RUVAC WS/WSU
공랭식의 밀폐형 캔드 모터를 포함한 루츠 블로어
Leybold의 RUVAC WS 루츠 블로어는 공랭식 또는 수랭식 캔드 모터로 구동됩니다. 사용 가능한 주파수 변환기가 펌프와 연결되어 기계의 과부하가 발생할 가능성을 배제합니다. 압력의 차이가 너무 높은 경우 펌프의 회전 속도는 부하가 걸릴 때까지 자동으로 감소합니다. RUVAC WSU 시리즈의 루츠 진공 펌프는 통합 정압선과 차동 압력 밸브가 추가로 함께 제공됩니다. 이 제품 시리즈의 펌프에는 수직 펌핑 동작이 기본으로 제공됩니다.
공급 장비
- 필요한 양의 오일이 펌프와 별도로 공급(이에 대한 예외가 표시됨)
- 다른 유형의 오일이 명시되어 있지 않으면 미네랄 오일 LVO 100이 표준으로 사용됨
- 부식 방지를 위한 질소 이용
- 통합형 먼지 거름망이 있는 흡입구 플랜지의 개스킷
WAU/WSU/WHU 시리즈의 루츠 진공 펌프에는 통합형 정압선과 차동 압력 밸브가 추가로 제공됩니다.
- 응용 분야
- 온라인 매장
- 10-2에서 10-4mbar(0.75 x 10-2 및 0.75 x 10-4Torr) 사이의 압력에서 빠른 펌핑 속도를 필요로 하는 응용 분야용
- 공기 유입 또는 펌핑된 매체 누출로 인한 오염 가능성을 방지해야 하는 경우에 사용됨
- 고순도 가스의 흡입 또는 펌핑
- 공기가 모터의 팬으로 재순환되지 않아야 하는 깨끗한 방에서 사용됨
RUVAC 루츠 블로어는 건축용 유리 코팅 산업의 표준 장비입니다. 이 장비는 기존의 오일 씰 SOGEVAC 펌프와 결합하여 로드 록 챔버에서 가장 짧은 펌프 정지 시간을 제공합니다. 건식 압축 DRYVAC 및 SCREWLINE 펌프와 함께 사용하면 공정 챔버에서 건식의 신뢰할 수 있는, 그리고 문제가 발생하지 않는 진공이 보장됩니다.
RUVAC 루츠 블로어는 로드 록 챔버 지원 또는 고속 식품 포장 등 빠른 배출이 중요한 여러 응용 분야에서 최단의 작업 소요 시간을 제공하기 위해 사용됩니다.
RUVAC 루츠 블로어는 증기 증착 공정 전 램프를 배출하고 표면을 절면 처리할 때 10-3mbar 미만의 압력을 빠르게 제공합니다.
RUVAC 블로어는 반도체 및 태양광 전지 제조의 기본 재료인 실리콘 모노 크리스털 생산을 위한 단결정 풀링 장비에도 사용됩니다. 이처럼 광범위한 Leybold 제품을 다양한 응용 분야에서 Leybold만의 노하우로 사용해 보세요.
