UNIVEX C
클러스터 및 맞춤형 증착 시스템
특수 응용 분야의 경우 UNIVEX 모듈식 개념에 기반한 클러스터 또는 맞춤형 시스템을 제공할 수도 있습니다.
- UNIVEX C-클러스터
- UNIVEX C-커스텀
UNIVEX C-클러스터
UNIVEX 클러스터는 고객 요구 사항에 따라 장착되어 있으며 별도의 처리, 로그 록 및 전송 챔버를 포함하고 있습니다. 일반적으로 각 진공 챔버에는 자체 고진공 시스템이 있습니다. 로드 록 챔버는 개별 기판에 수동으로 로드되는 가장 간단한 케이스이며 또한 배치당 여러 기판에 대해 매거진 프로세싱이 가능합니다.
개별 진공 챔버 간에 기판을 운반하기 위해 일반적으로 모터 구동식 로봇 암 또는 선형 이송 구동 장치가 사용됩니다. UNIVEX 제어 소프트웨어는 특정 응용 분야의 요구 사항에 따라 맞춤 설정되며 일반적으로 레시피 처리를 비롯한 프로세스를 완전히 자동으로 실행할 수 있습니다.
UNIVEX C-커스텀
UNIVEX 유형의 시스템이 사용자의 요구 사항에 부합하지 않아 다른 챔버 크기 또는 높이를 원하십니까? 고민하지 마시고 바로 연락하세요.
고객이 시스템을 사용할 수 있기를 기대합니다!
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