Solutions de vide pour les revêtements optiques

Amélioration du comportement réfléchissant ou des propriétés de transmission des systèmes optiques

tels que les filtres, les lentilles, les lunettes ou les miroirs.

Revêtement à couche mince sous vide

La production de lunettes, de miroirs et de réflecteurs nécessite des technologies avancées, certaines reposant notamment sur un système de vide. L'un des procédés dans lesquels le vide joue un rôle important est la production de fines couches de film antireflets et résistant aux rayures. Vous connaissez certainement les filtres optiques spéciaux, infrarouges et ultraviolets pour les lunettes, mais les revêtements optiques ont également de nombreuses applications scientifiques : des microscopes aux miroirs du télescope spatial James Webb, les lentilles à filtre optique spécial sont partout.

Revêtements optiques par PVD

Les revêtements optiques sont composés de nombreuses couches minces pour créer différentes caractéristiques de réflexion ou de couches qui améliorent la conductivité de la lumière. Ces couches sont généralement appliquées dans les systèmes de revêtement par lots au cours d'un procédé appelé « dépôt physique en phase vapeur » (PVD) ou de procédés d'évaporation dans des conditions de vide à des plages de pression de 10^-2 à 10^-3 mbar.

Les applications de revêtement optique nécessitent des systèmes de précision capables de maintenir les niveaux de vide souhaités à des valeurs stables à l'intérieur de la chambre de vide. Leybold propose tous les produits pour le vide requis par ces systèmes, notamment :

Pompes primaires ou à « vide primaire »
Pompage à vide poussé
Installations fiables et économiques
Solutions de contrôle des procédés
Intégration du système

Pompes primaires ou à « vide primaire »

Lors de la première étape du procédé, les gaz et l'humidité ambiants doivent être éliminés de la chambre de vide à l'aide de pompes « primaires » capables d'évacuer très rapidement la chambre. Nous proposons différentes gammes de produits adaptés aux exigences spécifiques de vos procédés, notamment les pompes DRYVAC, VARODRY, SCREWLINE, SOGEVAC, TRIVAC et RUVAC. Vous pouvez combiner plusieurs systèmes afin d'obtenir des vitesses de pompage idéales et ainsi optimiser votre coût d'exploitation.

Pompage à vide poussé

Lors de l'étape suivante du procédé, un pompage de la chambre de traitement est effectué jusqu'à un niveau de vide de 5x10^-6 mbar, voire moins. Ce niveau doit être maintenu en continu avec des charges de gaz comme l'argon, l'azote et l'oxygène dans les plages de pression opérationnelle. Certains procédés nécessitent un environnement sans huile, sans poussière et sans vibrations. Dans ce cas, nous recommandons les pompes TURBOVAC i, TURBOVAC MAG ou COOLVAC. Les pompes à diffusion (DIJ et DIP) sont davantage adaptées aux procédés moins exigeants.
Les systèmes de vide poussé doivent être en mesure de fonctionner en continu avec des charges de gaz élevées sur de longues périodes.

Installations fiables et économiques

Les pompes Leybold sont conçues pour les applications de revêtement et elles ont prouvé leur valeur au fil des décennies. L'expérience nous a également appris l'importance de la fiabilité et de la disponibilité. Par conséquent, nous recommandons des plans d'entretien régulier et des pièces de rechange OEM. Lorsque vous entretenez correctement votre système de vide, vous réalisez des économies sur les coûts d'exploitation. Contactez votre représentant Leybold local pour déterminer les solutions les plus à même d'assurer le bon déroulement de votre production à tout moment.

Solutions de contrôle des procédés

Assurez-vous de pouvoir mesurer à tout moment et avec précision les conditions de vide de vos procédés de dépôt sous vide. Notre gamme complète de jauges à vide vous donne la certitude de pouvoir contrôler à votre guise les conditions optimales pour vos procédés. Votre représentant Leybold se fera un plaisir de vous conseiller sur les meilleures solutions de contrôle des procédés. Les systèmes de détection de fuites et RGA (analyseurs de gaz résiduels) jouent un rôle essentiel dans la répétabilité et la fiabilité des procédés.

Intégration du système

Nos pompes sont conçues pour une compatibilité parfaite, mais votre procédé peut nécessiter des solutions de contrôle et de surveillance supplémentaires. Dans ce cas, nous installons des PLC ou des contrôleurs qui prennent en charge vos procédés de production.