제품 서비스 다운로드 회사 정보 채용 정보 News & Events
Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

자기 로터 서스펜션이 있는 터보분자 펌프

정확도, 정밀도, 신뢰성을 모두 갖추다

TURBOVAC MAGiNTEGRA는 자기 부양식 펌프로서 분석, 환경, 연구 및 까다로운 산업용 코팅 응용 분야를 위한 강력하고 컴팩트한 제품군입니다.

  • 빠른 냉매 회수 시간을 위한 빠른 펌핑 속도와 높은 가스 처리량으로 장비 사이클 시간 개선합니다. 
  • 5축 액티브 마그네틱 베어링과 구동 시스템으로 높은 신뢰성과 안전하고 효율적인 작동을 결합했습니다.
  • 완전히 통합된 컨버터 및 전원 공급 장치로 기존 랙 장착 컨트롤러와 상호 연결용 케이블이 더 이상 필요하지 않습니다.

전원 손실 시 안전상의 이유로 MAGiNTEGRA 구동 시스템이 발전기 모드로 전환하여 느린 감속으로 로터를 일시 중지합니다. 전원이 다시 공급되면 펌프가 자동으로 정상 속도로 가속되기 시작합니다.

MAGiNTEGRA는 IP 54 보호 등급을 갖추고 있어 가혹한 산업 응용 환경에서 이상적인 펌프입니다.

이러한 자기식 터보 펌프는 10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)~10-10mbar(0.75 x 10-10Torr)의 압력 범위에서 사용됩니다. 공기의 펌핑 속도는 300~2,200 /s까지 다양합니다.

TURBOVAC MAGiNTEGRA 펌프는 다음과 같은 요구 사항이 있는 분야에 주로 설치됩니다.

  • 무소음 및 무진동 작동 
  • 탄화수소가 없는 경우
  • 유지 보수가 필요 없는 긴 주기를 갖는 경우

 

유연성

이러한 고진공 펌프는 어떤 방향으로든 우수한 성능을 제공하며 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.

MAGiNTEGRA 터보분자 펌프는 공간 절약형 옵션이며, 청결한 고진공 및 초고진공 생성 분야에 속합니다.

측면 또는 하단에 컨트롤러가 있는 유연한 디자인과 혁신적이고 모듈화된 산업용 통신 솔루션으로 시스템 통합을 단순화합니다.

PVD, 디스플레이, 광학 및 건축용 유리 코팅과 같은 표준 산업 용도에 적합합니다.

높은 안정성

TURBOVAC MAGiNTEGRA는 모든 가스에 대해 높은 펌핑 속도와 압축률을 제공합니다.

다음 경우에 대해 영향을 받지 않습니다.

  • 공정 입자 및 분진
  • 충격식 배기

이 펌프는 탄화수소를 포함하지 않은 펌프로, 고진공 및 초고진공 상태를 청결하게 보장합니다.

복합식 및 클래식 터보 로터 단계는 온보드 주파수 변환기 및 전원 공급 장치가 통합되어 있습니다.

위의 모든 기능과 극도로 낮은 진동은 높은 수준의 작동 신뢰성을 제공합니다.

저렴한 비용 및 유지 보수 시간 단축

모니터링 및 자체 보호 기능을 통해 대부분의 응용 분야에서 유지 관리가 필요하지 않습니다.

High Vacuum Pumps

PDF    14.3 MB

Product Overview 2021

PDF    11.6 MB

Contact Leybold

논의

당사는 고객의 근접성에 초점을 맞춥니다. 문의 사항은 당사로 문의하십시오.