivi détaillé des expériences et le contrôle des variables dans les processus.

Les jauges à cathode chaude IONIVAC fonctionnent avec une cathode chaude qui émet des électrons projetés sur une anode. Le gaz mesuré est ainsi ionisé. Le courant ionique positif qui en résulte est détecté à travers la troisième électrode et ce courant est utilisé comme signal proportionnel à la pression.

Les capteurs d'ionisation à cathode chaude offrent une large plage de mesure de 10^-12 à 10^-1 mbar (0,75·10^-10 à 0,75·10^-1 Torr) en fonction du type de technologie de cathode chaude utilisé.

Série IONIVAC ITR 90/200
Série IONIVAC IE 414/IE 514

Série IONIVAC ITR 90/200

Transmetteur combiné optimisé

L'IONIVAC ITR est un transmetteur combiné optimisé. La combinaison d'un capteur d'ionisation à cathode chaude (utilisant la méthode Bayard Alpert d'ionisation à cathode chaude) et d'un capteur Pirani permet de mesurer la pression à vide à partir de 5 × 10^-10 à 1 000 mbar (3,75 × 10^-10 à 750 Torr).

Deux versions principales sont disponibles :

ITR 90 avec filament à cathode chaude simple
ITR 200 avec double filament pour augmenter la durée de vie grâce à la redondance intégrée. Il commutera automatiquement les filaments en cas de défaillance et indiquera qu'un filament est défectueux. Pour augmenter encore la durée de vie de la jauge, il est possible d'exécuter un programme de dégazage qui peut redynamiser les performances des filaments.

Mesures de pression en continu à partir de 1 × 10^-10 mbar/Torr à la pression atmosphérique
Conception compacte avec cathodes interchangeables et mode dégazage
Capteur à étuvage pour activer la mesure UHV
Interfaces analogiques, d'affichage, numériques et profibus disponibles pour une installation simple
Répétabilité élevée dans la plage de pression de processus typique de 10^-2 à 10^-9 mbar
Mesures de pression UHV précises avec jaugeage passif, permettant des mesures jusqu'à 10^-12 mbar/Torr

Série IONIVAC IE 414/IE 514

Haut de gamme pour la mesure UHV

Nos jauges de la série IONIVAC IE sont les « Rolls Royce » de la mesure de vide très poussé, avec leur lecture de pression de base ultra-faible et leurs niveaux de précision élevés.

Fonctionnant en tandem avec nos contrôleurs de jauge passifs, elles sont utilisées dans les environnements nécessitant des relevés de pression détaillés aux niveaux les plus bas.

Les capteurs IONIVAC passifs utilisent la technologie d'ionisation à cathode chaude pour mesurer les pressions les plus basses.

L'IE 414 utilise la technologie Bayard Alpert et peut mesurer à partir de 2 × 10-11 à e-2 mbar (1,5e-11 à e-2 Torr).
Pour atteindre les pressions les plus basses, vous devez réduire l'effet des rayons X. Ceci est effectué sur notre jauge de la série IE 514, en utilisant la méthode d'extraction d'ionisation à cathode chaude. Avec cette technologie de capteur, vous pouvez lire de 2e-12 à 1e-4 mbar (2e-12 à 7,5e-5 Torr).