Applications de l'ultravide

Les conditions d'ultravide (UHV) sont une condition préalable dans les domaines de recherche les plus complexes étudiés par les laboratoires gouvernementaux, les universités et l'industrie privée.

Les laboratoires nationaux, les grandes universités de recherche mondiales et les industries telles que la défense, l'aérospatiale ou la fabrication d'instruments d'analyse utilisent une large gamme d'équipements de vide pour atteindre les niveaux de vide requis. Bon nombre de ces organisations font confiance à Leybold pour leur fournir des pompes à vide, des instruments et des systèmes hautement spécifiques.

L'ultravide est un niveau de vide caractérisé par des pressions inférieures à environ 10⁻⁹ mbar (ou 10^-7 Pa). Des conditions d'ultravide sont nécessaires pour réduire la contamination de surface dans de nombreuses techniques d'analyse de surface, par exemple : la spectroscopie photoélectronique à rayonnement X (XPS), la spectroscopie d'électrons Auger (AES), la spectrométrie de masse d'ions secondaire (SIMS) ou la microscopie par émission électronique de champ (FEM).

Les techniques de croissance et de préparation de couches minces soumises à des exigences strictes en matière de pureté, comme l'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) et le dépôt de couches atomiques (ALD), reposent également sur des conditions d'ultravide.

Dans les applications de recherche telles que les accélérateurs de particules ou les détecteurs d'ondes gravitationnelles, les conditions d'ultravide aident principalement à réduire les interactions entre le faisceau et les gaz et à limiter les perturbations indésirables de l'environnement extérieur. Ces niveaux de vide exigent l'utilisation de matériaux et de principes de pompage spéciaux.

Nous proposons une large gamme de solutions de vide de pointe pouvant être mises en œuvre dans des applications d'ultravide ambitieuses. Nos composants, nos solutions de système et notre service après-vente ont prouvé leurs performances auprès des principaux centres de recherche du monde entier.

Plates-formes M-UHV

Plates-formes d'expérimentation sous ultravide modulaires

Les options basées sur l'automatisation incluent

100 | 200 | 300 | 400

Pression limite

< 5 x 10^-10 mbar

Variation de température du substrat de 100 K à 1000 K
Mesure précise de la température
Concept modulaire et installations de station de transfert à ultravide, assemblage facile des systèmes de cluster
Configuration prête à l'emploi pour une large gamme d'outils d'expérimentation à ultravide
Intégration de porte-échantillons de type « flag »

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Avantages

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Systèmes cryogéniques

Pompes à vide turbomoléculaires

Pompes à vide très poussé

ECODRY plus

SCROLLVAC plus

Avantages

Pompes Roots multi-étagées	Pompes à spirales	Pompes turbomoléculaires (TMP)	Pompes cryogéniques
ECODRY plus Avantages :	SCROLLVAC plus Avantages :	TURBOVAC IX et MAG W IP TURBOLAB Avantages :	COOLVAC ICL et BL Avantages :
Pompe primaire idéale pour l'ultravide Pression limite basse Très silencieuses < 52 dB (A), faibles vibrations Aucune contamination par de l'huile ou des particules Absence d'entretien durant de nombreuses années	Sans huile Silencieuses (55 dB (A)) Remplacement du joint de l'embout par le client en 10 minutes Pression limite très faible	Gamme complète de pompes et systèmes turbomoléculaires Création d'un vide sans hydrocarbure Pression limite basse Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers Entretien réduit Systèmes de pompe prêts à l'emploi	Pompes cryogéniques COOLVAC avec grande capacité de pompage de vapeur d'eau et faibles besoins d'entretien Création d'un vide propre et sec Têtes froides COOLPOWER pour l'obtention d'une température cryogénique sans hélium liquide ni azote liquide

Pompes Roots multi-étagées

Pompes à spirales

Pompes turbomoléculaires (TMP)

Pompes cryogéniques

ECODRY plus

Avantages :

SCROLLVAC plus

Avantages :

TURBOVAC IX et MAG W IP

TURBOLAB

Avantages :

COOLVAC ICL et BL

Avantages :

Pompe primaire idéale pour l'ultravide
Pression limite basse
Très silencieuses < 52 dB (A), faibles vibrations
Aucune contamination par de l'huile ou des particules
Absence d'entretien durant de nombreuses années

Sans huile
Silencieuses (55 dB (A))
Remplacement du joint de l'embout par le client en 10 minutes
Pression limite très faible

Gamme complète de pompes et systèmes turbomoléculaires
Création d'un vide sans hydrocarbure
Pression limite basse
Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers
Entretien réduit
Systèmes de pompe prêts à l'emploi

Pompes cryogéniques COOLVAC avec grande capacité de pompage de vapeur d'eau et faibles besoins d'entretien
Création d'un vide propre et sec
Têtes froides COOLPOWER pour l'obtention d'une température cryogénique sans hélium liquide ni azote liquide

Pompes ioniques et contrôleurs	Pompes à sublimation de titane	Pompes NEG	Matériel, vannes et raccords pour ultravide
TITan et DIGITEL Avantages :	Avantages :	Avantages :	Avantages :
Fonctionnement sans hydrocarbures dans la plage de l'extrême vide (XHV) Aucune pièce mobile, aucun bruit de fonctionnement Aucune vibration Tolérance élevée aux températures, aux rayonnements et aux champs magnétiques	Pompe idéale pour éliminer les gaz résiduels dans les systèmes d'ultravide Vitesse de pompage très élevée pour les gaz réactifs Simplicité et rentabilité	Haute efficacité de piégeage du H2 (gaz résiduel principal dans les applications UHV/XHV) Fonctionnement sans vibration Sans huile	Large gamme de vannes, de matériel et de raccords à bride CF pour les applications UHV Matériaux à faible résorption de gaz avec les taux de fuites les plus faibles Températures d'étuvage élevées

Pompes ioniques et contrôleurs

Pompes à sublimation de titane

Pompes NEG

Matériel, vannes et raccords pour ultravide

TITan et DIGITEL

Avantages :

Fonctionnement sans hydrocarbures dans la plage de l'extrême vide (XHV)
Aucune pièce mobile, aucun bruit de fonctionnement
Aucune vibration
Tolérance élevée aux températures, aux rayonnements et aux champs magnétiques

Pompe idéale pour éliminer les gaz résiduels dans les systèmes d'ultravide
Vitesse de pompage très élevée pour les gaz réactifs
Simplicité et rentabilité

Haute efficacité de piégeage du H2 (gaz résiduel principal dans les applications UHV/XHV)
Fonctionnement sans vibration
Sans huile

Large gamme de vannes, de matériel et de raccords à bride CF pour les applications UHV
Matériaux à faible résorption de gaz avec les taux de fuites les plus faibles
Températures d'étuvage élevées

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Pompes à vide turbomoléculaires

Pompes à vide très poussé

ECODRY plus

SCROLLVAC plus

Pompes Roots multi-étagées	Pompes à spirales	Pompes turbomoléculaires (TMP)	Pompes cryogéniques
ECODRY plus Avantages :	SCROLLVAC plus Avantages :	TURBOVAC IX et MAG W IP TURBOLAB Avantages :	COOLVAC ICL et BL Avantages :
Pompe primaire idéale pour l'ultravide Pression limite basse Très silencieuses < 52 dB (A), faibles vibrations Aucune contamination par de l'huile ou des particules Absence d'entretien durant de nombreuses années	Sans huile Silencieuses (55 dB (A)) Remplacement du joint de l'embout par le client en 10 minutes Pression limite très faible	Gamme complète de pompes et systèmes turbomoléculaires Création d'un vide sans hydrocarbure Pression limite basse Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers Entretien réduit Systèmes de pompe prêts à l'emploi	Pompes cryogéniques COOLVAC avec grande capacité de pompage de vapeur d'eau et faibles besoins d'entretien Création d'un vide propre et sec Têtes froides COOLPOWER pour l'obtention d'une température cryogénique sans hélium liquide ni azote liquide

Pompes Roots multi-étagées

Pompes à spirales

Pompes turbomoléculaires (TMP)

Pompes cryogéniques

ECODRY plus

Avantages :

SCROLLVAC plus

Avantages :

TURBOVAC IX et MAG W IP

TURBOLAB

Avantages :

COOLVAC ICL et BL

Avantages :

Pompe primaire idéale pour l'ultravide
Pression limite basse
Très silencieuses < 52 dB (A), faibles vibrations
Aucune contamination par de l'huile ou des particules
Absence d'entretien durant de nombreuses années

Sans huile
Silencieuses (55 dB (A))
Remplacement du joint de l'embout par le client en 10 minutes
Pression limite très faible

Gamme complète de pompes et systèmes turbomoléculaires
Création d'un vide sans hydrocarbure
Pression limite basse
Vitesse de pompage élevée pour les gaz légers
Entretien réduit
Systèmes de pompe prêts à l'emploi

Pompes cryogéniques COOLVAC avec grande capacité de pompage de vapeur d'eau et faibles besoins d'entretien
Création d'un vide propre et sec
Têtes froides COOLPOWER pour l'obtention d'une température cryogénique sans hélium liquide ni azote liquide

Pompes ioniques et contrôleurs	Pompes à sublimation de titane	Pompes NEG	Matériel, vannes et raccords pour ultravide
TITan et DIGITEL Avantages :	Avantages :	Avantages :	Avantages :
Fonctionnement sans hydrocarbures dans la plage de l'extrême vide (XHV) Aucune pièce mobile, aucun bruit de fonctionnement Aucune vibration Tolérance élevée aux températures, aux rayonnements et aux champs magnétiques	Pompe idéale pour éliminer les gaz résiduels dans les systèmes d'ultravide Vitesse de pompage très élevée pour les gaz réactifs Simplicité et rentabilité	Haute efficacité de piégeage du H2 (gaz résiduel principal dans les applications UHV/XHV) Fonctionnement sans vibration Sans huile	Large gamme de vannes, de matériel et de raccords à bride CF pour les applications UHV Matériaux à faible résorption de gaz avec les taux de fuites les plus faibles Températures d'étuvage élevées

Pompes ioniques et contrôleurs

Pompes à sublimation de titane

Pompes NEG

Matériel, vannes et raccords pour ultravide

TITan et DIGITEL

Avantages :

Fonctionnement sans hydrocarbures dans la plage de l'extrême vide (XHV)
Aucune pièce mobile, aucun bruit de fonctionnement
Aucune vibration
Tolérance élevée aux températures, aux rayonnements et aux champs magnétiques

Pompe idéale pour éliminer les gaz résiduels dans les systèmes d'ultravide
Vitesse de pompage très élevée pour les gaz réactifs
Simplicité et rentabilité

Haute efficacité de piégeage du H2 (gaz résiduel principal dans les applications UHV/XHV)
Fonctionnement sans vibration
Sans huile

Large gamme de vannes, de matériel et de raccords à bride CF pour les applications UHV
Matériaux à faible résorption de gaz avec les taux de fuites les plus faibles
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