박막

박막은 나노미터보다 작은 수준부터 수 마이크로미터에 이르는 다양한 범위의 물질 층입니다. 박막 기술은 수십 년에 걸쳐 개선되어 왔으며 최고의 품질을 위해 믿을 수 있는 제품을 필요로 합니다. 박막 증착 프로세스를 위해 Leybold는 건조 DRYVAC / RUVAC 펌핑 시스템을 이용하여 이 분야의 조건을 충족하는 동급 최고의 진공 장비를 제공합니다.

건조 압축 펌프를 갖춘 펌프 시스템

  • 높은 수소 펌핑 속도
  • 입자 저항력
  • 일반적인 프로세스 가스를 위한 높은 매체 호환성
  • 운영 파라미터를 위한 통합 모니터링 및 루츠 펌프 제어
  • 온도 및 퍼지 가스 흐름 조절
  • Profi 버스를 통한 파라미터 제어