La décarburation sous vide par l'oxygène (VOD) est généralement utilisée pour produire de l'acier inoxydable. Par rapport au processus VD, le traitement VOD implique une phase supplémentaire de soufflage d'oxygène visant à réduire la teneur de l'acier en composés oxydables tels que le carbone ou le phosphore. Le débit d'oxygène peut également être utilisé pour le chauffage chimique du bain (processus VD-OB), puisque les réactions chimiques entre les composés de l'acier et l'oxygène sont exothermiques.

Pendant la phase de décarburation, le système de vide doit être capable de fonctionner en continu à une pression approximative de 50 à 200 mbar, en éliminant simultanément les débits de gaz élevés allant généralement de 5 000 m³/h à 20 000 m³/h. La phase de décarburation peut durer environ 10 à 45 minutes.

Les principales difficultés de cette application sont les quantités extrêmement élevées de particules de poussières créées pendant la phase de soufflage d'oxygène. Parallèlement à cela, des pics de débit de gaz avec de fortes concentrations en oxygène inaltéré sont possibles. 

La phase de décarburation est toujours suivie d'une phase de dégazage sous vide (VD) pour laquelle les vitesses de pompage nécessaires sont comprises entre 50 000 m³/h et 250 000 m³/h à des pressions de transformation d'environ 0,67 mbar.

La filtration des poussières est nécessaire pour piéger principalement les grandes quantités de poussières générées au cours du processus. Puisque les particules de poussières sont souvent pyrophoriques, le système de filtration doit être conçu en conséquence. Les modèles de filtre dûment utilisés appliquent donc généralement des phases de « nettoyage par soufflage au gaz inerte » pour nettoyer la surface du filtre.

Au cours de la longue période de soufflage d'oxygène à la pression approximative susmentionnée, les gaz sortant de l'installation de dégazage du réservoir ont eux aussi une haute densité, ce qui signifie qu'ils emmagasinent une grande quantité d'énergie calorifique. Pour protéger le filtre anti-poussière contre une éventuelle surchauffe, vous devez installer un refroidisseur de gaz entre le filtre et le réservoir pendant la phase de soufflage d'oxygène.