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Titanium ultra-high vacuum pumps

초고진공 펌프

TiTan 이온 펌프, NEG 펌프 및 TSP

Leybold는 제품 포트폴리오에 감마 제품을 포함하여 UHV 분야를 위한 장비를 갖추고 있습니다. 

이를 통해 초고진공 압력을 측정할 수 있을 뿐 아니라, 탁월한 수소 펌핑 속도, 탄화수소가 함유되지 않은 무진동 진공 같은 이온 펌프 속성의 장점을 제공하고 활용할 수 있습니다.

전체 공급업체로서 Leybold는 전 세계 감마 제품을 지원하고 관련 서비스를 제공하고 있습니다.

감마 진공은 이온 및 티타늄 승화 펌프의 설계, 제조 및 배포와 NEG 펌프 및 이 펌프와의 조합을 전문으로 하며 R&D 및 높은 에너지 물리 등을 포함한 다양한 과학 분야에서 서비스를 제공합니다.

Leybold는 이온 펌프, 증발이 어려운 게터(NEG) 펌프, 티타늄 승화 펌프(TSP) 및 각각의 컨트롤러로 구성된 모든 UHV 응용 분야에 대한 솔루션을 제공합니다.
필요한 고전압 또는 고전류 케이블을 포함한 모든 장비는 미국 섀코피의 감마 진공에서 제조됩니다.

감마 진공은 또한 통합 NEG 펌프를 포함하는 이온 펌프 등의 펌프 조합을 제공합니다. 섀코피의 전자 부서에서는 주머니에 쉽게 넣을 수 있을 정도로 작은 이온 펌프를 작동할 수 있는 스마트 컨트롤러로 폭넓은 컨트롤러 범위를 개발 및 생산합니다. 또한, 이 컨트롤러는 차에 들어가지 않을 크기의 이온 펌프 여러 개를 작동할 수 있는 강력한 컨트롤러도 개발 및 생산합니다.

기성 제품 외에도 감마 진공은 제품을 매우 다양하게 맞춤 제작합니다. 

TiTan 이온 펌프, NEG 펌프 및 TSP

초고진공 펌프 시스템

무진동 및 무정비 TiTan 이온 펌프, 티타늄 승화 펌프(TSP) 및 무증발 게터(NEG) 펌프 전체 제품군으로 초고진공 상태에서 도달 압력을 생성합니다.

  • 초고진공에서의 높은 펌핑 속도
  • 탄화수소가 필요 없는 진공
  • 긴 작동 시간
  • 완전한 솔루션
  • 0.2~1,200l/s의 펌핑 속도
  • < 1 x 10-11mbar의 도달 압력

각기 다른 요구 사항 충족을 위한 다양한 TiTan 펌프 요소

  • 공기 및 반응성 가스를 펌핑하기 위한 티타늄 음극을 포함하는 TiTan CV
  • 공기 및 반응성 가스 펌핑을 위한 TiTan DI, 비활성 가스 안정(티타늄 및 탄탈룸 음극)
  • TiTan TR - 고압 범위에서 더 높은 펌핑 속도를 제공하는 클래식 3극 진공관, 비활성 가스 안정
  • 별도로 사용하거나 TiTan 이온 펌프에 통합할 수 있는 다양한 NEG 펌프 및 TSP
  • 최대 450°C까지 가열할 수 있는 TiTan, NEG 및 TSP 구성 요소
  • 다양한 부속품
  • 이온 펌프 작동을 위한 DIGITEL 컨트롤러 모델
  • 다양한 응용 분야 및 구성의 TSP 및 NEG
  • 고진공 케이블을 사용하여 사용자의 컨트롤러 및 이온 펌프에 연결 가능

UHV 제품 또는 맞춤형 솔루션에 대한 자세한 정보가 필요하신가요?

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