Национальные лаборатории, крупные международные исследовательские университеты и такие отрасли, как оборонная, аэрокосмическая или производство аналитических инструментов, используют широкий спектр вакуумного оборудования для достижения необходимого уровня вакуума. Многие из этих организаций полагаются на высокоспециализированные вакуумные насосы, инструменты и системы компании Leybold.
UHV представляет собой режим вакуума, характеризующийся давлением ниже 10-9 мбар (или 10-7 Па). Сверхвысокий вакуум необходим для снижения загрязнения поверхности во многих методах анализа поверхностей. Например, при выполнении рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), электронной оже-спектроскопии (AES), масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) или полевой электронной микроскопии (FEM).
Такие методы выращивания и подготовки тонкой пленки со строгими требованиями к чистоте, как молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE) и атомно-слоевое осаждение (ALD), также применяются при сверхвысоком вакууме.
При проведении исследований, например с применением ускорителей частиц или детекторов гравитационных волн, сверхвысокий вакуум главным образом помогает уменьшить взаимодействие луча и газа и ограничить нежелательные искажения под влиянием внешней среды. Такие уровни вакуума требуют использования специальных материалов и принципов перекачивания.
Мы предлагаем широкий ассортимент передовых вакуумных решений для применения в сложных условиях сверхвысокого вакуума. Наши компоненты, системные решения и послепродажное обслуживание продемонстрировали свои преимущества в крупнейших исследовательских центрах по всему миру.
Автоматизированные варианты включают
100 | 200 | 300 | 400
Предельное давление
< 5 x 10-10 мбар
Многоступенчатые насосы Рутса | Спиральные насосы | Турбомолекулярные насосы (TMP) | Криогенные насосы |
---|---|---|---|
ECODRY Plus Преимущества: |
SCROLLVAC plus Преимущества: |
TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB Преимущества: |
COOLVAC ICL & BL Преимущества: |
|
|
|
|
Геттерно-ионные насосы и контроллеры | Титановые сублимационные насосы | Неиспарительные геттерные насосы (NEG) | Аппаратное обеспечение, клапаны, арматура UHV |
---|---|---|---|
TITan и DIGITEL Преимущества: |
Преимущества: |
Преимущества: |
Преимущества: |
|
|
|
|
Мы уделяем особое внимание близости к заказчику. Свяжитесь с нами, чтобы получить ответы на все ваши вопросы.