Applications de l'ultravide
Les conditions d'ultravide (UHV) sont une condition préalable dans les domaines de recherche les plus complexes étudiés par les laboratoires gouvernementaux, les universités et l'industrie privée.
Les laboratoires nationaux, les grandes universités de recherche mondiales et les industries telles que la défense, l'aérospatiale ou la fabrication d'instruments d'analyse utilisent une large gamme d'équipements de vide pour atteindre les niveaux de vide requis. Bon nombre de ces organisations font confiance à Leybold pour leur fournir des pompes à vide, des instruments et des systèmes hautement spécifiques.
L'ultravide est un niveau de vide caractérisé par des pressions inférieures à environ 10−9 mbar (ou 10-7 Pa). Des conditions d'ultravide sont nécessaires pour réduire la contamination de surface dans de nombreuses techniques d'analyse de surface, par exemple : la spectroscopie photoélectronique à rayonnement X (XPS), la spectroscopie d'électrons Auger (AES), la spectrométrie de masse d'ions secondaire (SIMS) ou la microscopie par émission électronique de champ (FEM).
Les techniques de croissance et de préparation de couches minces soumises à des exigences strictes en matière de pureté, comme l'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) et le dépôt de couches atomiques (ALD), reposent également sur des conditions d'ultravide.
Dans les applications de recherche telles que les accélérateurs de particules ou les détecteurs d'ondes gravitationnelles, les conditions d'ultravide aident principalement à réduire les interactions entre le faisceau et les gaz et à limiter les perturbations indésirables de l'environnement extérieur. Ces niveaux de vide exigent l'utilisation de matériaux et de principes de pompage spéciaux.
Nous proposons une large gamme de solutions de vide de pointe pouvant être mises en œuvre dans des applications d'ultravide ambitieuses. Nos composants, nos solutions de système et notre service après-vente ont prouvé leurs performances auprès des principaux centres de recherche du monde entier.
Plates-formes M-UHV
Plates-formes d'expérimentation sous ultravide modulaires
Les options basées sur l'automatisation incluent
100 | 200 | 300 | 400
Pression limite
< 5 x 10-10 mbar
- Variation de température du substrat de 100 K à 1000 K
- Mesure précise de la température
- Concept modulaire et installations de station de transfert à ultravide, assemblage facile des systèmes de cluster
- Configuration prête à l'emploi pour une large gamme d'outils d'expérimentation à ultravide
- Intégration de porte-échantillons de type « flag »
- Applications connexes
- Produits associés
- Avantages
Avantages
| Pompes Roots multi-étagées | Pompes à spirales | Pompes turbomoléculaires (TMP) | Pompes cryogéniques |
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ECODRY plus Avantages : |
SCROLLVAC plus Avantages : |
TURBOVAC IX et MAG W IP TURBOLAB Avantages : |
COOLVAC ICL et BL Avantages : |
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| Pompes ioniques et contrôleurs | Pompes à sublimation de titane | Pompes NEG | Matériel, vannes et raccords pour ultravide |
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TITan et DIGITEL Avantages : |
Avantages : |
Avantages : |
Avantages : |
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| Pompes Roots multi-étagées | Pompes à spirales | Pompes turbomoléculaires (TMP) | Pompes cryogéniques |
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ECODRY plus Avantages : |
SCROLLVAC plus Avantages : |
TURBOVAC IX et MAG W IP TURBOLAB Avantages : |
COOLVAC ICL et BL Avantages : |
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| Pompes ioniques et contrôleurs | Pompes à sublimation de titane | Pompes NEG | Matériel, vannes et raccords pour ultravide |
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TITan et DIGITEL Avantages : |
Avantages : |
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