Продукция Сервисное обслуживание Области применения Блог и Wiki Загрузки О компании Вакансии Новости и события
UHV applications - XXL telescope

Области применения сверхвысокого вакуума

Сверхвысокий вакуум (UHV) является необходимым условием для самых сложных исследований, проводимых в государственных лабораториях, научных учреждениях и частных промышленных компаниях.

Национальные лаборатории, крупные международные исследовательские университеты и такие отрасли, как оборонная, аэрокосмическая или производство аналитических инструментов, используют широкий спектр вакуумного оборудования для достижения необходимого уровня вакуума. Многие из этих организаций полагаются на высокоспециализированные вакуумные насосы, инструменты и системы компании Leybold.

UHV представляет собой режим вакуума, характеризующийся давлением ниже 10-9 мбар (или 10-7 Па). Сверхвысокий вакуум необходим для снижения загрязнения поверхности во многих методах анализа поверхностей. Например, при выполнении рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), электронной оже-спектроскопии (AES), масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) или полевой электронной микроскопии (FEM).

Такие методы выращивания и подготовки тонкой пленки со строгими требованиями к чистоте, как молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE) и атомно-слоевое осаждение (ALD), также применяются при сверхвысоком вакууме.

При проведении исследований, например с применением ускорителей частиц или детекторов гравитационных волн, сверхвысокий вакуум главным образом помогает уменьшить взаимодействие луча и газа и ограничить нежелательные искажения под влиянием внешней среды. Такие уровни вакуума требуют использования специальных материалов и принципов перекачивания.

Мы предлагаем широкий ассортимент передовых вакуумных решений для применения в сложных условиях сверхвысокого вакуума. Наши компоненты, системные решения и послепродажное обслуживание продемонстрировали свои преимущества в крупнейших исследовательских центрах по всему миру.

Платформы M-UHV

Модульные платформы для экспериментов с использованием сверхвысокого вакуума

Автоматизированные варианты включают

100 | 200 | 300 | 400

Предельное давление 

< 5 x 10-10 мбар

  • Изменение температуры подложки в диапазоне от 100 К до 1000 К
  • Точное измерение температуры
  • Модульная конструкция вместе со станцией создания UHV упрощает сборку кластерных систем
  • Конфигурация «подключи и работай» для широкого спектра инструментов для экспериментов с применением UHV
  • Включает держатели образцов «flag-style»
Многоступенчатые насосы Рутса Спиральные насосы Турбомолекулярные насосы (TMP) Криогенные насосы

ECODRY Plus

Преимущества:

SCROLLVAC plus

Преимущества:

TURBOVAC IX & MAG W IP

TURBOLAB

Преимущества:

COOLVAC ICL & BL

Преимущества:

  • Идеальный форвакуумный насос для UHV
  • Низкое предельное давление
  • Очень тихий — <52 дБ(A), низкий уровень вибраций
  • Без загрязнения маслом или частицами
  • Не требует обслуживания в течение многих лет
  • Безмасляный
  • Тихий — 55 дБ(A)
  • Замена уплотнения наконечника клиентом за 10 минут
  • Очень низкое предельное давление
  • Полный ассортимент турбомолекулярных насосов и систем
  • Создание вакуума без углеводородов
  • Низкое предельное давление
  • Высокая скорость откачки для легких газов
  • Уменьшенная потребность в техническом обслуживании
  • Насосные системы, готовые к эксплуатации сразу после подключения
  • Криогенные насосы COOLVAC с высокой эффективностью откачки водяных паров и уменьшенной потребностью в техническом обслуживании
  • Чистое и безмасляное создание вакуума
  •  Охлаждающие головки COOLPOWER для достижения криогенных температур без необходимости использования жидкого гелия и жидкого азота
Геттерно-ионные насосы и контроллеры Титановые сублимационные насосы Неиспарительные геттерные насосы (NEG) Аппаратное обеспечение, клапаны, арматура UHV

TITan и DIGITEL

Преимущества:

Преимущества:

Преимущества:

Преимущества:

  • Создание ультра сверхвысокого вакуума (XHV) без углеводородов
  • Отсутствие движущихся частей, отсутствие рабочего шума
  • Абсолютное отсутствие вибраций
  • Высокая устойчивость к температуре, радиации и магнитным полям
  • Идеальный насос для удаления остаточных газов в системах UHV
  • Очень высокая скорость откачки для реактивных газов
  • Простота и экономичность
  • Высокая эффективность улавливания H2 (основной остаточный газ в UHV/XHV)
  • Отсутствие вибрации при эксплуатации
  • Безмасляный
  • Широкий ассортимент клапанов, аппаратного обеспечения и арматуры UHV с фланцами CF
  • Материалы с низкой резорбцией газа с минимальной скоростью утечки
  • Высокая температура прогрева
Contact Leybold

Мы открыты к общению

Мы уделяем особое внимание близости к заказчику. Свяжитесь с нами, чтобы получить ответы на все ваши вопросы.